Кассета для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов

 

ОПИСАНИ

ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ

CoIos Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 01.Xl l.1967 (№ 1200293/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 17.1Ч.1970. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 16Х11.1970

Комитет пс делам иаобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.382.2(088.8) Авторы изобретения

Г. М. Зубарев, В. А. Белов и В. Н. Филимо

Заявитель

КАССЕТА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Описываемая кассета относится к оборудованию для изготовления полупроводниковых приборов и может быть использована в качестве носителя при испытаниях и замерах электрических параметров этих приборов.

Известны кассеты для проверки электрических параметров полупроводниковых приборов при нормальных, а также повышенных и пониженных температурах. Они имеют подпружиненные лепестковые контакты с распайкой к общей колодке. В результате этого многоместные кассеты получаются сложными и ненадежными, так как выход из строя хотя бы одного лепестка влечет за собой выход из строя всей кассеты.

Конструкция описываемой кассеты более надежна, так как позволяет исключить контактную систему из самой кассеты, автоматизировать загрузку приборов в кассету и выгрузку их из нее, причем выгрузка приборов из кассеты осуществляется поштучно, что позволяет упростить конструкцию разбраковочного устройства.

На фиг. 1 изображена кассета, общий вид; на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг. 1.

Корпус 1 кассеты выполнен из алюминиевого сплава. К корпусу крепятся две гребенки

2 из изолирующего материала, имеющие сквозные пазы 3, выполненные с шагом 10 ял.

В гребенках 2 выполнены также направляющие пазы 4 и 5 для подвижных рамок 6 и 7

П-образной формы. Для предотвращения короткого замыкания приборов рамка 7 такжс выполнена из изолирующего материала. К

5 рамке 6 предъявляются те же требования.

Рамка б фиксируется в рамке 7 благодаря наличию в последней паза 8 так, что при вытягивании рамки 7 из корпуса 1 она вытягивает и рамку б. В корпус рамка 7 подается

10 независимо от рамки б. Рамка б может быть подана в корпус 1 только после рамки 7 или вместе с ней.

Загрузка приборов производится следую1ь щим образом. Кассета устанавливается на столик так, чтобы рамка 6 оказалась сверху.

Рамка 7 остается в корпусе 1, а рамка 6 выдвигается из корпуса до упора ее буртика в корпус кассеты. Приооры укладываются

20 фланцами в противоположные стороны в пазы 8 гребенок 2 так, что они ложатся выводами на рамку 7. После заполнения первого ряда рамка 6 задвигается в корпус 1 до отказа, кассета переворачивается, и приборы

2Б аналогично загружаются во второй ряд, а нижний ряд приборов фиксируется рамкой б.

Контакты измерительного устройства, укрепленные в специальных колодках, под действием пружин прижимаются к выводам при30 боров на время измерения и выдержки под

269316 напряжением. Конструкция кассеты позволяет производить контактирование путем подвода контактов измерительного устройства непосредственно к выводам приооров.

Разгрузка приборов происходит следующим образом. Корпус 1 кассеты фиксируется неподвижно благодаря наличию в нем паза 9 выступом какой-либо неподвижной детали, а подвижный элемент входит своим выступом в паз 10 рамки 7. При вытягивании рамки 7 она вытягивает рамку 6 и приборы из корпуса 1 выпадают по очереди: сначала нижний, потом верхний, так как рамка о короче рамки 7 на величину, равную / шага между пазами кассеты.

Предмет изобретения

Кассета для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов, со5 держащая корпус с гнездами и держателями приборов, отличающаяся тем, что, с целью увеличения надежности сортировки приборов, расположенных в два яруса, в корпусе кассеты, представляющей собой прямоугольную

10 рамку со сквозными прорезями и направляющими пазами, размещены подвижно две

П-образные рамки, взаимодействующие между собой торцовыми образующими, причем нижняя рамка короче верхней на половину

15 величины шага прорезей корпуса.

Фиг 2

Составитель В. В. Шведова

Редактор Б. С. Нанкина Техред А. А. Камышникова Корректор О. Б. Тюринй

Заказ 1916/16 Тираж 480 Подписное

Е1НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4(5

Типография, пр. Сапунова, 2

Кассета для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов Кассета для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов Кассета для измерения электрических параметров полупроводниковых приборов 

 

Похожие патенты:

Тиристор // 252482

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх