Техническая 'wви8лйоте/аа. с. лисин
Секта Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства _#_
Заявлено 14Х11.1967 (Л% 1173117/18-10) с присоединением заявки Мо
Приоритет
Опубликовано 12ХП1.1969. Бюллетень че 26
Дата опубликования описания 8.1.1970
Кл, 21@, 11/02
МПК G Оlг
УДК 53.089.4 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
А. С. Лисин
Заявитель
СПОСОБ ЗОНДОВОГО ИЗМЕРЕНИЯ ПАДЕНИЯ ПЕРЕМЕННОГО
НАПРЯЖЕНИЯ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВОМ МАТЕРИАЛЕ
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно, к зондовым методам измерения параметров полупроводников.
Известны зондовые способы измерения падения переменного напряжения на полупроводниковом материале при определении удельного сопротивления, в которых измерительное устройство не потребляет тока.
Предлагаемый способ отличается от известных тем, что потенциал первого зонда приводят к нулю, фиксируют этот потенциал, затем приводят потенциал второго зонда к нулю и измеряют искомый разностный потенциал.
Эти особенности позволяют повысить точность измерения.
Схема устройства для реализации данного способа показана на чертеже.
Схема содержит генератор 1, конденсаторы
2 — 6, токовые зонды 7, потенциальные зонды 8, потенциометр 9, вольтметр 10 и переключатель 11.
Устройство работает следующим образом.
Питание осуц,ествляется от генератора 1 с заземленной средней точкой с помощью делителей напряжения, одним из которых регулируют ам плитуду (конденсаторам и 2 или т), другим — фазу (конденсатором 4). Регулировка должна обеспечивать настройку на потенциал земли (нулевой потенциал) каждого потенциального зонда. При такой настройке потенциал полупроводника под зондом также будет иметь по1енциал земли. Измерение осуществляется с помощью регулируемого делителя напряжения, составленного из кондепса5 торов 6, 6 и потенциометра 9.
В положении «а» переключателя 11 регулировкой напряжения питания схемы потенциал первого зонда настраивают на нуль с помощью вольтметра 10, затем в положении «в»
10 переключателя 11 регулировкой делителя (6, 6, 9) приводят к нулю потенциал средней точчи делителя, тем самым фиксируют потенциал зонда. В положении «о» переключателя
11 регулировкой напряжения питания схемы
15 настраивают на нуль потенциал второго зонда, после чего в положении «в» переключателя производят непосредственное измерение вольтметром 10 потенциала средней точки делителя, который и является искомой величиной.
Предмет изобретения
Способ зондового измерения падения переменного напряжения на полупроводниковом материале при определении удельного со25 противления, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, потенциал первого зонда приводят к нулю, фиксируют этот потенциал, затем приводят потенциал второго зонда к.нулю и измеряют искомый раз.
30 ностный потенциал.
250321
Составитель В. A. Скоморохов
Редактор С. И. Хейфиц Техред Л. К. Малова Корректор Л. В. Юшина
Заказ 3627/8 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва К-35, Раушская наб., д. 4i5
Типография, пр, Сапунова, 2
