Способ измерения эффективной температуры горячих носителей тока в полупроводнике

ОПИС

ИЗОБРЕ

К АВТОРСКОМУ

Союз Советоких

Социалистикескик

PGrс)блик

Зависимое or авт. свиде

Заявлено 04.1.1970 (¹

H 01l 7/00

G Olr 31/00 с присоединением заявки

Приоритет

Опубликовано 11.1V.1972

Дата опубликования оп

Комитет по делам изобретений и открмтий при Совете Мииистров

СССР

621.382:621.317. .799 (088.8) Авторы изобретения

Репшас Костас Косто и Ашмонтас Степонас Повило

Институт физики полупроводников АН Литовской ССР

Заявитель

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ

ГОРЯ 1ИХ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА В ПОЛУПРОВОДНИКЕ

Изобретс1пие относится и области использования горячих,носителей тока в полупроводникахх.

Приборы, работающие на основе разогрева носителей тока электрическим:полем, широко 5 применяются в технике (например, генераторы, основанные на эффекте Ганна) .

Важнейшим параметром, определяющим степень разогрева носителей тока электрическим полем, является их эффективная темпе- 10 ратура.

Известен способ измерения эффективной температуры горячих носителей тока путем определения их термо-э.д.с.

Этот способ имеет существенный недоста- 15 ток. Термо-э.д.с. горячих носителей тока возникает только при градиенте концентрация носителей тока, который обы шо создают легированием полупроводника, что является технологически сложным и трудноконтроли- 20 руемым процессом. Кроме того, в процессе измерения наряду с полезным сигналом обычно появляются нежелательные, которые трудно учесть из-за отсутствия опорной точки.

Все этого снижает точность измерения. 25

С целью повышения точности и упрощения измерений, согласно, предложенному способу пзмcðñíèÿ эффективной температуры горячих носителей тока, в части однородного полупроводникового образца с контактами создают сильное электрическое поле так, чтобы контакты находились вне области сильного поля. Одну из частей, в которой имеется градиент электрического аоля, освещают светом, благодаря чему создается необходимый градиент концентрации .носителей тока, вызывающий возникновение э.д.с. По величине этой э.д.с. и определяют эффективную температуру горячих носителей тока. Нежелательная э.д.с. в данном случае легко учитывается измерением ее без освещения образца.

Предмет изобретения

Способ измерения эффективной температуры горячих носителей тока в,полу проводнике путем измерения э.д.с., отличающийся тем, что, с целью;повышения точности измерений, в части однородного полупроводникового образца с контактами создают сильное электрическое поле так, чтобы контакты находились вне области сильного поля, а часть образца с градиентом электрического поля освещают светом, после чего измеряют возникающую э.д.с,