Испаритель алюминия для вакуумных установок
Ой — И O АН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
329253
Союз Соввтскиз
Социалистическиз
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидегельства №
Заявлено 06.IV.1970 (Ж 1423844/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 09.II.1972. Бюллетень № 7
Дата опуоликования описания 6.IV.1972
М. Кл. С 23с 13/12
Комитет по делам изобретений н открытий при Совете Министров
СССР
УД К 621.793.14.002.51 (088.8) Авторы изобретения В. С. Славников, Ф. А. Власов, Б. В. Максименко и Н. А. Усынина
Заявитель Томский институт радиоэлектроники и электронной техники
ИСПАРИТЕЛЬ АЛЮМИНИЯ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК
Предмет изобретения
Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.
Известен испаритель алюминия для вакуумных установок, содержащий тигель из нитрида алюминия и нагреватель. Однако этот испаритель не обеспечивает стабильности испарения алюминия.
Предлагаемый испаритель отличается от известного тем, что для повышения стабильности испарения нагреватель в нем выполнен в виде трубы из молибдена, внутри которой установлен тигель так, чтобы расстояние от поверхности расплавленного алюминия до верхнего торца нагревателя было не менее одного-двух диаметров трубы нагревателя.
Описываемый испаритель изображен на чертеже, общий вид.
Испаритель содержлт тигель 1 пз нитрида и нагреватель 2, выполненный в виде трубы из молибдена, внутри которой установлен тигель так, чтобы поверхность расплавленного алюминия была на расстоянии не менее одного-двух диаметров трубы нагревателя от верхнего торца нагревателя.
Нагреватель, изготавливают из молибденовой фольги с помощью точечной сварки; токоподводы 8 — из молибденовой проволоки.
Температура тпгля измеряется с помощью термопары 4. При нагревании расплавленный алюминий слабо смачивает тигель, не вступает с ним в реакцию и не переливается через края. Нагреватель равномерно нагревает тигель. По достижении температуры испарения поток алюминия в трубе нагревателя, действуя как пароструйный насос, уменьшает парцнальное давление азота плп аммиака над
10 тиглем, тем самым препятствует образованию слоя нптрида алюминия па расплавленном алюминии. Это приводит к стабилизации процесса испарения.
11спаритель алюминия для вакуумных уста. овок, содержащий тигель из нитрида алю20 мпння п нагреватель, отлачающий1ся тем, что, с целью повышения стабильности испарения, нагреватель выполнен в виде трубы из молибдена, внутри которой установлен тигель так, чтобы расстояние от поверхности расплав25 ленного алюминия до верхнего торца нагреьателя было не менее одного-двух диаметров трубы нагревателя, 329253
Составитель И. Резник скреп 3. Тараненко
Редактор Л, Жаворонкова
Коррек гор Н. Шевченко
Типов! афин, !:1>. Сап и|она, 2
Заказ 858, I7 Изд. к в 239 Тираж 448 Подписное
ЦПИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, >К-35, Рауыская наб.. д. 4/5
