Полуавтомат для нанесения покрытия

Авторы патента:

А. Д. Самойлов, Н. В. Головин, В. В. Жезлов , С. С. Беликов

H01L21 - Способы и устройства для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей (способы и устройства, специально предназначенные для изготовления и обработки приборов, относящихся к группам H01L 31/00- H01L 49/00, или их частей, см. эти группы; одноступенчатые способы изготовления, содержащиеся в других подклассах, см. соответствующие подклассы, например C23C,C30B; фотомеханическое изготовление текстурированных поверхностей или поверхностей с рисунком, материалы или оригиналы для этой цели; устройства, специально предназначенные для этой цели вообще G03F)[2]

329600

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 26.XI.1969 (М 1380162/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 09.1!.1972. Бюллетень ¹ 7

Дата опубликования описания 11.1V.1972

М. Кл. Н 011 7, 68

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете йлинистров

СССР

УДК 621.328.002.54 (088.8) Авторы изобретения А. Д. Самойлов, Н. В. Головин, В. В. Жезлов и С. С. Беликов

Заявитель

ПОЛУАВТОМАТ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ

Изобретение относится к оборудованию полупроводникового производства, в частности к полуавтоматам для нанесения защитного покрытия на переходы полупроводниковых приборов.

Известен полуавтомат для нанесения защитного покрытия, который состоит пз механизма подачи переходов, механизма их ориентаци!!> Механизм!! Загрузк!! кассет и меха низ ма нанесения компаунда. Вследствие того что 10 нанесение компаунда осуществляется периферийной частью непрерывно вращающегося диска, переход может быть поврежден или останется незащищенным, если он искривлен.

Не исключены также повреждения вывода за- 15 жимами барабана.

В предложенном полуавтомате этп недостатки устранены благодаря тому, что механизм нанесения защитного покрытия выполнен в виде двух сцепленных с приводными рейка- 20 ми шестерен, на осях которых у тановлены цанговые зажимы с закрепленными в них проволочными петлями (диаметр проволоки

110 вЂ” 150 мк). Петли, деформируясь, устраняют неточность установки переходов в кас- 25 сете, не повреждая переход, и, прап!аясь вокруг перехода, равномерно наносят компаунд.

При этом исключено повреждение выводов, так как переходы поступают на полуавтомат в кассетах. 30

Па фпг. 1 показана кипематпческая схема предложенного полуавтомата; на фпг. 2вЂ” узел нанесения защитного покрытия.

Все узлы полуавтомата, кроме механизма загрузки кассет 1, приводятся в действие от электродвигателя 2 через ременную передачу

3, редуктор 4, муфту 5 и распределительный вал б с закрепленными на нем кулачкам .!

7, 8, 9.

Механизм загрузки кассет 1 приводится в действие от электродвигателя 10 через зуо !атую пару 11 и рейку 12.

С помощью кулачка 7 через рычаг 13 и палец 14 поднимается шток 15, а с нпм и ванночка 1б, при этом петли 17 окунаются в компаунд. В исходное положение рычаг 13 возвращается под действием пружины 18.

Кулачок 8 через рычаг 19, поводок 20, закрепленный па ползуне 21, и пружину 22 передает движение ползуну 23. Стопорные вш!ты 24 (на фпг. 1 показан один винт), дойдя до упора, останавливают ползун 23, а ползун

21 продолжает двигаться, сжимая пружину 22 и закрепленными на нем зубчатыми рейкам:

25 вращая оси-шестерни 2б. В исходное поло?IcI IIII!. рычаг 19, ползун 21 и ползун 23 возвращаются пружинами 27 и 22.

Кулачок 9 через рычаг 28 и палец 29 персдает движение по73vHy 30 с закрепленными на нем подпруя пненными собачками 31. Со

Похожие патенты:

Патент 329501 // 329501

Устройство для изготовления трафарето фотопотенциометроввсehbjiho- // 328520

Патент 328519 // 328519

Способ лужения выводов полупроводниковыхприборов // 328518

Микроманипулятор // 327537

Устройство для измерения подвижности носителей тока в полупроводниковых материалах // 327423

Устройство для струйного электролитического травления // 327422

Симметричный тиристор // 326917

Патент 326915 // 326915

Способ формирования пленки карбида кремния на подложке // 2100870

Способ изготовления биполярных полупроводниковых приборов // 2100871

Изобретение относится к области электричества, а более конкретно к технологии изготовления биполярных полупроводниковых приборов: диодов, тиристоров, транзисторов

Способ обработки лавинных диодов // 2100872

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, а более конкретно к методам радиационно-термической обработки диодов, работающих на участке пробоя вольтамперной характеристики, и может быть использовано в производстве кремниевых стабилитронов, лавинных вентилей, ограничителей напряжения и т.п

Способ изготовления интегральных схем на моп-транзисторах // 2100873

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных схем, особенно при необходимости минимизации количества операций литографии

Устройство для определения электрофизических параметров полупроводниковых пластин // 2101721

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Способ нанесения пленок // 2102814

Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике

Способ нанесения пленок // 2102814

Устройство для жидкофазной эпитаксии многослойных эпитаксиальных структур // 2102815

Изобретение относится к технологии полупроводников и может быть использовано для получения многослойных эпитаксиальных структур полупроводниковых материалов методом жидкофазной эпитаксии

Способ легирования твердого тела // 2102816

Способ изготовления полупроводниковых структур // 2102817

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления полупроводниковых структур, используемых для производства диодов, транзисторов, тиристоров, интегральных схем и кремниевых структур с диэлектрической изоляцией