Устройство для контроля толщины

Авторы патента:

G01B11/06 - для измерения толщины

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3I50I9

Союз Советскиз

Социалистическиа

Республир

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

МПК G Olb 11/06

Заявлено 11.Vl1.1969 (Л 1348214/2в-28) с присоединением заявки МвЂ”

Приоритет

Опубликовано 21 1Х.1971. Бюллетень ¹ 28

Дата опубликования описания 14.XII.1971

Комитет по делан изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.717.1(088.8) Авторы изобретения

В. С. Гавриш, П. П. Осечков и Ю. С. Гродецкий

Ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени институт электросварки им. E. О. Патона

3 аявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ

НАПЫЛЕННОГО СЛОЯ

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, а именно к устройствам для контроля толщины напыленного слоя микрофотометрическим методом при электронно-лучевом напылении. 5

Известно устройство для контроля толщины напыленного слоя, содержащее рабочую вакуумную камеру для напыления, осветитель, фотодатчик и образец-свидетель, выполненный из прозрачного материала, размещенный в ра- 10 бочей камере. Осаждаемый материал изменяет степень прозрачности образца-свидетеля. Толщина напыленного слоя определяется по известной зависимости почернения образца-свидетеля от толщины напыляемого слоя. Однако Is определяют толщину напыленного слоя после окончания процесса напыления, поэтому корректировать ргжим напыления и автоматически регулировать его нельзя, так как при измерении в процессе напыления возникают по- 20 грешности из-за большой плотности пара, поглощающего световой поток.

Предлагаемое устройство отличается тем, что оно дает возможность контролировать толщину напыленного слоя в процессе папы- 25 ления и автоматически регулировать процесс.

Для этого устройство снабжено дополнительной вакуумной камерой, сочлененной с рабочей вакуумной камерой; образец-свидетель в нем выполнен в виде диска, установленного 30 в дополнительной вакуумной камере с возможностью вращения вокруг собственной оси, а осветитель и фотодатчик расположены вне дополнительной вакуумной камеры так, что их оптическая ось не проходит через паровой поток.

Описываемое устройство изображено на чертежг.

Устройство содержит рабочую вакууатнуто камеру 1, дополнительную вакуумную камеру 2, образец-свидетель 8, модуляционный диск 4, двигатель б, освгтптель б, фотодатчик 7, усилитель 8 и измерительный прибор 9.

Устройство работает следующим образом.

Поток пара испаряемого вещества из рабочей вакуумной камеры попадает в дополнительную вакуумную камеру на образец-свидетель через отверстия в модуляционном диске. Пар осаждается на образце-свидетеле, покрывая его тонкой полупрозрачной пленкой, Образец-свидетель приводится во вращение двигателем.

Световой поток от осветителя проходит через образец-свидетель и попадает на фотодатчик, па выходе которого получается электрический сигнал, пропорциональный степени прозрачности образца-свидетеля и, следовательно, толщине напыленной пленки. Этот сигнал vc;I; ливается усилителем и годается на измерительный прибор, показания которого пропор315019

Составитель В. Мазина

Редактор Л. Жаворонкова Текред Л. В. Куклина Корректоры: Т. А. Бабакина и В. П. Федулова

Заказ 3405/8 Изд. № 1432 Тираж 473 Подписное

UIIHNIlN Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушскан наб., д. 4/5

Типографии, пр. Сапунова, 2 циональны толщине пленки на образце-свидетеле.

Коэффициент пропорциональности определяется опытным путем. Он зависит от расстояния между испарителем и образцом-свидетелем, от испаряемого вещества и некоторых конкретных конструктивных особенностей рабочей и дополнительной вакуумных камер.

Предмет изобретения

Устройство для контроля толщины напыленного слоя, основанное на микрофотометрическом методе, содержащее рабочую вакуумную камеру, осветитель, фотодатчик и образецсвидетель, выполненный из прозрачного материала, отличающееся тем, что, с целью осуществления контроля толщины напыленного слоя в процессе напыления и возможности автома5 тического регулирования процесса, оно снабжено дополнительной вакуумной камерой, сочлененной с рабочей вакуумной камерой, образец-свидетель выполнен в виде диска, установленного в дополнительной вакуумной камере

10 с возможностью вращения вокруг собственной оси, а осветитель и фотодатчик расположены вне дополнительной вакуумной камеры так, что их оптическая ось не проходит через паровой поток.

Устройство для измерения толщины тонких прозрачных пленок // 311136

Осеооюзная { пйт[уп^;:]-т?х^1ич?ска":-библиотека // 304429

Устройство для контроля толщины пленок // 288307

Способ определения толщины тонких пленок // 279975

Способ контроля толщины тонких пленок // 266223

Способ определения статистических характеристик прозрачных диэлектрических пленок // 252625

Способ бесконтактного измерения толщиныпластин из // 252624

Техническая -^^ библиотека // 250466

Способ контроля толщины тонких пленок в процессе напыления в ва'кууме // 246085

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости