Всгсоюзнаи
ОП ИСАНИЕ 37!639
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 08.II.1971 (№ 1623682/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 22.ll.1973. Бюллетень № 12
Дата опубликования описания 17Х.1973
11. Ь;л. Н 01/ 7/68
Комитет оо делам изобретений и открытий ври Совете Министров
СССР
УДЫ, 621.328,002(088.8) Авторы изобретения
° 7
-и
В
В. T. Николаев и М. С. Антоновский
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ РОСТА И ТОЛЩИНЫ
ПЛЕНКИ ПРИ ВАКУУМНОМ ИСПАРЕНИИ
Изобретение относится к технологическому оборудованию и может быть использовано для контроля скорости роста и толщины пленки в процессе вакуумного испарения.
Известные устройства для контроля скорости роста и толщины пленки состоят из кварцевого резонатора, контролирующего скорость роста и определяющего достижение заданной толщины, и заслонки, перекрывающей поток пара при достижении заданной толщины. Для снижения теплового нагрева от окружающих предметов и от испарителя кварцевый резонатор обычно помещают в охлаждаемый экранирующий корпус с отверстием для прохождения потока пара.
Однако известные устройства дают значительную погрешность измерения скорости роста в начальный период нанесения пленки вследствие сдвига частоты резонатора, который происходит под действием теплового удара в момент открытия заслонки.
Такой сдвиг частоты при резком изменении температуры кварцевого резонатора объясняется тем, что динамический температурный коэффициент частот ы больше статического тем пер а тур ного коэфф ициента.
Цель изобретения — повышение точности измерения скорости роста пленки в начальный момент нанесения пленки, Цель достигается тем, что на поверхности заслонки, обращенной к кварцевому резонатору, установлен нагреватель, создающий тепловой поток на резонатор, равный тепловому потоку от испарителя.
Предлагаемое устройство схематически показано на чертеже.
Устройство содержит кварцевый резонатор
1, помещенный в охлаждаемый корпус 2 с отверстием 8, заслонку 4 для перекрытия потока пара, поступающего от испарителя б, и нагре10 ватель 6, закрепленный на поверхности заслонки 4, обращенной к кварцевому резонатору 1.
Устройство работает следующим образом.
Заслонкой 4 перекрывают поток пара, поступающего от испарителя 5, затем включают нагреватель 6, устанавливают необходимую температуру нагревателя 6 в течение времени, необходимого для прогрева резонатора 1. Когда частота резонатора 1 стабилизируется, заслон2р ку открывают, — происходит осаждение испаряемого вещества. 17о достижении заданной толщины пленки заслонка перекрывает поток пара.
Применение нагревателя, установленного на заслонке, позволяет в несколько раз повысить точность измерения скорости роста пленок в начальный момент осаждения. Испытания показали, что при отсутствии нагревателя на заслонке практически невозможно изме3р рять скорость роста пленки на начальном участке (10 — 100 сек), так как погрешность
371639
Предмет изобретения
9. //
1, //
Составитель Н. Островская
Техред Е. Борисова
Редактор И. Орлова
Корректоры: В. Петрова и А. Николаева
Заказ 1318/2 Изд. ¹ 1199 Тираж 780 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, /К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 измерения достигает 100%. Устройство позволяет измерять скорость роста пленки в начальный период осаждения с точностью, определяемой погрешностью измерительного прибора, Устройство для контроля скорости роста и толщины пленки при вакуумном испарении, содержащее кварцевый резонатор, помещенный в водоохлаждаемый корпус с отверстием для прохождения потока пара испаряемого вещества, заслонки для перекрытия потока пара, отличающееся тем, что, с целью уменьшения тепловой погрешности кварцевого резонатора, на поверхности заслонки, обращенной к резонатору, установлен нагреватель, создающий тепловой поток на резонатор, равный тепловому потоку от испарителя.
