Устройство для изготовления трафарето фотопотенциометроввсehbjiho-

 

328520

ОПИСАЫИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

И АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое ol авт. стн3детельства . А

Заявлено 20.Vill.1968 (№ 12G3500/26-25) М. Кл. И Olt 7/68 с присоединением заявки М

Пр11оритет

Опубликовано 02.11.1972. Бюллетеш. ¹ G

Дата опубликования описан1ги 14.IV.1972

Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Нинистрое

СССР

УДК 621.328.002.64 (088.8) Лвтор изобретения

1О. C. Коненков

Заявитель — — l

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТОЬ1;-.,-.,-.--., аОТОПОТЕИЦИОМЕТ ОВ

" 1 т

Изобретение относится к области электроTpxHHKII, а именно, к изготовленшо перемен.IthIx фоторезисторог, и фотопотенциометров, в которых роль токосъемника выполняет перемещающийся луч света.

Пленочные иотенциомстры л1огут бьiòü !ioлучены двумя способами.

Первый способ заключается в том, что изменяют форму резистора при равномерио3i 13е13емещении светового зонда вдоль фотослоя.

Особенностью второго способа является то„ что между подложкой с расположенными на ней резистором, коллектором il фотослоем, и источником света устанавливают непрозрачный трафарет с прорез1я. От формы прорези на трафарете зависит выходное напряжение

U»» (Õ), образу1ощееся при перемещении светового зонда вдоль фотослоя пропорционально перемещеншо трафарета по оси Х.

Изменяя конфигу1зацито щели в трафарете, получают различные законы изменения выкодного напряжения потенциометра.

Для создания прецизионными потенциометрог, наносят прорезь на трафарет с учетом индивидуальнык погрешностей фотопотенциометра, т. е. по результатам измереьптя ошибок в выходном напряжении потенциометра в каждой точке его рабочего угла.

Известно устройство для изготовления кулачков компенсационного устройства проволочш1к одиооборотиык иотеициометров, содеро б 13 3 б 13 т ы 13 3 е м ы м ком, изготагливаемый и эталонтый иотенциоle!pi!, привод шпинделя, режущий инструмент е приводом вратцсния, меxаиизм подачи

13еж ущего иисз p3 3I" ltT3, tfi, 3 Зil vo130-13ычаж ный ilk . :313из31, Biol toif31отций ф1 11кциттиал 11.1Й лачок, соединенный ео п11зинделем, и рычаг

ДЛ Я ИЗМЕ П !!! I H М 1С1Ц 1 31) 11;333!3ЕИ МОСТИ МЕЖДУ

1О вслиГпшой компенf ируемой ошибки и требуемым изменением радиуса вектора обрабатываемого кулачка.

Профили кулачков рассчитываются для каждого вида функции, воспроизводимой из15 Гот013ляемы 3! Иотoициоа1(..3130м. Если IlpH компенсации ошибок нрои3.зочного иоте1щиометра расчет профи.1сй эги3, кулатков возможен, lo для фотопотенциомстров этот расчет практически не13О.3моткен из-за двумерности элек2р трического поля, имен>щегося в его резисторе.

Цель изобретения — компенсация индивидуальнык погрешностей фотопотснциометров.

3То достигается тем, что узел коррекции

25 предзоженного устройства выполнен в виде

Ilpoл1еп33емОГО элскт130двиГателем стола с расположенными а нем источником света, который формирует световое пятно на фотослое потенциометра, it режущим инструменЗО том с его приводом.

328520

30

Уиг. f

45

50 Риг. 3

Составитель В, Гришин

Техред Е, Борисова

Редактор И. Грузова

Корректор Н. Шевченко

Заказ 706/17 Изд. № 186 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Элемент сопротивления изготавливаемого фотопотенциометра в зависимости от конструктивного варианта его исполнения может быть кинематически соединен или не соединен со шпинделем, несущим трафарет.

На фиг, 1 представлена конструктивная схема устройства, предназначенного для изготовления трафаретов продольных фотопотенциометров; на фиг. 2 — то же, для поперечных фотопотенциометров.

Устройство содержит приводной двигатель (, кинематически соединенный с входом источника 2 эталонных напряжений,и шпинделем

8, несущим обрабатываемый трафарет 4. Режущий инструмент (фреза) 5 вместе с приводом его вращения, включающим двигатель 6 и редуктор 7, жестко связан с источником 8 света, формирующим световое пятно (зонд) на поверхности фотослоя элемента сопротивления фотопотенциометра 9. Механизм подачи, включающий двигатель 10, кинематически связан со столом 11, на котором расположены источник 8 света и режущий инструмент 5 с приводом его вращения.

В подготовленном к работе устройстве начальные положения светового зонда на фотослое, трафарета 4 и режущего инструмента 5 взаимно согласованы. Сигнал разбаланса мостовой схемы, одну ветвь которого составляет источник 2 эталонных напряжений, другую — изготавливаемый фотопотенцио метр 9, преобразуется нуль-органом 12 и подается на двигатель 10 механизма подачи режущего инструмента 5.

Отрабатывая сигнал разбаланса, двигатель

10 перемещает стол 11 с расположенными на нем источником 8 света (токосъемником) и режущим инструментом 5. В результате перемещения светового зонда по фотослою выходное напряткение изготавливаемого фотопотенциометра изменяется, уменьшая разбаланс мостовой измерительной схемы.

При непрерывном вращении шпинделя 8 на трафарете вырезается прорезь, представляющая собой траекторию движения светового зонда по фотослою при воспроизведении заданной функциональной зависимости с требуемой точностью.

Трафарет может быть изготовлен из любого непрозрачного материала. Если траектория движения светового зонда должна быть замкнутой, то в качестве материала для изготовления трафарета может быть использовано стекло или любой оптически прозрачный материал, покрытый непрозрачной пленкой. В этом случае применяется Инструмент, с помощью которого пленка удаляется с поверхности материала.

5 Предмет изобретения

Устройство для изготовления трафаретов фотопотенциометров, содержащее шпиндель с обрабатываемым трафаретом, узел коррек10 ции, мостовую схему с,источником эталонного напряжения и фотопотенциометром, для которого изготавливается трафарет, нуль-орган, управляющий узлом коррекции, отличаюи(ееся тем, что, с целью компенсации индиви15 дуальных погрешностей фотопотенциометров, узел коррекции выполнен в виде перемещаемого электродвигателем стола с расположенными па нем источником света, который формирует световое пятно на фотослое потенциометра, и режущим инструментом с его приводом.

Устройство для изготовления трафарето фотопотенциометроввсehbjiho- Устройство для изготовления трафарето фотопотенциометроввсehbjiho- 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области электричества, а более конкретно к технологии изготовления биполярных полупроводниковых приборов: диодов, тиристоров, транзисторов

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, а более конкретно к методам радиационно-термической обработки диодов, работающих на участке пробоя вольтамперной характеристики, и может быть использовано в производстве кремниевых стабилитронов, лавинных вентилей, ограничителей напряжения и т.п

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных схем, особенно при необходимости минимизации количества операций литографии

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)
Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике
Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике

Изобретение относится к технологии полупроводников и может быть использовано для получения многослойных эпитаксиальных структур полупроводниковых материалов методом жидкофазной эпитаксии

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полупроводниковых структур, используемых для производства диодов, транзисторов, тиристоров, интегральных схем и кремниевых структур с диэлектрической изоляцией
Наверх