Испаритель металла, реагирующего с вольфрамом
36I228
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельствà ¹
Заявлено 04.V.1970 (№ 1433750/22-1) с присоединением заявки №
М. Кл. С 23с 13i12
Приоритет
Комитет по делам иаобрвтеиий и открытий при Совете Мииистров
СССР
Опубликовано 07.Х11.1972. Бюллетень ¹ 1 за 1973
Дата опубликования описания 9.11.1973
УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Авторы изобретения
В. Н. Рождественский и Б. Н. Шарупин
Заявитель
ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛА, РЕАГИРУЮЩЕГО С ВОЛЬФРАМОМ
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.
Известен испаритель металла, реагирующего с вольфрамом, содержащий нагреватель из вольфрамовой проволоки и тигель с испаряемым веществом. Однако в этом испарителе затруднена очистка его и зарядка испарясмым металлом.
Цель изобретения — создание испарителя, в котором нагреватель из вольфрама был бы отделен от испаряемого металла. Зто достигается тем, что нагреватель выполнен в виде плоской спирали и помещен внутри тигля, выполненного в виде колпачка из керамики, на наружной поверхности дна которого расположен испаряемый металл, а на внутренней— нанесено покрытие из вольфрама.
На чертеже представлен испаритель, общий вид.
Иопаритель состоит из нагревателя 1 в виде плоской спирали, и помещенного внутри тигля 2, выполненного в виде колпачка из керамики, на наружной поверхности дна которого расположен испаряемый металл, а па внутренней — нанесено покрытие из вольфрама.
На спираль надет тонкостенный колпачок из нитрида бора, на дно которого сверху кладется заряд алюминия в виде фольги или пластинки. Такая форма заряда благоприятствует быстрой теплопереда ье от раскаленного нагревателя через тонкостенный колпачок к испаряемому металлу.
Плавление и испарение протекает быстро, причем металл испаряется в широком телес5 ном угле, что благоприятствует получению слоя равномерной толщины,на больших поверхностях. Вольфрам полностью отделен от алюминия, благодаря чему нагреватель служит долго. Так как нагреватель находится
10 внутри испарителя, то при монтаже нового испарителя нс имеет места перенос случайных загрязнений с .нагревателя па поверхности on v ec rx деталей, благодаря чему уже первая партия деталей получается с нормальным
15 сцеплением слоя металла с подложкой, не нарушаемым при механических воздействиях на слой.
Укладка нового заряда алюминия на испаритель пе составляет труда. Конструкция ис20 парителя не исключает возможности подзаряда его алюминием известными способами без нарушения вакуума. Колпачок, служащий испарителем, теплоизолирует помещенный внутри него нагреватель. Для еще лучшей тепло25 изоляции можно цилиндрическую поверхность колпачка окружить металлическим экраном из любого тугоплавкого металла, а под колпачком поставить зеркало, например алюминированное стекло, отражающее радиацию
30 внутрь колпачка.
361228
Предмет изобретения
Составитель И. Резник
Редактор О. Филиппова Техред А. Камышникова
Корректоры: А. Дзесова и Л. Новожилова
Заказ 235/ll Изд. М 21 Тираж 404 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
Испарнтель металла, реагирующего с вольфрамом, содержащий нагреватель из вольфрамовой проволоки и тигель, отличающийся тем, что, с целью отделения нагревателя от вольфрама от испаряемого металла и удобства зарядки, испаряется испаряемым металлом, нагреватель выполнен в виде плоской спирали и помещен внутри тигля, на наружной
5 поверхности дна которого нанесено покрытие из вольфрама.
