Бче.пиотекл

Авторы патента:

Ю. М. Егоров , Ф. Н. Шевченко

G01B11/06 - для измерения толщины

323650

О ПИСАНИЕ

И,ЗОБРЕТЕ Н ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства хевЂ”

Заявлено 20. I I I.1970 ()хе 1419841!25-28) с присоединением заявки № 1419842. 25-28

ПриоритетвЂ”

Опубликовано 10.XI I.1971. Бюллетень,б 1 за 1972

Дата опубликования описания 09.11.1972.Ч. Кл. G Olb 11/06

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.715,2(088.8) ИАЯ

Щ f 4YQTP+qrð» ° Е:Л| |СТ|| р, Авторы изобретения

Ю. М. Егоров и Ф. Н. Шевченко

Центральный научно-исследовательский институт хлопчато-бумажной промышленности

3а явитель

БЕСКОНТАКТНЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ИЗДЕЛИЙ

Предмет изобретения

Изобретение относится к текстильной и бумажной промышленности и может быть применено для контроля толщины ткани, бумаги и других плоских изделий.

Известны бесконтактные способы измерс- 5 ния -олщины изделий, заключающиеся в том, что о толщине изделия судят по количеству энергии светового пучка, поглощаемой издслием.

Предлагаемый способ отличается от извсст- 10 ных тем, что для повышения точности и чувствительности измерения листовых изделий, например тканей, используют астигматический сходящийся пучок двоякой симметрии и располагают изделие в его меридианальной плоскости.

Для осуществления описываемого способа может быть использовано устройство, принципиальная схема которого изображена на чертеже. 20

Устройство содержит осветитель 1, оптическую систему двоякой симметрии, например, г, виде положительной цилиндрической линзы 2, измерительную обойму, состоящую из элементов 8 ии 44, систему собирающих линз 5, фотоэлементы б и регистрирующую аппаратуру 7.

Устройство работает следующим образом.

Измеряемое изделие 8 располагают между элементами 3 и 4 измерительной обоймы и через него пропускают световой пучок, который попадает на систему собирающих линз, в фокусе последних установлены фотоэлементы. Из общего светового потока, попадающего на собирающие линзы, часть потока задерживается измерительной обоймой (постоянная величина) и измеряемым изделием (переменная величина).

Световой поток, попадающий на систему линз, несет информацию о толщине (площади поперечного сечения) изделия, которая преобразуется в электрический сигнал фотоэлементами и фиксируется регистрирующей аппаратурой.

Бесконтактный способ измерения толщины изделий, заключающийся в том, что о толщине,изделия судят по количеству энергии светового пучка, поглощаемой изделием, отлпчатощийся тем, что, с целью повышения точности и чувствительности измерения листовых изделий, например тканей, используют астигматический сходящийся п тчок двоякой сНМметрии и располагают изделие в его меридиаIIà,IbHoH плоскости.

323650

Фъ

Составитель Л. Лобзова

Техред Л. Богданова

Корректор Н. Коваленко

Редактор Л. Жаворонкова

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

Заказ 584/16 Изд. № 1814 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Устройство для контроля толщины // 315019

Прибор для измерения толщины прозрачныхдеталей // 315016

Устройство для измерения толщины тонких прозрачных пленок // 311136

Осеооюзная { пйт[уп^;:]-т?х^1ич?ска":-библиотека // 304429

Устройство для контроля толщины пленок // 288307

Способ определения толщины тонких пленок // 279975

Способ контроля толщины тонких пленок // 266223

Способ определения статистических характеристик прозрачных диэлектрических пленок // 252625

Способ бесконтактного измерения толщиныпластин из // 252624

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости