Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Авторы патента:

Авторы изобретени

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

ОПИСАН И Е

ИЗОЬГЕтИНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

36I227

Goos Соеетскик

Социалистическил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства Л

Заявлено 02 Н!.1970 (№ 1409939/22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

М. Кл. С 23с 13/08

11омитет по делам изобретений и открытий при Сосете Министров

СССР

УДК 621,793.14.002.51 (088.8) Опубликовано 07.Х11.1972. Бюллетень № 1 за 1973

Дата опубликования описания 9.11.1973

Авторы изобретения

В. П. Кононов и В. И. Терсков

Институт физики Сибирского отделения АН СССР

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой расположены основание-фланец с несколькими испарителями. Однако в этом устройстве невозможно длительное испарение больших количеств материала.

В предлагаемом устройстве верхняя часть основания-фланца выполнена в виде полого цилиндра, в котором циркулирует охлаждающая его вода.

На чертеже представлено устройство, общий вид.

Устройство включает камеру (на чертеже не показана), внутри которой расположены основание-фланец 1 с несколькими испарителями

2. Верхняя часть основания-фланца выполнена в виде полого цилиндра, в котором циркулирует охлаждающая его вода.

Вакуумная герметизация и высоковольтная изоляция основания-фланца обеспечена наличием эластичной прокладки 8 и электроизолирующих втулок 4. Необходимый ток эмиссии при работе нужных испарителей обеспечивается катодами 5, укрепленными на токоподводах б, один из которых выведен через фторопластовое уплотнение наружу, а второй-заземлен. Тепловое экранированпе тиглей обеспечивает арматура экранирования 7, расположенная па заземленных токоподводах б.

В керамические тигли испарителей 2 закладывают испаряемый материал. Затем устройство стыкуют с вакуумной камерой, в,которой создается вакуум порядка 10 -10- торр. Испарение обеспечивается током

10 эмиссии с прямонакальных катодов прп высоком напряжении на фланце-основании. Скорость испарения из каждого тигля регулируется мощностью накала, определяющей ток эмиссии.

15 Для предотвращения перегрева устройства в рабочем режиме в пустотелом основаниифлапцс циркулирует проточная вода.

Предмет изобретения

20 Устройство для,нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой расположены основание-фланец с несколькими испарителями, отличающееся тем, что, с целью обеспечения длительного испарения больших

25 количеств материала, верхняя часть основания-фланца выполнена в виде полого цилиндра.

361227

Составитель И. Резник

Редактор О. Филиппова Техред А, Камышникова

Корректоры: A. Дзесова и Л. Новожилова

Заказ 235/10 Изд. № 21 Тираж 404 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Патент 358727 // 358727

Термический испаритель для вакуумных установок // 358428

Способ получения покрытий путем испарения в вакуумейли^^.^^- - ':?rv',' b^i^v^^*'^]::'^;-. // 351929

Устройство для загрузки испарителей // 344032

Испаритель алюминия для вакуумных установок // 329253

Испарительное устройство для вакуумных установокf^ г> & ' f~l •" |_! л '—воесою:патентко-иbh5;;i'io // 309071

Эная ^——•— -^^'п>&й^1л;:[^ч?2!1[ля(.^,«nf:лис гена 1 // 295829

Устройство для испарения покрытий в вакууме // 289623

Патент 281997 // 281997

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме