Анод магниторазрядного насоса

jII) 595808

ОП ИСА НИ Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (6I) Дополнительное к авт. с»11,7-ву (22) Заявлено 19.07.76 (21) 2390297 18-25 (51) .i1. Кл. - H 01J 41, 12 с присоединением заявки №

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 621.528(088.8) (43) Опубликовано 28.02.78. Бюллетень ¹ 8 (45) Дата опубликования описания 30.03.78 (72) Авторы изобретения

Н. П. Решетняк, Ю. А. Персов и А. И. Агафонов (71) Заявитель (54) АНОД МАГНИТОРАЗРЯДНОГО НАСОСА

Государственный комитет (23) Приоритет

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к магниторазрядным насосам.

Известны магниторазрядные насосы с анодом сотовой конструкции 1).

В таком насосе при рабочих давлениях порядка 10 — мм рт. ст. выделяется большая мощность в разряде, что ведет к нагреванию электродной системы и тем самым к десорбции поглощенного газа.

Известен таньке анод магниторазрядного насоса, используемый преимущественно в области рабочих давлений 1 10 — — 1 10 — мм рт. ст. (2). Этот анод выполнен в виде набора параллельно расположенных и электрически соединенных между собой ячеек. Ячейки выполнены в виде цилиндрических втулок, установленных торцами в отверстиях двух пластин, соединенных по периметру рамкой и образующих герметичный кожух, охватывающий втулки IIQ боковой поверхности и снабженный штуцерамп для подвода и отвода хладагента.

Недостатком такой конструкции анода является невысокая эффективность охлаждения ячеек анода и относительно низкая быстрота откачки.

Целью изобретения является улучшение охлаждения анода и увеличение быстроты откачки насоса.

Поставленная цель достигается тем, что ячейки анода выполнены гофрированными, например в виде спльфонов. Прп этом увеличивается как поверхность ячейки, обращенная

5 и разряду, так и поверхность, омываемая хладагснтом.

На фпг. 1 показан анод, вид спереди; на фш.. 2 — то жс, поперечный разрез.

Анод содержит набор гофрированных ячеек

10 1, расположенных параллельно и электрически соедпнепных между собой пластинами 2 и 3, в отверстиях которых закреплены торцы втулок 4. Пластины 2 и 3 соединены по периметру рамкой 5, образующей герметичный ко15 iI 3.7 охваты13alom,llil 13T377hll 4 Ilo ooK013oil Iloверхностп и снабженный штуцсрамп 6 и 7 для подвода и отвода хладагснта.

Прп работе насоса поверхности гофрированных ячеек анода, обращенные к разряду, 20 приводят к увелпчсншо быстроты откачки вследствие увеличения поверхности, запылясмой пспгря1ощпмся геттсром, например титаном, который осаждается на хорошо охлаждасмой поверхности анода.

25 Увеличение поверхности ячейки анода, QMblвасмой хладагентом, приводит также к существенному улучшению охлаждения каждой ячейки II лучшеы тсплосъему пз области разряда. Это дает значительный эффект при экс30 плуатацип насосов с гофрированным аподом

5(158!18

1 (;ЬИ2, Z (з>с онннтслн В. Ушаков

Тсср,(А. Камышникова

Коррскторьн Л. Брахнииа

Л. Деиискина

Рс,(актор Н. Коляда

По:(ннснос

Заказ 197, 8 Изд. ),(308 Тираж 964

1010 Госу)(арствснного когз! IcTa Cor)(.TB Министров СССР но делiixi изобрстсни)! н открыт и

113035, Москва, Я-35, Раушская нао., л. 4 5

Тнногра((н>>), »1>. Cariунова, 2 в области в(>!Соки.>: >(авлепий IIOI)Hдка 1 10-

1 10 — 1>i)>I p i . cT., I>(o lelll> велик и пропскод1!т IIHTcHcIIBHO(выдслени( тепла.

Формула иаобрстспия

Лиод магнитораврядиого насоса, содерж(1п(ий набор параллельно располо)ксви! и и

«Л(КТРИЧССКИ СОСДПИ(T1III>IX МСГКД>, 0F)0II >1>I((1, 0 т л и и и 10 Ili, II Й с 11 тс) (, Iò», (1((, 1!>10,, 1 !11!(II!»I о(г!акдег!ия анода H увеличс:IHÿ быстроты откачки насоса, ячейки анода выполнены гофрированпыми.

ИСТО>IIIИКII ИП(PОРМаi(i!и, принятые во внимание прп экспср !1:!с

1. Левин Г. Л. Основ(! вакуумной (с;(!!!)к!1, .Ч., «Зпср1 и)1», 1 .1() .), i . 1 / 1. ((> (1> к > 1 "17 кл. I I 011 >! I/00; Г 0 Iв, 17/0), !(.)72.