Испаритель

 

Использование: в микроэлектронике, устройствах для нанесения покрытий. Сущность изобретения: испаритель, содержащий тигель, нагреватель и формирователь потока пара, снабжен рыхлителем, установленным внутри плоского со щелевидной полостью тигля с возможностью возвратно-поступательного перемещения. Между формирователем потока пара и рыхлителем размещена соединенная с ними форсунка. Дополнительно предусмотрены формы выполнения тигля, рыхлителя и форсунки. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме.

Известен испаритель, содержащий тигель с крышкой, нагреватель и формирователь потока пара [1] Недостатком известного испарителя является то, что весь засыпанный резист постоянно греют. В результате может произойти полимеризация резиста и потребуется его замена, что увеличивает расход дорогостоящего резиста.

Наиболее близким по технической сущности решением является испаритель, содержащий тигель, нагреватель, экран, формирователь потока пара и средство вращения тигля [2] Недостатком данного испарителя является вероятность остекловывания поверхности тигля, что приводит к замене неотработанного резиста и, следовательно, к увеличению расхода дорогостоящего материала.

Цель изобретения увеличение коэффициента использования испаряемого материала за счет наличия рыхлителя и форсунки.

Сущностью изобретения является то, что испаритель, содержащий тигель с нагревателем и формирователь потока пара, снабжен установленным внутри выполненного плоским с щелевидной полостью тигля с возможностью возвратно-поступательного перемещения рыхлителем. Между формирователем потока пара и рыхлителем размещена соединенная с ними форсунка, выполненная в виде штока с сквозными продольными и поперечными капиллярами и соединенными с капиллярами продольными пазами на его наружной поверхности. Тигель выполнен в виде плоского диска, рыхлитель в виде перевернутой сетчатой тарелки. Наружная поверхность тигля и формирователя потока имеет светопоглощающее покрытие.

На фиг. 1 представлен испаритель, общий вид; на фиг. 2 -сечение А-А на фиг. 1.

Испаритель содержит установленные внутри кожуха 1 с нагревателем 2, тигель, выполненный из двух герметично соединенных между собой частей 3 и 4 плоского диска с щелевидной полостью 5 между ними, и формирователя 6 потока пара. В щелевидной полости 5 тигля 3 и 4 установлен рыхлитель 7, закрепленный на штоке 8 и соединенный со средством 9 перемещения. Между рыхлителем 7 и формирователем 6 потока пара расположена соединения со штоком 8 и рыхлителем 7 форсунка 10, которая выполнена в виде части штока 8. Форсунка 10 имеет сквозные продольные 11 и поперечные 12 капилляры, соединенные с выполненными на ее наружной поверхности продольными пазами 13. Наружная поверхность тигля 3 и 4 и формирователя потока пара 6 покрыта светопоглощающим покрытием 14.

Испаритель работает следующим образом.

В тигель 3 и 4 помещают резист, например ЭВН-1. Производят откачку всего объема испарителя через отверстие к датчику давления до 1,33 ^.10^-4 мм рт.ст. и начинают нагревать резист нагревателем 2 до температуры сублимации резиста 160^оС. После этого рыхлитель 7 начинают перемещать средством 9 перемещения возвратно-поступательно в вертикальной плоскости (или в горизонтальной, если испаритель будет занимать другое положение). Резист, нагреваясь, начинает испаряться и занимать весь объем тигля 3 и 4, затем через продольные 11 и поперечные 12 капилляры и продольные пазы 13 форсунки 10 и формирователь 6 потока пара пары резиста попадают на обрабатываемую пластину.

Снабжение рыхлителем, выполнение его в форме перевернутой сетчатой тарелки и размещение в щелевидной полости тигля с возможностью возвратно-поступательного перемещения обеспечивают постоянное перемещение резиста, что приводит, практически, к его полной полимеризации и позволяет использовать дорогостоящий материал полностью. Размещение форсунки между рыхлителем и формирователем потока пара, выполнение ее в виде стержня с продольными и поперечными капиллярами, соединенными с выполненными на наружной поверхности продольными пазами, позволяют значительно повысить коэффициент использования резиста. Выполнение тигля в виде плоского диска с щелевидной полостью позволяет сократить длину пробега пара резиста, сохранить температуру нагрева и, следовательно, исключить высаждение на стенках тигля и повысить коэффициент использования резиста. Выполнение тигля и формирователя потока пара со светопоглощающим покрытием обеспечивает поддержание стабильной температуры в испарителе, что исключает высаждение на стенках тигля резиста и затем его остекловывание и позволяет повысить коэффициент использования испаряемого материала.

Формула изобретения

1. ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий тигель, нагреватель и формирователь потока пара, отличающийся тем, что он снабжен установленным внутри выполненного плоским с щелевидной полостью тигля с возможностью возвратно-поступательного пермещения рыхлителем, а между формирователем потока пара и рыхлителем размещена соединенная с ними форсунка.

2. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что тигель выполнен в виде плоского диска.

3. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что рыхлитель выполнен в виде перевернутой сетчатой тарелки.

4. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что форсунка выполнена в виде штока со сквозными продольными и поперечными капиллярами и соединенными с капиллярами продольными пазами на его наружной поверхности.

5. Испаритель по п.1, отличающийся тем, что наружные поверхности тигля и формирователя потока пара имеют светопоглощающее покрытие.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2