Устройство для контроля толщины пленок
CGf03 Ссеетских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Заявлено 30.1.1969 (№ 1300257/25-28) с приссединенпем заявки ¹â€”
Приоритет—
Опубликовано ОЗ.Х11.1970. Бюллетень № 3G
Дата опубликования описания 5.IV.1971
Кл. 42Ь, 11
Комитет по делам иеобретений и открытий при Сосете Министров
СССР
МПК 6 01Ь 11/06
УДК 531.717.1:531.715.2 (088.8}
Авторы изобретения
В, Г. Астахов, И. H. Мойленко, Ф. Т. Хомякова, А, И. Чеканов и В. Н. Осинкин
Лыткаринский завод оптического стекла
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛ ЩИ Н Ъ| ПЛ ЕНО 1
Известно устройстВО для контроля тол!ци11ы пленок, содержащее источник света, монохроматор, оптическую систему, направляющую световой поток на входную щель монохроматора, модуляционный диск для поочередного пропускания выходящих из монохроматора пучков света, фотоприемник H измерительныЙ IlpHoop.
Предлагаемое устройство отличается тем, что
olio снаб ке 1о 11BQMH бипризмами, расположенными в ходе световых лучей, одна нз кото"ых — светоделительная — после выходной
1цс/!и монохроматора, а другая перед фотоприс.пгиком, и цилиндрической линзой, располо кенной B ходе световых лучей между светоделительной призмой и диском. 3TQ поВышает точность контроля.
На чертеже изображена схема предлагаемо.о устройства.
GHo содержит источник света 1, монохроматор 2, оптическую систему 8, направляющую световой поток па входную щель монохроматора, модулиционный диск 4 для поочередного пропуска 115 выходящих из монохроматора пучков света, фотоприемник о и измерительный прибор 6. Устройство также снабжено двумя бипризмамп 7 и 8, из которых первая — светоделительная расположена после выходной щели монохроматора, а Вторая — перед фотоприемником, и цили дрической линзой 9, расположе.iaoll в ходе световь1х лучеп между свеT0 P:lHTe:lbH0É IIpIi34fOff 7 Ii QHCIioli.
Световой поток от источи ка света, пройдя через контролируемую пленку 10, IгапраВляется
5 оптической системой на входную щель 11 мо-! юхроматора. Бипризма 7 разделяет вышедшей :3 ВыходнОЙ щелп 12 ыонохроматор2 спектP2,1bÍÛH ИНТЕРВЯ;1 П;1 Два УЗКИХ Х!ОНОХРОХ12ТНчсских пучка с ве:ьма малой разностью дл1ш
10 Во,l /.! H /.2, симметрllчно распо,-ожеEIIIblx GTHQсllтс,jbHo коптролируемой волны /. Эти два
;1".1ка фокусируются линзой на отверстие модуляционного диска. Затем пучки сводятся бипрпзмОЙ 8 В ОднО место фотоприех!ника. В IlcliH
15 фотоприемника Возникают ДВЯ электрпчсскпх спгнала с разностью 2мп, lитуд, Ilpoiiop !if!Ollaльпон разности ппопмскноп пеленки 10 для дух
::;Оlюхроматичсских пучкоВ с /.! и /.
1.еобходих;ые Bc,a :, :IHb! Снгна 10B pci,fcTpll20 ру10тся измерите:!bi!bill прибором. Ho Hoi,aaaИ!!ЯМ КОТОРСГО И СУД: Т 0 ТОЛЬЦН11Е li;iBHiil!.
Предмет изобрстенп
Устройство для контроля толщины плс ок, 25 содержащее источник света, монохроматор, опТИЧССКУЮ C ICTCÌ, НЯПРЯВЛЯЮЩ О СЬСTOBoil ПОток на Входну 1О me, Ib foHoxpoifaTO!pa, i:o,"/, IHционнып:, !ск для поочередного прот, скгп::1я выходящ1гх нз мопохроматора пучков света, 30 фотоприемник н измерительный iiplláop, o." .HI288307
Составитель Лобзова
Редактор T. Гаврикова
Текред Л. Я. Левина Корректор Т. А. Джаманкулова
Заказ 3251)4 Тираж 480 Подписное
ЦН11ИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министроз СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д, 4/5
Центральная типография МО чаюцеесл тем, что, с целью повышения точности контроля, опо снабжено двумя бипризмами, расположенными в ходе световых лучей, одна из которых — светоделительная — после выходной щели монохроматора, а другая — перед фотоприемником, и цилиндрической линзой, расположенной в ходе световых лучей между светоделительной призмой и диском.
