Устройство для загрузки испарителей
О П И С А Н И Е 344032
ИЗОБРЕТЕН Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сова Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
М Кл С 23с 13/00
Заявлено ЗО.Х1,1970 (№ 1498301/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 07Х1!.1972. Бюллетень № 21
Дата опубликования описания 18 ч 11.1972
Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
УДК 621 396 6(088 8) Авторы изобретения
В. Ф. Гумен, T В. Калининская, Л, H. Морев, Е. И, Трофимов и Э. И. Бауман
BCECOÞ3ÍÄß
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИСПАРИТЕЛЕЙ
Изобретение может быть использовано в автоматизированных установках для производства интегральных микросхем методом стабилизации скорости напыления путем строгой дозировки вещества, подаваемого на испарение в единицу времени.
Известные устройства для загрузки испарителей, например, для вакуумных напылительных камер, содержагцие бункер, дно которого снабжено отверстием для выгрузки материала, лоток, механизм дозировки с диском и приводной механизм, обладают низкой точностью дозировки вещества в процессе напыления.
В предлагаемом устройстве для повышения точности дозировки вещества в процессе напыления диск расположен на дне бункера и снабжен калиброванными отверстиями, на корпусе бункера закреплена пружинная скоба, перекрывающая ряд калиброванных отверсгий над лотком, а приводной механизм выполнен в виде шагового двигателя, вал котооого жестко соединен с диском механизма дозировки.
На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства с разрезом по
А — А.
Устройство содержит шаговый двигатель 1, редуктор 2, бункер 8. лоток 4, тигель 5, обойму б, крышку 7, выходной вал 8 редуктора, диск 9 порционной загрузки, на нижнем выступе которого по окружности находятся калиброванные отверстия 10, заполняемые распыляемым веществом. Обойма б бункера имеs ет в нижней части пылеуловитель 11, предотвращающий попадание порошкообразного вещества в редуктор 2, и ссыпное отверстие 12.
Над ссыпным отверстием на корпусе обоймы б закреплена пружинная скоба 18.
1ц Устройство работает следующим образом.
Распыляемое вещество засыпается в бункер 8, состоящий из обоймы б и крышки 7.
В бункере расположен ступенчатый диск 9 порционной загрузки. Пружинная скоба 18
1 своей нижней плоской частью прижимается к выступу диска 9 порционной загрузки и плотно закрывает ряд калиброванных отверстий
10, отделяя их от остального объема бункера
8, в результате чего в этих отверстиях обра20 зуются строго определенные дозы вещества.
При вращении диска 9 порционной загрузки калиброванное отверстие 10 совмещается с ссыпным отверстием 12, и дозированная порция вещества по лотку 4 попадает в тигель 5.
25 Диск 9 порционной загрузки жестко закреплен на выходном валу 8 редуктора 2, выходной вал которого связан с валом шагового двигателя 1.
Скорость подачи напыляемого вещества ре30 гулируется частотой управляющих .импчльсов
344032
У а
Составитель Ю. Еркин
Техред T. Ускова
Корректоры: E. Ласточкина и Е. Давыдкина
Редактор Т. Иванова
Подписное
Заказ 2187/12 б " открытий при Совете Министров СССР
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий п
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр, Сапунова, 2 шагового двигателя. Скорость подачи вещества в тигель 5 определяет скорость осаждения вещества.
Предмет изобретения
Устройство для загрузки испарителей, например, для вакуумных напылительных камер, содержащее бункер, дно которого снабжено отверстием для выгрузки материала, лоток, механизм дозировки с диском и приводной механизм, отличающееся тем, что, с целью повышения точности дозировки вещества в процессе напыления, диск расположен на дне бункера и снабжен калиброванными
5 отверстиями, на корпусе бункера закреплена пружинная скоба, перекрывающая ряд калиброванных отверстий над лотком, а приводной механизм выполнен в виде шагового двигателя, вал которого жестко соединен с дис10 ком механизма дозировки.
