Атентко- ..., техническая '" shbji00te[fa
О П И С А Н И Е 268542
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 04.Х.1965 (№ 1030384/26-25) Кл. 21е, 29, 02 с присоединением заявки ¹
ЧПК 6 01г
Приоритет
Опубликовано 10.IV.1970. Б!оллетень ¹ 14
Дата опубликования описан;!я 11 Л III. 1970
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.382-52:(621.317. . 33: 53.087.4) (088.8) АВТОМАТ ДЛЯ РАЗБРАКОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЪ!Х
ПЛАСТИНОК ПО УДЕЛЪНОМУ СОПРОТИВЛЕНИЮ
Известны автоматы для разбраковки полупроводниковых пластинок по удельному сопротивлению, которые содержат мост переменного тока, два плеча которого являются колебательными контурами, генератор качающейся частоты, пиковый вольтметр и устройства сравнения.
Предложенный автомат отличается от известных тем, что одно из плеч моста является генератором самовозбуждения, контурная индуктивность которого представляет собой датчик, а сетка подключена к генератору линейно падающего напряжения. Другое плечо моста является усилителем на активных сопротивлениях, управляющий электрод которого подключен к конденсатору, подключенному к выходу блока автоподстройки нуля.
Эти отличия позволяют повысить точность измерения.
На чертеже изображена блок-схема автоматаа.
Одно из плеч моста постоянного тока 1 является генератором самовозбуждепия 2, контурная индуктивность которого представляет собой датчик — преобразователь 8. Усилитель
4 на активных сопротивлениях является вторым плечом моста. В его диагональ включен вход усилителя — ограничителя б. Выход блока автоподстройки нуля б подключен к конденсатору 7, включенному на вход усилителя 4. Выходы сравнивающего устройства 8 подключены и генератору линейно падающего напряжения 9 и генератору 1мп1льсов 10, выход которого подключен ко входу счетно-логического устройства 11. В схему входит также механизм коммутации 12.
Работает автомат следу1ощим образом.
Измеряемый кристалл вводится в зазор датчика 8, добротность которого падаег, вы10 зывая увеличение постоянной составля1ощей анодного тока. В результате этого в диагонали моста 1 протекает постоянный ток разбаланса, велич1ша которого обратно пропорциональна удельному сопротивлсншо. Ток разба15 ланса усиливается и ограш1чпвается усилителем-ограничителем 5 и огкрьшает сравнивающее устройство 8, определяя действие компенсирующего напряжения с генератора 9 линейно падающего напряжения, которое по20 дается на сетку генератора 2 и уменьшает ток разбалапса до уровня, постоя!шо установленного на сравниваюисем устройстве 8.
В момент 1 омпенсацпи TOKB pазбалянса сравнивающее устройство закрывается. I la
25 его выходе образуется импульс, длительность которого обратно пропорциональна удельному сопротивлению. Этот импульс запускает генератор импульсов 10, определяя серию импульсов, число которых пропорционально длптель30 ности.
268542
Типография, пр. Сапунова, 2
Серия импульсов сравнивается по числу импульсов в счетно-логическом устройстве 11 с заложенной в него программо"; сигнал сравнения направляет кристалл в соответствующий бункер.
После вывода кристалла из зазора сигнал разбаланса моста (сигнал временной нестабильности) подается в блок автоподстройки б, вызывая заряд конденсатора 7 до напряжения, величина и знак которого обратно пропорциональны сигналу разбаланса. Напря>кение с конденсатора, поданное на вход усилителя 4, приводит мост перед измерением каждого кристалла в исходное состояние.
Через каждые 23 цикла измерения через контакт на усилитель подается эталонный сигнал, соответствующий минимальному удельному сопротивлению, для проверки правильности работы автомата.
Предмет изобретения
Автомат для разбраковки полупроводниковых пластинок по удельному сопротивлению
Г ! ! ! ! ! ! .
)Г
)! ! !! !! !! !! !! ! (с использованием преобразования величины удельного сопротивления в число импульсов, содержащий датчик в виде тороидального сердечника с зазором, в который устанавливается измеряемая пластинка, мост постоянного тока, блок автоподстройкп нуля, сравнивающее устройство, генератор линейно падающего напряжения, генератор импульсов и счетнологическое устройство, отлачсс ощий ся тем, что, с целью увеличения точности измерения, одно из плеч моста выполнено в виде генератора самовозбуждения, контурная индуктив15 ность которого представляет собой датчик, а сетка подключена к генератору линейно падающего напря>кения, другое плечо моста выполнено в виде усилителя на активных сопров тивлениях, управляющий электрод которого подключен к конденсатору, подключенному к выходу блока автоподстройки нуля.
Редактор Б. Б, Федотов Техред Л. В. Куклина
Корректор Г. И. Тарасова
Заказ 2188,.2 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Мнниссров СССР
Москва, >К-35, Раушская наб., д, 4/5
