Патент ссср 414652

4I4652

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

И ЗОБ РЕТЕ H ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВНДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства—

Заявлено 19.05,71 1659944/26-25 с присоеди ением заявки М—

Приоритет—

Опх бликовано 05.02.74. Бюллетень ¹ 5

Дата опубликования описания 16.12.74.

\1 Кл H 01j 41, 00

Государственный коммет

Саввта Министров СССР пв делам изобретений и открытий

УДК 621.521(088,8) Авторы изобретения

Э. М. Рейхрудель, Г. В. Смирницкая и Л, P. Курбанова

Ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова

Заявитель

ВЪ|СОКОВАКУУМНЪ|Й ОТКАЧНОЙ АГРЕГАТ

Изобретение отш>сится к электронике и технике высокого вакуума.

Известные высоковакуумные откачные агрегаты, содер>кащие, по крайней мере, два магниторазрядных насоса (две ступени), соединенных последовательно, имеют низкую производительность в интервале давлений высокого и сверхвысокого вакуума.

Предло>кенчый агрегат позволяет повысить производительность откачки благодаря тому, что ме.кду насосами установлена вращающаяся электропроводящая мишень, герметично разделяющая их, а отношение длины анода к его радиусу для магниторазрядного насоса, непосредственно соединенного с откачиваемым объемом, больше единицы, но меньше двух, а для следующего магниторазрядного насоса это отношение больше двух.

||а чертеже показана схема предложенного вакухмпого агрегата.

Откачиваемая вакуумная камера 1 соединяется через высоковакуумный вентиль 2 с камерой > агрегата, в которую помещен электропроводящий цилиндр — мишень 4, извне приводимый во вращение округ оси, совпадающей с осью камеры 8.

Поверхность цилиндра-мишени 4 сильно сорбируег газы. При некотором поло>кении цилиндра-мишени на части его ооковой поверхности, ооращенной в сторону камеры 1, сорбируются молекулы газа и захватываются ионы, направляемые па поверхность цилиндра-мишени из магниторазрядного насоса

При повороте цилиндра-мишени сорбированные молекулы переносятся в объем, в котором размещен магниторазрядный насос 6.

Ионы из насоса 6 бомбардируют поверхность вращающегося цилиндра-мишени 4 и освооождают ее от сорбировапных молекул газа.

ip Таким образом, вращающийся цилиндр является общей мишенью для двух магниторазразрядных насосов 5 и 6. Для того чтобы ионные потоки в высоком ваку уMe охватывали acIG часть поверхности цилиндра-мишени 4, 16 повернутую в сторону насоса 6, отношение лины анода к его радиусу для насоса 5 больше единицы, но меньше двух, а для насоса 6— оольше двух. С этой целью анодные ячейки пасоса 6, в случае многоячеистого насоса, расц положены в шахматном порядке.

Освобожденный газ удаляется из насоса 6 мощным магииторазрядным насосом 7, работающим а оптимальном режиме скорости откачки при давлении 10 — 10 л .и рт. ст.

>5 Зентиль 8 служит для предварительной откачки камеры 1. Обратное протекание газа из насоса 6 в насос 5 через зазор между камерой 3 и цилиндром-мишенью 4 затруднено, так как радиус внешней поверхности цилиндра 4 близо зок по величине к радиусу внутренней по414652

Предмет изобретения

Корректор А. Васильева

Техред Е. Борисова

Редактор Т. Орловская

Заказ 344 Изд. ¹ 477 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобр тений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография № 4 Союзполиграфпрома, Москва, 121019, ул. Маркса — Энгельса, 14

3 верхности камеры 8 (меньше на 0,2 лм), в то время как свободный пробег молекул газа при существующем здесь высоком вакууме очень велик — порядка сотен метров.

Скорость вращения цилиндра-мишени 4 задается в соответствии со скоростью сорбции на его поверхности молекул газов. Режимы работы магниторазрядных насосов подбираются такими, что насос 5 способствует захвату молекул и инов газа мишенью, а насос б — освобождению их. С этой целью отношение длины анода к его радиусу для магниторазрядного васоса 5 выбрано меньшим, чем для насоса б.

Диапазон рабочих давлений описанного высоковакуумного агрегата 10 з — 10 12 мм рт. ст.

Напряжение на анодах 1500 — 6000 в; напряженность магнитных полей в магниторазрядных насосах 600 — 1200 э.

5 Высоковакуумный откачной агрегат, содержащий, по крайней мере, два магниторазрядных насоса, соединенных последовательно, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности агрегата в интервале дав10 лений высокого и сверхвысокого вакуума, между насосами установлена вращающаяся электропроводящая мишень, герметично разделяющая их, а отношение длины анода к его радиусу для магниторазрядного насоса, непо15 средственно соединенного с откачиваемым объектом, больше единицы, но меньше двух, а для следующего магниторазрядного насоса это отношение больше двух.