Устройство для определения теплового сопротивления полупроводниковых приборов
О П И С А Н И Е 356599
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Спо:сз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
М. Кл. G Olr 31/26
Заявлено 17.Ч11.1970 (№ 1463302126-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 23.Х.1972. Бюллетень № 32
Дата опубликования описания 04.1.1973
Комитет по делам изобретеиий и открытий при Совете Мииистров
СССР
УДК 621.382.2:621.317.799 (088.8) Авторы изобретения
А. М. Краснобаев, Н. И. Кругликов и В. Д. Шевцов
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕПЛОВОГО
СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
Изобретение относится к области электронной техники и предназначено для контроля параметров полупроводниковых приборов в процессе их производства.
Известно устройство для определения теплового сопротивления полупроводниковых приборов, содержащее источник греющего импульсного тока, источник измерительного тока, термопару для определения температуры основания испытуемого прибора и регистрирующий прибор.
Известное устройство имеет низкую точность измерений, так как определение теплового сопротивления производят по градуировочным кривым и расчетным формулам.
Цель изобретения — повышение точности и автоматизация процесса измерений тепловых сопротивлений испытуемых полупроводниковых приборов.
Для этого предлагаемое устройство содержит два инфракрасных датчика температуры, выходы которых соединены с блоком вычитания, источник постоянного тока соединен с измерителем мощности, выход которого соединен с блоком деления, второй вход блока деления соединен с блоком вычитания, а выход блока деления соединен с регистрирующим прибором.
На чертеже дана блок-схема предлагаемого устройства.
Устройство содержит источник 1 постоянного греющего тока, остронаправленные инфракрасные датчики 2 и 8 температуры, измеритель мощности 4, узел автоматического выполнения арифметических операций, состоящий из блока вычитания б и блока деления б, регистрирующий прибор 7, клеммы 8 и 9 для подключения испытуемого прибора.
Устройство работает следующим образом.
Постоянный греющий ток от источника I, проходя через испытуемый прибор, подключенный к клеммам 8 и 9 вызывает его нагрев до установившейся температуры. Инфракрасное излучение структуры и основания полупроводникового прибора попадает на соответствующие датчики 2 и 8, которые вырабатывают выходные напряжения, пропорциональные температурам структуры и основания.
Полученные напряжения поступают на блок вычитания 5, напряжение на выходе которого пропорционально разности температур структуры и основания испытуемого прибора.
Измеритель мощности 4, на входы которого поступает постоянный греющий ток и падение напряжения с испытуемого прибора, вырабатывает выходное напряжение, пропорциональное мощности, выделяемой на полупроводниковой структуре. Блок деления б выполняет операцию деления напряжения, про30 порционального разности температур, посту356599
Составитель 3. Челнокова
Техред Л. Богданова
Редактор Н. Коляда
Корректор Е. Усова
Заказ 4188/17 Изд, Мз 1655 Тираж 406 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 пающего с блока 5, на напряжение, пропорциональное мощности потерь, поступающее с измерителя мощности 4. Выходное напряжение блока деления, пропорциональное величине теплового сопротивления между полупроводниковой структурой и основанием испытуемого прибора, поступает на регистрирующий прибор 7, непосредственно показывающий значение теплового сопротивления. Предлагаемое устройство обеспечивает высокую точность измерений и может быть использовано для автоматического контроля качества полупроводниковых приборов при их массовом производстве.
Предмет изобретения
Устройство для определения теплового сопротивления полупроводниковых приборов, содержащее источник постоянного тока и регистрирующий прибор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и автоматизации процесса измерений, оно содержит два инфракрасных датчика температуры, выходы которых соединены с блоком вычитания, источник постоянного тока соединен с измерителем мощности, выход которого соединен с блоком деления, второй вход блока деления соединен с блоком вычитания, а выход блока деления соединен с регистрирующим прибо15 ром.
