О п^гсга рпи е изобретения

E 389578

Союз Советски

Социалистическ

Республик

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт, свидетельства №вЂ”

Заявлено 26.Х.1970 (Ла 1488127/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 05ХН.1973. Бюллетень М 29

Дата опубликования описания 7.11.1974.

М. Кл, H Oll 7/68

Гасударственный камитет

Савета Министров CCCP еа делам иэоеретений и Откеытий

УДК 621.328.002. .54 (088,8) Авторы изобретения П. Н. Масленников, А. М. Баховкин, H. В. Куршев и В. В. Степанов

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗБРАКОВКИ ТРАНЗИСТОРОВ

Изобретение предназначено для использования в производстве полупроводниковых приборов, в частности, для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами.

Известно устройство для разбраковки 5 транзисторов с шариковыми выводами, состоящее из транспортирующего устройства с вакуумными присосками, разгрузочной карусели с ячейками по группам классификации, манипулятора, микроскопа для ориентации 10 пластины и зондовой головки для измерения параметров транзисторов, соединенной с измерительным устройством.

При работе устройства транзистор вруч- 15 ную ориентируется с помощью микроскопа вниз выводами относительно вакуумной присоски, находящейся на четырехпознционной карусели транспортирующего устройства, и посредством манипулятора — относительно 20 щупов зондовой головки. Затем присоской, подводимой со стороны подложки, он переносится на позицию измерения, где определяется правильность подключения выводов транзистора к измерительным цепям. Далее 25 измеряются параметры, и приборы классифицируются по группам. Измеренный транзистор сбрасывается присоской в соответствующую классификационную ячейку. Такое устройство малопроизводительно из-за вы- 30 полнения вручную ориентации транзистора с шариковыми выводами.

Предложенное устройство более надежно.

Его производительность повышена благодаря тому, что оно снабжено дополнительной зондовой головкой с четырьмя щупами (количество щупов соответствует количеству выводов). Головка встроена в поворотный рычаг манипулятора и соединена с блоком ориентации полупроводниковых приборов по положению и блоком измерения электрических параметров.

На фиг. 1 показано предложенное устройство, вид сбоку и сверху; на фиг. 2 — манипулятор с верхней и нижней зондовыми головками; на фиг. 3 — эондовые головки со щупами, разрез по вертикали и вид по стрелке А; па фкг. 4 — поворотный рычаг манипулятора в момент загрузки гнезда транзистором; на фиг. 5 — поворотный рычаг манипулятора в момент фиксации транзистора на позиции измерения; па фиг. 6 — верхняя и нижняя зондовые головки со щупами в момент контактирования с транзистором.

Устройство для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами (см. фиг. 1) состоит из вибробункера 1, наклошюго лотка 2, машгпулятора 8, в который вмонтированы две зондовые головки 4 и 5 (см. фиг. 2 и фиг. 3) со щупами 6, соединенные с измерительным

389578 устройством. 1-1и>княя зондовая головка 5 вмонтирована в поворотный рычаг кронштейна 7 манипулятора,3.

Предложенное устройство работает следующим образом. 5

Из вибробункера 1 транзисторы 8 подаются в гнездо 9 нижней зондовой го".DLêè

5 и фиксируются по упорам (см. фпг. 4).3aтем вибробункер отключается, и кронштейн

7 переносит транзистор к верхней зондовой 10 головке 4 (см. фиг. 2). Кронштейн перемещается с помощью двух кулачков, укрепленных на распределительном валу (на фиг. 2 не показаны), и соединенных с рычагами 10 и 11, один из которых поворачивает крон- 15 штейн, а другой поднимает его к неподвижной верхней зондовой головке, совмещая по оси с последней.

Для точного совмещения двух зондовых головок нижняя перемешается по копиру 12. 20

После подведения нижней зондовой головки

5 к верхней 4 на расстояние 1 — 1,5 лл и соосного совмещения их фиксатор 18 (см. фиг. 5), установленный в неподвижном кронштейне манипулятора, прижимает транзистор 25 к двум штифтам 14, укрепленным в посадочном гнезде нижней зондовой головки.

При соосном совмещении (щупамн, обращенными навстречу друг другу) двух зондовых головок транзистор касается четырех 30 подпружиненных щупов, выступающих на

0,1 — О,З л м из верхней зондовой головки.

Так как поджатие нижней зондовой головки к верхней во время совмещения продолжается, то верхние щупы, контактируя с 35 транзистором, утапливаются до уровня площадки верхней зондовой головки.

Подпружиненная втулка 15, подвижная относительно гцупов нижней зондовой головки 5, опускается, в результате этого к транзистору прижимаются четыре нижних подпружиненных щупа. Щупы зондовых головок выполнены так, что диаметры их контактирующих площадок составляют не менее полутора диаметров шариковых выводов. Такая конструкция щупов обеспечивает надежное контактирование с шариковыми выводами. Те щупы, которые контактируют с пластиной со стороны подложки, автоматически отключаются, и параметры измеряются посредством щупов зонда, контактирующего с шариковыми выводами, независимо от положения пластины (вверх или вниз выводами) .

B соответствии с параметрами приборы классифицируются по группам.

После окончания замера параметров нижний кронштейн манипулятора опускается с копира и под действием пружины 1á поворачивается на определенный угол к позиции разгрузки.

Предмет изобретения

Устройство для разбраковки транзисторов с шариковыми выводами, содержащее загрузочное устройство, манипулятор, зондовую головку со щупами, измерительное устройство, блок определения положения контактных площадок испытуемого прибора, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и надежности, оно снабжено дополнительной зондовой головкой, причем щупы обеих зондовых головок подключены к измерительному устройству через блок определения положения контактных площадок испытуемого прибора.

38957&

Фие б

Составитель H. Островская

Редактор T. Орловская Техред T. Ускова Корректор О. Усова

Заказ 660/7 Изд. № 979 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Малоярославецкая городская типография Калужского областного управления издательств, полиграфии н книжной торговли