Магниторазрядный насос

пп 4996Ц

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союэ Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 03.01.74 (21) 1982246/26-25 (51) М Кч 2 Н 011 41/12 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР по делам иэобретений н открытий (23) Приоритет

Опубликовано 15.01.76. Бюллетень X 2

Дата опубликования описания 29.03.76 (53) УДК 621.521(088.8) (72) Авторы изобретения

В. И, Антюхов, Ю. А. Баловнев и В. И. Кеменов (71) Заявитель (54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к технике получения вакуума при помощи магниторазрядных насосов. Непрерывная безмасляная откачка больших количеств водорода осуществляется в ускорителях частиц, в водородных квантовых генераторах и др.

Известный магниторазрядный насос, содержащий корпус и размещенные в нем ячеистый анод и пластинчатые катоды, соединенные по периметру с корпусом, и магнитную систему, не обеспечивает длительную откачку водорода,при повышенных давлениях и имеет малую быстроту откачки по водороду в области низких давлений.

Для повышения быстроты откачки насоса по водороду, расширения -диапазона рабочих давлений и повышения срока службы в предлагаемом насосе катоды изготовлены из палладия и герметично присоединены к корпусу, в котором в области, находящейся под катодами, выполнены сквозные отверстия.

На чертеже показан описываемый насос.

Насос содержит корпус 1, внутри которого расположен анод 2 и палладиевые катоды 3 из пластин 4 толщиной 0,2 — 0,5 мм, которые герметично присоединены к корпусу по периметру пластин. Через отверстия 5 в корпусе одна из сторон каждой катодной пластины 3 сообщается с атмосферой, Вся электродная система помещена в поле постоянного магнита 6.

Насос работает следующим образом.

На анод 2 подается высокое напряжение, и в ячейках насоса возникает разряд Пеннинга.

Ионизируемые в разряде молекулы водорода

5 под действием электрического поля внедряются в катоды 3, диссоциируют на атомы и диффундируют внутрь металла. Диффундирующие атомы достигают поверхности катода, сообщающейся с атмосферой, где, взаимодействуя с

10 кислородом воздуха, образуют пары воды, которые десорбируются в атмосферу. Таким образом, водород перекачивгется из вакуума на атмосферу, не накапливаясь в катодах. Высокая каталитическая активность палладия пре15 пятствует диффузии водорода, содержащегося в воздухе, в вакуум, благодаря чему предельное остаточное давление в откачиваемом объеме составляет 1 ° 10 — 2 мм рт. ст. Высокая скорость диффузии водорода в палладии облег20 чает отвод водорода с вакуумной стороны катода на атмосферную.

Вследствие малой массы ионов водорода катоды практически не распыляются. Разряд

Пеннинга облегчает преодоление водородом

25 поверхностного барьера на катоде.

Имеющиеся в водороде примеси также откачиваются насосом.

При прогреве вакуумной системы, содержащей насос, значительно облегчается работа

ЗО цеолитовых насосов и других средств предварительной безмасляной откачки.

499611

Формула изобретения

Составитель В. Мирош кина

Редактор И. Петрашень Техред М. Семенов

Корректор Н. Аук

Заказ 441/13 Изд. № 1013 Тираж 977 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, OK-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2

Магниторазрядный насос, содержащий корпус и размещенные в нем ячеистый анод и пластинчатые катоды, соединенные по периметру с корпусом, и магнитную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки насоса по водород, расширения диапазона рабочих давлений и по вышения срока службы насоса, катоды изго товлены из палладия и герметично присоеди5 иены к корпусу, в котором в области, находя щейся под катодами, выполнены отверстия.