Электроразрядный насос
Союз Сонетснм
Соцнаанстнцескнн республик
ОП ИКАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДИЕЛЬСТВУ (Я) Дополнительное к авт. саид-ву— (22) Заявлено 06,04.76 (21) 2 34 3603(18-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опублнковано25.02.78,бюллетень № 7 (45) Дата опубликования описания.03.02,78 (и)594548 (51) М. Кл.н
1(01 Т 41/12
Гасударственай немнтат
Сюаете Мнннетраа СССР нн делам нзобретеннй н етнрнпнй (53} УДК 621.521 (088.8) (72) Авторы изобретения
Н. А. Афонников, А. Е. Новик, Н .М. Кантор и Л, И. NoUIKBflR (71) Заявитель (54) ЖЕКТРОРАЗРЯДНЫ Й НАСОС
Изобретение относится к средспмм для создании вакуума, в частности к электрораз» рядным насосам.
Известны электроразрядные насосы, в основе действия которых лежит эффект пог 5 лошения газов при катодном расположении материала катода в магнитном попе.
Известен также электроразрядный насос, содержаший катоды и анод, 30
Однако при работе в режиме импульсного тлеюшего разряда он не откачивает газы в диапазоне высоких давлений.
11ель изобретения - расширение диапазона рабочих давлений насоса при откачке газов l5 в режиме импульсного тлеюшего разряда.
Зго достигается тем, что на поверхнооти катодов, перпендикулярной к ней, расположены ребра, образуюшие полый катод, 20
На чертеже схематически изображен электр оразрядный нас с.
Он имеет два катода 1 с перпендикулярно распопоженнымн на их поверхности ребреми 2 размеры которых, и расстояние меж- 2а ду ними выбраны так, чтобы в насосе формировался разряд с полым катодом, обеснечнваюший наибольшую быстроту откачки.
Между катодами расположен анод 3 в виде кольца нлн рамки. Со стороны катодного ввода помешен экран 4, предотврашаюшый переход тлеюшего разряда в дуговой при больших токах. Для увеличения быстроты откачки в насос смонтированы втулки 5 нз прессованного титана.
Предложенный насос позволяет расширить диапазон давлений до 2,0-0,2 мм рт. ст., а также стабилизировать рабочее давление инертных газов в отнаянных приборах.
Формула изобрете ни я
Злектрозарядный на с одержаший катодын анод, отличаюшнйс я тем, что, с целью расширения диапазона рабочих давлений насоса при откачке газов в режиме импульсного тлеюшего разряда,. на поверхности катодов, перпендикулярно к
I i
С иставитель В. Ушаков
Техред A. Бот цан Корректор С, Гарасиняк
Редактор 11. Разумов э Ьаказ 849/5С» 1 ээраж 95э9 11 одп ис н ое
Ш1И1111И Гоеулар "эвеээног о комитета Совета Министров СССР п(н элам изобретений и открытий
1 13035, Моэ ква, A- 35, Раушская наб., n, 4/5
Филиал 111111 11 lòñ. íт", г, Ужгород, ул. 11роектная 4 ней, расположены ребра, образукэшие полый катод.
Источники информации, принятые во внимание нри экспертизе:
1, 11атент < ШЛ hlv 3827йээ-.э, кл. 41 э-4 э, 1974.
2. Данилин Ь, С, Вакуумно: яцп;с нц тонких пленок М. Энергия 1 Уэ17 с. 1 (35
