Способ контроля герметичности полупроводниковых
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
00Ios Соеетскик
Сециалистическик
Реолублик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 15.IV.1971 (№ 1648128/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 18ЛЧ.1973. Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 12.VII.1973
М. Кл, Н Olt 7/64
Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
УДК 621.382(088.8) Авторы изобретения
А. Г. Егоров и В.,Н. Говоренков
Минский завод «Транзистор»
Заявитель
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
ПРИБОРОВ
Изобретение относится к области контроля герметичности полупроводниковых устройств.
Известные способы контроля герметичности, основанные на проникающей способности жидкостей или газов через негерметичные соединения, обладают низкой чувствительностью и длительным временем испытания.
Предлагаемый способ позволяет повысить чувствительность жидкостных методов до — 4 Л,МН
10 4 и снизить время выдержки изделий сек с нескольких суток до нескольких минут.
Это достигается тем, что для создания высокой разности давлений между внутренним объемом негерметичных изделий и их внешней поверхностью откачивают воздух из камеры с контролируемыми изделиями, что позволяет снизить давление в объемах негерметичных изделий до 10 — 100 мм рт. ст., заполняют камеры жидкостью (например, ацетоном) под атмосферным давлением и затем обрабатывают изделия в жидкости ультразвуковыми колебаниями частотой 20 — 500 кги, мощностью 1 — 5 вт/см .
По предлагаемому способу сократить время контроля изделий на герметичность позволяет разность давлений, полученная между внутренним объемом негерметичных изделий и их внешней поверхностью. Разность давлений создается в результате следующих физических процессов: внутренние объемы негерметичных изделий имеют пониженное давлен ие за счет откачки воздуха из них по отношению к объему камеры, которая заполнена жидкостью под атмосферным давлением; ультразвуковые колебания создают кавитационные процессы в жидкости, при которых возникают местные ударные волны с большими мгновенными nulo ками давления. Ударные волны при гидродинамическом ударе о поверхность контролируемых изделий и разность давлений между атмосферным и откаченным в объеме изделий резко повышают проникающую способность
15 жидкости в объеме негерметичных изделий.
По предлагаемому способу испытывают изделия на герметичность следующим образом.
Контролируемые изделия помещают в вертикальном положении в сетчатое приспособ20 ление, имеющее полое фторопластовое кольцо. Вертикальное расположение изделий выбирают из условия наименьшего экранирования контролируемых поверхностей от ультразвуковых колебаний, Приспособление с изде25 лиями размещают в камере центрично относительно излучателя. Уплотняют камеру крышкой и затем откачивают воздух из камеры форвакуумным насосом до давления 10—
100 мм рт. ст. Изделия выдерживают в ваз0 кумме 30 — 120 мин и заполняют камеру жид.
378999
Предмет изобретения
Составитель Н. Островская
Техред Т. Миронова
Редактор А. Батыгин
Корректоры: М. Гарцевич и А. Степанова
Заказ 1892!11 Изд. № 548 Тираж 780 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
3 костью (например, ацетоном) под атмосферным давлением.
По заполнении жидкостью объема камеры на контролируемые изделия воздействуют ультразвуковыми колебаниями, мощность которых выбирают из условия механической прочности контролируемых изделий. Изделия в ультразвуковом поле выдерживают несколько минут в зависимости от конструкции узлов соединения и методов герметизации. После выдержки изделия удаляют из камеры и измеряют величину обратного тока. При проникновении в корпус жидкость изменяет поверхностные свойства полупроводникового материала, в результате чего изменяется обратный ток полупроводникового устройства, по изменениям которого оценивают негерметичность корпуса.
По предлагаемому способу воздействие ультразвуковых колебаний на изделия позволяет вскрыть скрытые микротрещины и тем самым обнаружить потенциально ненадежные приборы, что невозможно сделать другими способами контроля.
10 Способ контроля герметичности полупроводниковых приборов, основанный на проникающей способности жидкости через негерметичные соединения с последующим изменением величины обратного тока прибора, отли15 чающий ся тем, что, с целью снижения времени контроля, откачивают воздух из камеры с контролируемыми изделиями, заполняют камеру обрабатывающей жидкостью под атмосферным давлением и после обработки ультра20 звуком проводят измерения.
