Многозондовое устройство

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Сак!з Советских

Социалисте,вских

Респуб)!ив,, 11 а.„ - р 3!>

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от явт. свидетсл! Ствя М j.h,, Н 01! 7:08

Заявлено 05.1V.1971 (¹ 1643Г)79/26-25) с присоедиисиисм заявки №вЂ”

Приоритет— йомитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

У, ),К Г)21.382.003(088.8) Опубликовано 25. Х11,1972. В юл лете ш. ¹ 4 за 1973.

Дата опубликования описания 19.111.1973

И. M. Глазков, А. В. Ярош, Л. И. Еп)!фят!О!3, В. Ф. Маеленкев=и- --- - ---К. С. Шуклии

Авторы изобретсиия

Заявитель

МНОГОЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО

П 1) (>,;i т 3 (!) с т (> i ! ;11

Изобретение относится к технологическому оборудованию электронной промышленности и может быть использовано для зоидового контроля и измерения параметров полупровод-! шковых приборов иа пластш|е и отдельиых кристаллов.

Известиы зоидовые устройства, зоидовые

3злы которы., состоят из кронштейна и зоидовь!х ГОлОВОк, «0Topt»e закреплеиы па этом кронштейне; зоидовая головка, содержащая трехкоординатный манипулятор, зоидодержагель и один зонд, обычно сложна ио коиструкit!ш и имеет большие габариты.

При использовяиии этих головок зонд часто уходит с коитактиру!Ощих площадок во время фиксации их после выставлен!я; кроме того, :-!евозможио установить несколько зондов иа

Одиу коитактпую площадку. Для измерения (ииамических параметров ИС с большой электроемкостью 1! В13дуктивностью такие устрой=тва использовать невозможно.

11сг!ь изобретеиия — упрощеиис иялядки и гстаlиовки исс1.0.!ьких зоидОВ и(1 Оди) 1"Оит(!ктиую площадку и обеспечение возможиости измсреиия дииами1еских параметров ИС.

Цель достиl астся тсм, что под13 !жиые зов(ы с несколькими коленообразными изгибами, иекоитактируюшие концы которы.: выступают

l3 Виде уllopoB, 1)2споло)!Сеи!>1 В пазаlх к01)пуса

fi под)каты к фиксирующим плаикям пружинами, причем корпус имеет неподвижные упоры, служащие в совокупности с подвижными упорами зондов для регулировки последиих..

Н2 фиг. 1 изобря)кеио предлагаемое многоЭюидовое устройство в двух проекциях с разрезами; на фиг. 2!lçîápàæåи в разрезе кгпоч для регулировки зоил, иo п10ciiocTO.

МНО! 0201iдОВОс cTPoilст130 ГО 1,(Р)к!1т К01)иус 1, зонды ). 130)!иообр()зиу!О иружииу 1, упо1С ры 4, иляики 5, (скторя ", ирижимиыс Винты

7, маркеры <"..

В Ilc.(0(1 0»1 иo, 10жеи ии ЭОид ) лежит 13 пя33 КО))п3 Са 1 li. 1 130 11100!)p;!;31!011 пружииС 8.

Сверку зоид приж:i 022ñòñÿ иру)кии(ьи!итом 7

1ерез сектор 6 и пл".íêó ).

Регулировку зоила ио коорд!!iiяте Z осущствлятот сжат. !е..: пружины, ) ио высоте винтом 7. ),Г!11 регулировки зоида ио коордтшате Л ключ 9 иадев !От ия иекоитяктиру!Огциш конец зо)1дя 2 и 1!я упор 4 корпуса 1 и перемещают зоид В продал!Вп>т! !l;!Ilp;i!!л(иии. Регулировку

iIO I(OOp l,llli TC > Осуi!ICC! 13. 12!ОТ также КЛIО-! (ОТОРЫ !. 1!О!!О!);! >; 1: !3 1(1 ОТ01 113 Ti>!! i ИЕ!.ОИ! чl!(ти1)УIОВ! !й коl)c, !oil:111 -. 2oi(PN Г сГО IIPQ- >

1ольиои ос ., иерем lil(111 тем с!!м! !3! Коитакти-)3 !ОИ(пй КО!!(. П;:0 OCi

30 )1иОГозои,, 01!! 3 ст(lol!cT130, (ÎД(j)ж()итсс

364049

Уие 7

А-А по3грнугп о

Фиг 2

Составитель Н. Островская

Редактор И, Орлова Техред Ю. Баранов Корректор T. Медведева

Заказ 357 Изд. № 1080 Тпракк 406 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мш1истров СССР

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Загорская тнпогра< пя к01)пуc с 1)е1споло)1 енными В 11ем зонда)гп> оТлггиа)огггеес)г тем, что, с целью упрощения наладки и установки нескольких зондов на одну контактную площадку, подвижные зонды выполнены с несколькими коленоооразными изгибамп и расположены на плоских пру)кинах, размещенных в пазах корпуса и служащих дл)1 регулировки зондов по высоте, а неконтактирующие концы зондов, выступающие в виде

1поров, связаны ключом с неподвижными упо)ами корпуса для регулировки зондов по плосКОСТЕ1.