Способ изготовления ферромагнитных пленок с повышенным значением коэрцитивной силы
278764
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Соеетекиз
Социелиотичеокив
Реоиублие
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 28.VII.1969 (№ 1351902/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21.VIII.1970. Бюллетень № 26
Дата опубликования описания 16.XI.1970
Кл. 21ат, 37/04
М П К 6 11с 5/04
УДК 538,245(088,8) Ко»итет оо деле» изобретений и открытий ори Совете Миниотрое
СССР
Авторы изобретения
В. М. Галанский, В. В. Звягинцев и Г. А. Михайлов
Институт кибернетики АН Украинской ССР
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНЫХ ПЛЕНОК
С ПОВЫШЕННЫМ ЗНАЧЕНИЕМ КОЭРЦИТИВНОЙ СИЛЫ
Изобретение относится к области технологии изготовления тонких магнитных пленок для запоминающих устройств вычислительных машин.
Известны способы изготовления ферромагнитных пленок с повышенным значением коэрцитивной силы, основанный на методе увеличения коэрцитивной силы путем создания шероховатости подложки.
Однако известный способ не уменьшает 10 трудоемкость процесса изготовления пленок, не обеспечивает воспроизводимость Нх магнитных свойств и не позволяет контролировать изменение их магнитных свойств в процессе изготовления. 15
С целью повышения производительности, улучшения воспроизводимости и обеспечения возможности контроля магнитных параметров пленок в процессе их изготовления по предлагаемому способу поверхность магнитных 20 пленок после напыления подвергают селективному химическому травлению, не приводя;цему к изменению толщины магнитных пленок.
Предлагаемый способ осуществляется следующим образом. 25
Соответствующий ферромагнитный материал, составляющий основу тонкой магнитной пленки, напыляют в вакууме на диэлектричес кие или металлические подложки. Темпера гурный режим и температуру подложек под- ЗО бирают такими, чтобы магнитные пленки получались с наиболее приемлемыми параметрами, в частности, с минимальной амплитудой и угловой дисперсией анизотропии.
Величина коэрцитивной силы, соответствующая температуре подложки 300 — 330 С, недостаточна для обеспечения надежной работоспособности магнитопленочного элемента, поэтому пленки после напыления и охлаждения до комнатной температуры извлекают из вакуумной ка меры, производят измерение нх магнитных параметров и затем помещают в ванну с химическим раствором для проведения операции химического травления поверхности.
Поскольку магнитные пленки имеют поликристаллическое строение, то повышение коэрцитивной силы происходит за счет избирательного локального травления очень малых по площади участков поверхности пленки, занимаемых границами кристаллитов и различного рода включениями. В результате этого общая толщина пленки остается практически неизменной, что существенно для получения необходимых эксплуатационных характеристик.
Зависимость коэрцитивной силы от неоднородностей толщины пленок приближенно описывается выражением FF, =CD, где Н,— коэрцитивная сила, C — константа, характе278764
Составитель Н, Степанов
Редактор Т. И. Морозова
Корректор Л. В. Юшина
Заказ 3321/14 Тираж 480 Подписное
ЦПИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 3(-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 рнзуюшая толщину плевки, D — средняя толщина пленки.
Для травления используют 1оo-ный раствор серной кислоты, в который непосредственно перед употреблением вводят 2% натриевой соли изобутилнафталинсульфокислоты.
В процессе травления производится периодический контроль за изменением магнитных свойств пленки.
При достижении требуемого значения коэрцитивной силы процесс травления прекращают и пленки промывают в растворе аммиака.
Весь цикл с момента первого измерения магнитных свойств пленок до момента получения заданных значений коэрцитивной силы составляет 1 — 2 мин.
Предел, до которого можно увеличивать коэрцитивную силу, определяется величиной угловой дисперсии анизотропии, которая может также изменяться в сторону увеличения.
При повышении коэрцитивной силы вплоть до значений, равных полю анизотропин пленки, величина угловой дисперсии анизотропии в первом приближении остается неизменной.
Так, например, для магнитных пермаллоевых пленок толщиной 1000 — 1200 А, характеризуемых величиной коэрцитивной силы 1,б—
1,7 э, увеличение коэрцитивной силы до 3,0—
3,3 э сопровождается всего лишь 10%-ным увеличением угловой дисперсии без изменения толщины магнитных пленок.
Предмет изобретения
Способ изготовления ферромагнитных пле
kIoK с повышенным значением,коэрцитивной силы, основанный на вакуумном напылении ферромагнитного материала в ориентирующем
15 магнитном поле на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения производитель. ности, улучшения воспроизводимости и обеспечения возможности контроля магнитных параметров пленок в процессе изготовления, 20 поверхность магнитных пленок после напыления подвергают селективному химическому травлению, не приводящему к изменению толщины магнитных пленок.
