Нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «лодочка»
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 20.I.1971 (№ 1612224/22-1) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 21.VI.1973. Бюллетень № 27
Дата опубликования описания 17.Х.1973
М. Кл. С 23с 13/12
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий
УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Автор изобретения
А. Г. Зебернн
Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий
Заявитель
НАГРЕВАТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ ИСПАРЕНИЯ
МЕТАЛЛОВ В ВАКУУМЕ ТИПА «ЛОДОЧКА»
Изобретение относится к нанесению покрытий .в вакууме.
Известен нагревательный элемент для испарения металлов в вакууме типа «Лодочка», выполненный из листового тугоплавкого металла с токоподводами, рабочая часть которой имеет углубления.
Предлагаемый элемент отличается от известного тем, что углубления соединены между собой и токоподводами дугообразными перемычками, причем углубления имеют форму, образованную симметричным пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей.
Это позволяет повысить производительность процесса,и улучшить условия подвода тепла.
На фланг. 1 изображен предлагаемый элемент, общий вид, фронтальная проекция; на фиг. 2 — вид в плане.
Нагревательный элемент выполнен из листового тугоплавкого металла с токоподводами 1. Рабочая часть элемента имеет углубления 2, соединенные между собой и токоподводами дугообразными перемычками 8. Углубления имеют форму, образованную симметричным пересечением цилиндрической и двух конических поверхностей.
Нагревательный элемент своими токоподводами 1 закрепляют в контактных зажимах испарителя и испаряемый металл в виде гранул или отдельных кусков помещают в углубления 2. При включении тока этот металл плавится, стяпиваясь, поначалу, в сферические капли, которые интенсивно перемещаются по дну углублений. С дальнейшим повышением температуры смачиваемость резко возрастает и капли растекаются по всей поверхности.
Вследствие этого сопротивление стенок углублений понижается и это вызывает нераспреде10 ление выделяемой в лодочке тепловой мощности таким образом, что температура основной массы испаряемого металла понижается, а нагрев перемычек резко возрастает. Благодаря наличию таких перемычек тепло, в основном, 15 путем теплопроводности сообщается испаряемому металлу. При этом основное испарение происходит на границах смоченных зон. Поскольку число таких зон в данной конструкции увеличено, испарение происходит доста2п точно интенсивно.
Повышенная равномерность испарения достигается тем, что по мере уменьшения количества оставшегося металла температура отдельных частей элемента выравнивается, 25
Предмет изобретения
Нагревательный элемент для испарения металлciв в вакууме типа «Лодочка», выполнен,ный из листового тугоплавкого металла с то30 коподводами, рабочая часть которого имеет
387050
Составитель А. Смирнова
Текред T. Курилко
Корректоры: Е. Давыдкина и о. Петрова
Редактор Л. Лаврова
Заказ 2770716 Изд. № 740 Тираж 826 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4i 5
Типография, пр. Сапунова, 2 углубления, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и улучшения условий подвода тепла, углубления соединены между собой и токоподводами дугообразными перемычками, причем углубления имеют форму, образованную симметричным пересече,н ием цилиндрической и двух конических поверхностей.
