Кассета для химической обработки полупроводниковых пластин
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
332527
Союз Соеетских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 29.XII.1969 (¹ 1393240/26-25) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
Опубликовано 14.III.1972. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 13.IV.1972
М. Кл. Н 011 7/68 комитет по делам изобретений и открытий
УДК 621.328.002.54 (088.8) лои Соеете Мииистрое
СССР
Авторы ,изобретения
ВСЕСОКХЗндя
ИМБО- Б" ==- -.- .=:ъА. П. Трещуи и А. В. Полухин
Заявитель
КАССЕТА ДЛЯ ХИМИЧЕСКОИ ОБРАБОТКИ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН
Изобретение относится к оборудованию для производства полупроводниковых приборов, в частности для химической обработки кремниевых или германиевых пластин.
Известны кассеты для химической обработки полупроводниковых пластин, выполненные в виде, параллелепипедов с пазами для вертикального или радиального рааположения пластин.
Недостатком этих кассет является неподвижность располагаемых в их лазах пластин, в связи с чем травление происходит неравномерно.
Предложенная кассета, позволяет повысить качество обработки пластин. Она отличается тем, что снабжена шарнирно укрепленными в ее пазах ячейками, совершающими при ее возвратно- поступательных движениях колебательные движения. Благодаря этому расположенные в ячейках пластины непрерывно меняют свой угол относительно кассеты.
На фиг. 1 представлен общий вид кассеты; на фиг. 2 —,конструкция кассеты; на фиг. 3— ячейка кассеты.
Кассету 1 с загруженными в нее пластинами ставят на направляющие 2 ванны 8. В ванну наливают травильный раствор, зажигают газовые горелки 4 и включают электродвигатель 5, укрепленный, как и ванна 5, на основании б. При взаимодействии кулачка 7 и штока с,пружиной 8 кассета совершает возвратно-поступательные движения. При этом
5 ячейкам 9 под действием сил инерции и сопротивления жидкости сообщаются колебательные движения, обеспечивающие интенсивное перемешивание травильного раствора и, следовательно, равномерное травление плас-10 тин.
Кассета (фиг. 2) выполнена из нескольких коррозионноустойчивых к агрессивной среде полос 10, соединенных шпильками 11. На кон15 цы ш пилек надеты шкивы 12. В,полосах имеются пазы И, .в которых шарнирно укреплены ячейки 14, выполненные,по образующей конуса, с .целью размещения в них пластин любой формы. Ячейки 14 (фиг. 3) сделаны из
20 брусочков фторо пласта !5 с лазами 1б и обжимами 17 с .приваренными полуосями 18.
В полосах имеются также отверстия 19 (см. фиг. 2), благодаря которым в кассете
25 осуществляется свободное перемещение травильного раствора. Ванна снабжена сосудом
20 для стока избытка жидкости и отверстием
21 для полного слива на случай необходимости замены травильного раствора и слива во30 ды после промывки.
332527
Предмет изобретения
Составитель В. Гришин
Техред Т. Ускова
Корректор Л. Орлова
Редактор Б. Федотов
Заказ 934/13 Изд. № 377 Тираж 448 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретсний и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5
Типографии, пр. Сапунова, 2
Кассета для химической обработки полупроводниковых пластин, выполненная в виде параллелепипеда с аазами на боковых сторонах, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества обработки пластин, она снабжена шарнирно укрепленными в пазах боковых сторон ячейками, которые при ее возвратно-поступательных движениях совершают
5 колебательные движения,
