Патент ссср 411547

4ll54?

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социапистических

Респубпик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15.Х1.1971 (№ 1713697/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

М. Кл. Н Olj 41/00

Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам изобретений и открытий

Опубликовано 15.1.1974. Бюллетень № 2

УДК 621.382(088.8) Дата опубликования описания 08Л .1974

Автор изобретения

ВПТБ.х „- )! Р Р f f ) j7$$ f ((„р Д

В. Г. Шугаев

Заявитель. ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к вакуумной технике и, в частности, к средствам безмасляной откачки.

Известны электроразрядные насосы, содержащие корпус и систему электродов, образующих разрядную ячейку.

Однако известные насосы не могут обеспечить безмасляную форвакуумную откачку газов в диапазоне давлений от атмосферного до 10 — з мм рт. ст.

Для обеспечения безмасляной форвакуумной откачки газов в диапазоне давлений от атмосферного до 10 — мм рт. ст. предлагаемый насос содержит, по крайней мере, две разрядные ячейки, соединенные последовательно и разделенные общими стенками с установленными в них выхлопными клапанами, осуществляющими направленное вдоль разрядных ячеек движение откачиваемого газа, а система электродов каждой ячейки содержит один электрод, соединенный с корпусом насоса, и два электрода, изолированных от корпуса, причем одни из изолированных от корпуса насоса электродов соединены с источником постоянного тока через конденсатор, а другие— с высоковольтным высокочастотным источником питания через коммутатор.

На чертеже схематически показан описываемый насос. Насос состоит из корпуса 1, содержащего последовательно соединенные друг с другом разрядные ячейки 2, разделенные между собой общими стенками 3 с установленными в них выхлопными клапанами 4, осуществляющими направленное вдоль разрядных ячеек движение откачиваемого газа.

Система 5 электродов каждой ячейки 2 содержит три электрода, один из которых 6 соединен с корпусом 1 насоса, второй 7 соединен с источником 8 постоянного тока через кон10 денсатор 9 и укреплен в корпусе через изолятор 10, а третий электрод 11 соединен с высоковольтным высокочастотным источником питания 12 через коммутатор 13 и укреплен в корпусе через изолятор 14. Насос соединен с

15 откачиваемым объемом 15 и осуществляет выхлоп газов в атмосферу 16.

При заряженном конденсаторе 9 через коммутатор 13 на электрод 11 поступает поджигающий высокочастотный высоковольтный им20 пульс, вызывающий разряд между электродами 6 и 7. В момент разряда газ, находящийся в первой разрядной ячейке, мгновенно нагревается до 3000 К, что вызывает повышение давления газа, открывается клапан 4 и часть

25 нагретого газа поступает в соседнюю разрядную ячейку, в которой описанный процесс повторяется.

Последовательность электрических импульсных разрядов в разрядных ячейках 2 насоса 1

30 задается коммутатором.13, 411547 Предмет изобретения

Составитель В, Мирошкина

Техред 3. Тараненко Корректоры: Л. Корогод и Е. Давыдкина

Редактор И, Шубина

Заказ 1062/14 Изд, Ма 1187 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2

Предложенный насос позволяет откачивать газы с атмосферного давления до 10 — мм рт. ст., обеспечивая безмасляную откачку и необходимое давление для запуска магниторазрядных насосов.

Также устройство позволяет откачивать газы, насыщенные парами воды.

Электроразрядный вакуумный насос, включающий корпус и систему электродов, образующих разрядную ячейку, отличающийся тем, что, с целью обеспечения безмасляной форвакуумной откачки в диапазоне от атмосферного давления до 10 — з мм. рт. ст., он содержит, по крайней мере, две разрядные ячейки, соединенные последовательно и разделенные общими стенками с установленными в них выхлопными клапанами, осуществляющими направленное вдоль разрядных ячеек движение откачиваемого газа, а система электродов каждой ячейки содержит один электрод, соединенный с корпусом насоса, и два электрода, 10 изолированных от корпуса, причем одни из изолированных от корпуса насоса электродов соединены с источником постоянного тока через конденсатор, а другие — с высоковольтным высокочастотным источником питания че15 рез коммутатор.