К авторскому свидетельствум. кл. g 01 г 31/26удк 621.352.2(088.8)

ЕС )р;=;

1л y

СПИ АНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. С 01г 31/26

Заявлено 25.1.1972 (№ 1742634/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Государственный комитет

Совета Министров СССР

IIo делам изооретений и открытий

Приоритет

Опубликовано 17.1Х.1973. Бюллетень ¹ 37

Дата опубликования описания 13.1!.1974

УДК 621 382.2(088.8) Авторы изобретения

Е. И. Дикун, А. P. Виснап, В. В. Кальгина и В. И. Овчаренко

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗБРАКОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

ПРИБОРОВ ПО НЕСТАБИЛЬНОСТИ ОБРАТНЫХ ТОКОВ

P-П ПЕРЕХОДОВ

Изобретение относится к контрольно-измерительному оборудованию, применяемому в полупроводниковой промышленности при производстве полупроводниковых приборов, в частности предназначено для измерения неста бильности обратного тока перехода полупроводникового прибора.

Известны устройства для проверки малых нестабильностей обратных токов переходов полупроводниковых приборов, содержащие магнитный усилитель, схему сравнения с элементом памяти, электронное реле времени, схему коммутации и источник питания.

Недостатком указанных устройств является низкая точность и надежность, так как они не позволяют обнаруживать знакопсременные нестабильности тока.

Цель изобретения — повысить точность и надежность работы устройства. Это достигается тем, что между выходом датчика-преобразователя тока и схемой коммутации и индикации включены усилитель знакопеременных сигналов и схема сравнения, подключенная к реле времени, соединенному со схемой сравнения с элементом памяти и схемой коммутации и индикации.

На чертеже изображена блок-схема описываемого устройства.

Устройство содержит датчик-преобразователь тока 1, выполненный в виде усилителя, к выходу которого параллельно подключена схема сравнения 2 с элементом памяти, и усилитель 3 знакоперсменных сигналов с заданной полосой пропускания. Выход схемы сравнения 2 с элементом памяти соединен со схемой коммутации и индикации 4, к которой через схему сравнения 5,подключен также и усилитель 3. Между схемами сравнения 2, 5 и схемой коммутации и индикации 4 включено реле времени 6. Все элементы устройства подключены к источнику питания 7.

Устройство работает следующим образом.

К участку испытуемого перехода 8 (или 9) прикладывается напряжение от источника питания 7, соответствующее рабочему режиму.

Обратньш ток перехода в,датчнке-преобразователе тока 1 усиливается. Усиленный сигнал тока перехода сравнивается в схеме сравнения

2 с оигнапом, пропорциональным норме по постояннои составляющей тока, установленной в технических условиях. Если он превышает установленный уровень, то схема сравнения 2 выдает сигнал в блок коммутации и индикации 4, и устройство сигнализирует о браке.

Если же сигнал на выходе датчика-преобразователя 1 меньшс установленной нормы, то происходит его запоминание через задашгое

ТУ время в элементе памяти схемы 2. Одновременно к выходу усилителя знакоперемен 30 ных сигналов 3 подключается схема сравне39785

Предмет изобретения

Со ст а в и тел ь В. Ста нкев ич

Редактор В. Фельдман Техред А. Камышникова

Корректор А. Васильева

Заказ 800/14 Изд. № 90 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 ния 5. При наличии в токе знакоперсменных колебаний те, которые лежат в диапазоне полосы пропускания усилителя 3, поступают на схему сравнения 5, и в случае превышения колебаниями заданной нормы схема сравнения 5 дает в схему коммутации и индикации

4,информацию о браке. Если же знакопеременные колебания отсутствуют или их величи на меньше нормы, то по истечении испытательного промежутка времени по сигналу реле времени 6 схема сравнения 2 сно ва лодключается к выходу датчика-преобра зователя 1. Если, в этот момент сигнал на выходе датчика-преобразователя 1 будет отличаться от сигнала, зафиксированного на элементе памяти схемы 2, то HBI ее выходе 2 появится импульс, пропорциональный величине монотонно, изменяющегося обратного тока исследуемого перехода полупроводникового прибора. Таким обр азом, предлагаемое устройство способно фиксировать не только монотонные, 4 ф

9 . бФ е

Ф

И ню и знакопеременные нестабильности обратного тока, что повышает точность и на дежность разбраковки.

Устройство для,разбраковки полупроводниковых приборов по нестабил|ьности обратных токов р-п переходов, содержащее датчик-преобразователь тока, выполненный в виде усилителя, соединенный со схемой сравнения с элементом памяти и схемой коммутации и индикации, и реле времени, отличающееся твм, что, с целью повышения точнюсти и надежности разбраковки, между выходом датчика-преобразователя тока и схемой коммутации и индикации включены усилитель знакопеременных сигналов и схема сравнения, подключенная к реле времени, соединенному со схемой сравнения с элементом па мяти и схемой иоммутации и индикации.