Магниторазрядный насос

кт - :нт и о тех<-<наес"..мк

Союз Советских

Социалистических

Ресяублнк

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 26.03.76 (21)2339281/25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 25,10.77, Бюллетень №3 (11) 577587 (51) М. Кл.

Н 01 J 41/12

Гооударотаенный ноннтет

Соаата Инннотроа СССР ао делан изооретеннй и открытий (53) УДК621.521 (088. 8) (45) Дата опубликования описания 15.11.77 г

М. И. Королинский, Л. H. Озеров, М. Е. Слуцкий и M. Д. Шутов (72) Авторы изобретения

Ордена Трудового Красного Знамени;специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения АН СССР (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится iK средствам для создания вакуума.

Известнь магниторазрядные насосы, в которых катоды и анод располагаются непараллельно, т.е. промежуток между катодами 5 и анодом имеет разное сечение и увеличивается по мере приближения к входному отверстию, что достигается либо расширением корпуса насоса у входного отверстия, либо су« жением анода (1). О

Однако расширение корпуса насоса или сужение анода полностью не устраняют нерав номерность производительности цо отдельным анодным ячейкам.

Известны также магнитораэрядные насо- !5 сы, содержашие катоды и ячеистый анод P2).

Однако они также имеют разную производительность анодных ячеек. Анодные ячейки, расположенные: вблизки входного отверстия < насоса, обладают .: наибольшей производи- Ю тельностью. По мере удаления ячеек от входного отверстия иэ-эа дросселирукхцег<ь . эффекта сравнительно малого промежутка между катодами: и анодом производительность ячеек падает. яа

Целью изобретения является выравнивание быстроты откачки по отдельным анопным ячейкам магниторазрядного насоса.

Это достигается тем, что насос снабжен рамкой с гаэораспределительными каналал<и, расположенной вокруг анода, при этом число отверстий в каналах нарастает но л<ере удаления от входа.

На фиг. 1 изображен насос; на фиг. 2схема распределения потока газа.

В вакуумном корпусе с входным отве!стием во фланце расположен ячеистый анод 1 и катоды 2 иэ активного металла.

Откачиваемый газ через впускные окна 3 поступает в ячейки только через рамки с !. отверстиями 4, равномерно распределякхпими поток газа, Количество отверстий растет по мере удаления канала от входного отве!стия, что обеспечивает равномерность пот<.ка газа по периметру анода с учетол< сопротивления каналов, которые соединяются вместе в области входного отверстия.

Предлагаемый насос длительное время сохраняет характеристики, полученные после обработки инертным газом.

577587 з

Ф ормула.изобретения

Магниторазрядный насос, содержащий катоды и ячеистый анод, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью выравнивания быси роты откачки по отдельным анодным ячей кам, насос снабжен рамкой с газораспределительными каналами, расположенной вокруг анода, при этом число отверстий в RGHGJIGx нарастает по мере удаления от входа.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Патент Англии M 1021064, кл, НХД, опубл. 1966.

2; Васильев Г. А. "Магнитораэрядные насосы, М., Энергия", 1070, с. 53.

577587

Составитель В. Ушаков Техред В. Куприянов Корректор lEL Мельниченко

Редактор М. Рогова

Филиал ППП Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 4192/39 Тираж 976 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета. Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113О35, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5