Патент ссср 354680
354680
ОПИСЛНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К ПАТЕНТУ
Со!оа советских
Социалистических
Республик
Зависимый от патента №
Ч. Кл, Н 011 41/00
Г 04b 37/02
Заявлено 24.Х11.1969 (№ 1!389817/26-25) Приоритет комитет пп делам азобретени4 и открытий а1ри Совете Министров
СССР
УДК 621.528.5(088.8) Опубликовано 09,Х.1972. Бюллетень № 30
Дата опублико!вания описания 27.Х.1972
Автор изобретения
Иностри!ец
Венансьюж т1арыски (Польская Народная Республика) Иностраш!ая фирма
«Промышленный институт электроники» (Польская Народная Рес(1 ублика) ":àявитель
МНОГОКАМЕРНЫЙ ИОННО-СОРБЦИОННЫЙ НАСОС
Изобретение относится к устройствам для создания вакуума путем сорбции ионов откачиваемого таза в электрическом поле, изменяющемся по логарифмическому закону, Известен многокамерный ионно-сорбционпый насос, содержащий корпус с фланцем для подсоединения к откачиваемому объекту, источник сорбиру!ощего материала, размещенный в центре корпуса, и множество ионнзационнык камер, состоящих из стержневого анода, элемента, формирующего электрическое поле, и источника электронов, расположенного внутри камеры. В известном устройстгс применено несколько источников электронов, равное количеству ион изационных камер, а нагрев сорбирующего материала требует дополнительного нагревательного элемента, что усложняет конструкци!о насоса и систему его питания.
Цель изобретения — упрощение конструкции насоса.
Это достигается тем, что источник электронов установлен в центре насоса параллельно ионизационным камерам, а сорбирующий материал закреплен на анодак ионизационнык камер, причем элемент, формирующий электрическое полс, экранирует источник электронов от паров сорбирующего материала с помощью заслонки, На чертеже показан предложенный насос, вl!д coOкУ и Г!Оп(1)счг!Ос с(и(.Illf(Г!О Л Л °
Цилиндрический корпус 1 пасоса закрыт с одной стороны дном 2, а с другой снабжен
5 фланцем 3 для подсосдинения к системе, Lloj;лежащей откачке. В центре насоса установлен !!cTo÷íIfк эле1 тронов — элсктрolfíая п$ шка 4, содержа ща Я катод 5, у(коряющий эл(кт0 о (6 и фокусирующис электроды 7. Внутри корпу10 са 1 !размсщ(ны ионизациоцны(камеры 8, обра",ованныс элементом 9 для конфигуflalffffl электрического поля, изготовленного из сетки или набора стержней и окружающего цсн1ральный анод 10 с укрепленным на нем сор15 бирующим материалом 11. На элемента.; 9 на участкак между анодом 10 и электронной пушкой 4 установлены заслонки 12 для экранирования источника электронов от распыляемого матерна ra.
20 В процессе работы электронный поток, создаваемый пушкой, ин>ксктируется в нонизаццонныс камеры, вызывая ионизацию газа и одновр(мсш!ый разогрев сорбирующего материала в результате элсктpollffol f бомбардlf25 ровки.
II редмет изобретения
Многокамерный ионно-сорбционный насос, содержащий корпус с подсоединительным
354580
Сссгввитспв В. Мирошкина
Тсхрсд А, Камышникова Корректор Н. Прокуратова
Редактор И, Грузова
:>аказ 3580/16 Изд. ¹ 1477 Тира>к 406 Подписное
ЦИ1111ПИ Когвитсти по дс.:иги изобретений и откргятий ири Совете Министров СССР
Москва, К-35, Рвушсквя наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 фланцем, источник сорбирующего материала и размещенные внутри корпуса ионизацпонныс камеры, состоящие из центрального анода, элемента, формирующего электрическое поле, и источника элскт ронов, отлпчснои„нйся тем, что, с. цсlûo упрощения насоса, источник электронов расположен в центре насоса параллельно ионизационным камерам, а сороирующий материал закреплен на анодах ионизационных камер, причем элемент, формирующий электрическое поле, экранпрует источник электронов от паров сорбирующего материала с помощью заслонки.
