Устройство для формирования нанодорожек



 

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования нанодорожек.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона.

Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для формирования нанодорожек, содержащем подложкодержатель, источник лазерного излучения и отражатель, согласно предложенной полезной модели, источник лазерного излучения выполнен щелевым с размером щели равным (2÷3) длины волн излучения и расстоянием между щелями равным (4÷6) длины волн излучения, отражатель выполнен из двух зеркал, размещенных друг к другу под углом близким к 180°, подложкодержатель выполнен в виде кюветы с жидкостью и установлен на шестикоординатном пьезоприводе, закрепленном на неподвижном основании.

Применение предлагаемого устройства для формирования нанодорожек позволяет обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона.

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования нанодорожек.

Известно устройство формирования нанодорожек содержащее подложку, источник лазерного излучения и отражатель [Журнал технической физики, 2005, том 75, выпуск 5. Нанолитография СБИС в экстремально дальнем вакуумном ультрафиолете (обзор). Р.Сейсян. Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН, 19402 Санкт-Петербург, Россия].

Недостатком аналога является невозможность формирования дорожек нанометрового диапазона.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования изображения содержащее подложку, источник лазерного излучения и отражатель [Журнал САПР и графика, март 2009. Второе дыхание 193-нм литографии или особенности 32-нм техпроцесса].

Недостатком прототипа также является невозможность формирования дорожек нанометрового диапазона.

В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона.

Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для формирования нанодорожек, содержащем подложкодержатель, источник лазерного излучения и отражатель, согласно предложенной полезной модели, источник лазерного излучения выполнен щелевым с размером щели равным (2÷3) длины волн излучения и расстоянием между щелями равным (4÷6) длины волн излучения, отражатель выполнен из двух зеркал, размещенных друг к другу под углом близким к 180°, подложкодержатель выполнен в виде кюветы с жидкостью и установлен на шестикоординатном пьезоприводе, закрепленном на неподвижном основании.

Технический результат, достижение которого обуславливается реализацией всей заявляемой совокупностью признаков, состоит в том, что обеспечивается возможность формирования дорожек нанометрового диапазона.

Сущность полезной модели поясняется на (фиг.1) где показано устройство для формирования нанодорожек.

Устройство для формирования нанодорожек содержит подложкодержатель 7, источник лазерного излучения 2 и отражатель 3. Источник лазерного излучения выполнен щелевым с размером щели 4 равным (2÷3) длины волн излучения и расстоянием между щелями равным (4÷6) длины волн излучения. Отражатель 3 выполнен из двух зеркал 5 и 6, размещенных относительно друг друга под углом близким к 180°. Подложкодержатель 7, на котором крепится подложка 1, выполнен в виде кюветы 8, заполненной жидкостью 9, например, водой, и установлен на шестикоординатном пьезоприводе 10, закрепленном на неподвижном основании 11.

Устройство для формирования нанодорожек (фиг.1) работает следующим образом.

Источник лазерного излучения 2 формирует когерентный волновой пучок, который, выходя из источника 2, разделяется щелями 4 на лучи, распространяющиеся вдоль параллельных прямых, причем расстояние между соседними лучами составляет (4÷6) длин волн. Далее излучение, отражаясь от зеркал 5 и 6, проходит слой жидкости 9, уменьшая длину волны пропорционально показателю преломления этой жидкости и попадает на подложку 1. Угол между зеркалами 5 и 6 выбирается таким образом, что достигая подложки 1, когерентные лучи интерферируют, образуя череду равноудаленных максимумов интенсивности излучения, в местах которых происходит интенсивный выброс материала подложки 1, что при перемещении шестикоординатного пьезопривода 10 обеспечивает формирование нанодорожек на подложке 1. Шаговое перемещение шестикоординатного пьезопривода 10 на величину - (2÷3) длины волны, в направлении перпендикулярном сформированным дорожкам и повторение вышестоящих операций формирования нанодорожек позволит участить количество дорожек на площади подложки 1.

Применение предлагаемого устройства для формирования нанодорожек позволяет обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона.

Устройство для формирования нанодорожек, содержащее подложкодержатель, источник лазерного излучения и отражатель, отличающееся тем, что источник лазерного излучения выполнен щелевым с размером щели , равным (2÷3) длины волн излучения, и расстоянием между щелями , равным (4÷6) длины волн излучения, отражатель выполнен из двух зеркал, размещенных относительно друг друга под углом, близким к 180°, подложкодержатель выполнен в виде кюветы с жидкостью и установлен на шестикоординатном пьезоприводе, закрепленном на неподвижном основании.



 

Похожие патенты:

Технологическая линия для производства и изготовления строительной стеновой заготовки съемной опалубки относится к области строительства, в частности к оборудованию для производства строительных материалов, предназначенных например, для строительства монолитно-каркасных домов разной этажности с многослойными стенами при использовании съемной опалубки.

Технологическая линия и оборудование для производства мелких стеновых блоков из ячеистого бетона относится к области строительных материалов и может быть использована при производстве мелких стеновых блоков из ячеистых материалов.

Технологическая линия для производства и изготовления строительной стеновой заготовки съемной опалубки относится к области строительства, в частности к оборудованию для производства строительных материалов, предназначенных например, для строительства монолитно-каркасных домов разной этажности с многослойными стенами при использовании съемной опалубки.
Наверх