Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос

"А н и е

ОПИС

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 08Л!.1972 (№ 1742257/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 21 VI.1973. Бюллетень № 27

M. Кл. Н 01j 41/ОО

Государственный номнтет

Совета 1йнннотров СССР по делам изобретений н открытий

УДК 621.528(О88.8) Дата опубликования описания 19.Х.1973

Авторы изобретения

М. П. Желтов, А. В. Песко и В. А. Щепкин

Заявитель

КОМБИНИРОВАННЫЙ МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ

ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к устройствам безмасляной откачки разреженных газов.

Известный комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос, содержащий магниторазрядную ступень откачки, испаритель геттера и охлаждаемую сорбционную поверхность, роль которой играет корпус насоса, не обеспечивает высокой эффективности откачки из-за ограниченности сорбционной поверхности.

В предлагаемом устройстве повышение эффективности откачки достигается тем, что охлаждаемая сорбционная поверхность выполнена в виде двух профилированных цилиндров и размешена вокруг испарителя геттера внутри магниторазрядной ступени откачки.

На фиг. 1 схематически показан предлагаемый комбинированный магниторазрядный геттерно-,ионный насос, в разрезе; на фиг. 2— то же, вид с торца.

Магниторазрядный геттерно-ионный насос состоит из корпуса 1 с патрубком 2 для предварительной откачки, фланца 3 для герметичного присоединения к откачиваемому объему, карманов 4 для размещения магниторазрядных блоков 5, соединенных токоподводами б, токовводов 7 для ввода электропитания к магнитроразрядным блокадам 5, сорбционной поверхности 8, имеющей ввод 9 и вывод 10 для хладагента, накального испарительного устройст ва геттера, состоя щего из анода 11, испарителя 12 и эле кт ровводов 18 для электропитания элементов HBIKBJIbHQDQ испарительного устройства, смонтированных на съемном фланце 14, ма гнитной системы, смонтированной с наружной стороны .карманов 4, с системой 15 охлаждения. Ма|гнитная система (см. фиг. 2) состоит из магнитов 1б и магнитопро водо в 17.

Магниторазрядный геттерно-ионный насос работает следующим îбразом.

Через патрубок 2 создается начальное разрежение в насосе (например, цеолитовым насосом), необходимое для его запуска. Затем

15 запускают магниторазрядные блоки 5, в результате работы которых во внутреннем объеме насоса создается разрежение за счет поглощения газа на поверхностях электродной системы этих блоков, а также за счет погло20 щения титаном, напыляемым на внешней стороне сорбционной поверхности 8. При достижении разрежения порядка 5 10 — мм рт. ст. включается накальное испарительное устройство геттера, состоящее из анода 11 и испари25 теля 12, .и титан напыляется на внутренней стороне сорбционной поверхности 8, в винтовой полости которого циркулирует хладагент (например, вода или жидкий азот) .

В результате совместной работы магнито30 разрядных блоков, накального испарительного устройства геттера насос хорошо откачи387465

Ф г. 1

Составитель Н. Дудкина

Техред А. Камышникова

Корректоры: Н. Аук и Е. Хмелева

Рсдактор А. Батыгин

Заказ 2814/16 Изд. № 712 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 вает активные и инертные газы, достигая предельного давления: при охлаждении сорбцнон ного устройства водой — 10 —" мм рт. ст.; при охлаждении сорбционного устройства азотом — 10 —" мм рт. ст, Предмет изобретения

Комбинированный магниторазрядный гсттерно-ионный насос, содержащий магниторазрядную ступень откачки, испаритель геттера и охлаждаемую сорбционную поверхность, отлича ощийся тем, что, с целью повышения эффективности откачки, охлаждаемая сорбционная поверхность выполнена в виде двух профилированных цилиндров и размещена вокруг испарителя геттера внутри магниторазрядной ступени откачки.