Устройство для измерения электропроводности полупроводниковых материалов
ИСАНИ
247466
Оll Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Соеетских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 09.VIII.1968 (№ 1262173/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 04.VI I.1969. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания I.XII.1969
Кл. 2!е, 37/03
МПК G 01г
УДК 620.1(088.8) Комитет по делам изобретеиий и открытий при Сосете Мииистрое
СССР
Авторы изобретения
И. С. Левитас, Л. М. Могильницкий, Ю, К. Пожела и А. П. Сащук
Институт физики полупроводников АН Литовской ССР
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
1 1зобрете1тие относится к измеритеЛьной технике.
Известны устройства для измерения электропроводности полупроводникового материала, содержащие трансформатор, вторичной обмоткой которого является образец, выполненный из исследуемого материала в виде замкнутого кольца.
С целью увеличения чувствительности и точности измерения, предлагаемое устройство содержит компенсирующий трансформатор, первичной обмоткой которого служит образец из исследуемого материала; питающий трансформатор снабжен дополнительной обмоткой, связанной через переменный резистор с компенсирующей обмоткой, установленной на компенсирующем трансформаторе, вторичная обмотка которого замкнута на измеритель электрического тока.
На чертеже изображена схема описываемого устройства, содержащего питающий трансформатор 1, образец 2, компенсирующий трансформатор 8 и нулевой индикатор 4.
Трансформатор 8 имеет компенсирующую обмотку 5, подключенную к дополнительной обмотке б трансформатора 1 через переменный резистор 7. Образец 2 является вторичной обмоткой трансформатора 1 и первичной обм откой тр анс форм атор à 8.
Напряжение, поданное на первичную обмотку трансформатора 1, индуцирует э.д.с. в образце 2, которая создает в нем ток, вызывающий во вторичной обмотке трансформатора 3 э.д.с. Эта э.д.с. компенсируется током, прохощим через обмотку Б, включенную в противофазе, обмотку б и переменный резистор 7. Резистор 7 устанавливается так, чтобы во вторичной обмотке трансформатора 3 отсутствовал ток, Величина сопротивления резистора
10 7 соответствует величине сопротивления образца 2.
Устройство позволяет измерять электропроводность материалов собственной проводимостью с точностью до четвертого знака и ре15 гистрировать величину тока, в 107 .раз меньшую тока первичной обмотки питающего трансформатора. Устройство пригодно для контроля технологических процессов производства полупроводниковых материалов и по20 лупроводниковых приборов.
Предмет изобретения
Устройство для измерения электропроводности полупроводниковых материалов, содержа25 щее питающий трансформатор, вторичной об моткой которого является образец, выполненный из исследуемого материала в виде замкнутого кольца, отличающееся тем, что, с целью увеличения чувствительности и точно30 сти измерения, оно содержит компенсирующий
247406.-.
Составитель Г. Д. Петрова
Техред Т. П. Курилко Корректоры: В. Петрова и Е Ласточкина
Редактор Т. 3. Орловская
Заказ 3191/3 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 трансформатор, первичной обмоткой которого служит образец из исследуемого материала, питающий трансформатор снабжен дополнительной обмоткой, связанной через переменный .резистор с компенсирующей обмоткой, установленной на компенсирующем трансформаторе, вторичная обмотка которого замкнута на измеритель электрического тока.
