Испарительный элемент для нанесения покрытийв вакууме

Авторы патента:

В. С. Дергунова, А. Н. Шуршаков, Г. Д. Пососьева , Г. Д. Красильников

C23C14/26 - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОР СКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

360409

Союз Советокиз

Сопиалистическиз

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл, С 23с 13/12

Заявлено 10.1Ч.1970 (№ 1427190/22-1) с присоединением заявки №вЂ”

ПриоритетвЂ”

Опубликовано 28.Х1.1972. Бюллетень № 36

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.793.14.002.52. (088.8) Дата опубликования описания 29.1.1973

Авторы изобретения

В. С. Дергунова, А. Н. Шуршаков, Г. Д. Пососьева и Г. Д. Красильников

Заявитель

ИСПАРИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения покрытий,в вакууме.

Известен испарительный элемент для нанесения покрытий в вакууме из цветных металлов, выполненный из графита и карбида тугоплавкого металла.

Однако, известный испарительный элемент не обеспечивает длительного испарения химически активных веществ, что снижает его эксплуатационную стойкость.

Цель данного изобретения вЂ” создание испарительного элемента, обладающего высокой эксплуатационной стойкостью. предлагаемое устройство отличается тем, что материал содержит 20 вЂ” 80"/, карбида тугопла вкого металла.

На чертеже представлен предлагаемый испарительный элемент.

Он состоит из контактной площадки 1 и рабочей зоны 2. Иопарительный элемент стоек к,воздействию высокой температуры, тепловым ударам, обладает устойчивостью против эрозий, коррозии и термической усталости при температуре до 2000 С. Эти свойства обеспечивают длительную работу в усло виях контакта с расплавом химически активного вещества и испарения в вакууме при высокой температуре.

Лабораторное и промышленное испытания показали, что испарительныи элемент из композиции карбид циркония-графит, в состав которого входит 30% карбидной фазы, нагре ваемой путем пропускания электрического тока, обеспечивает непрерывное испарение алтоминия со скоростью 1,5 вЂ” 2,0 г/мин в течение

8 вЂ” 10 час без заметного изменения параметров режима, работы и качества покрытия, что превышает срок службы выпускаемых в настоящее время испарительных элементов более чем .в 3 раза.

Испарительный элемент для нанесения покрытий из цветных металлов в вакууме, выполненный из материала, содержащего графит и карбид тугоплавкого металла, отличаюитиася тем, что, с целью увеличения эксплуатационной стойкости материала, его компоненты взяты в следующих соотношениях, вес, карбид тугоплавкого металла 20 вЂ” 80, графит остальное.

360409

Составитель И. Резник

Редактор Л. Лаврова Техред Л. Богданова Корректоры: А. Степанова и Е. Талалаева

Заказ 691/2354 Изд. № 1811 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/Б

Тип. Харьк. фил. пред. кПатент»

Испарительный элемент для нанесения покрытийв вакууме

Похожие патенты:

Патент 358727 // 358727

Термический испаритель для вакуумных установок // 358428

Способ получения покрытий путем испарения в вакуумейли^^.^^- - ':?rv',' b^i^v^^*'^]::'^;-. // 351929

Устройство для загрузки испарителей // 344032

Испаритель алюминия для вакуумных установок // 329253

Испарительное устройство для вакуумных установокf^ г> & ' f~l •" |_! л '—воесою:патентко-иbh5;;i'io // 309071

Эная ^——•— -^^'п>&й^1л;:[^ч?2!1[ля(.^,«nf:лис гена 1 // 295829

Устройство для испарения покрытий в вакууме // 289623

Патент 281997 // 281997

Устройство для загрузки испарителей // 270433

Способ формирования защитных покрытий графитовых подложкодержателей и устройство для его осуществления // 2165999

Изобретение относится к технологии и оборудованию для получения эпитаксиальных структур кремния методом осаждения из газовой фазы

Испаритель для металлов и сплавов // 2219283

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для получения газофазным методом высокодисперсных и ультрадисперсных порошков металлов и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия, предназначенные для использования в микроэлектронике, химической технологии и других отраслях промышленности

Испаритель для металлов и сплавов // 2254963

Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом порошков металлов и сплавов, а также для нанесения покрытий

Защитный элемент и способ его изготовления // 2316429

Изобретение относится к защитному элементу для защищенной от подделки бумаги, банкнот, удостоверений личности или иных аналогичных документов, к защищенной от подделки бумаге и ценному документу с таким защитным элементом, а также способу их изготовления

Испаритель для металлов // 2347849

Изобретение относится к области металлургии, а именно к испарителям для металлов, и может быть использовано для изготовления металлических порошков и нанесения покрытий на различные поверхности

Испаритель для металлов и сплавов // 2382117

Изобретение относится к испарителю для металлов и сплавов и может найти применение в порошковой металлургии для получения высокодисперсных и ультрадисперсных металлов и сплавов

Устройство для вакуумного напыления пленок // 2411304

Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п

Вакуумное обрабатывающее устройство // 2421543

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления

Устройство для нанесения полимерных пленок в вакууме // 2051200

Изобретение относится к вакуумному нанесению слоев и может быть использовано для термического нанесения полимерных пленок из газовой фазы

Испаритель // 2058424

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме