Способ бесконтактного измерения толщиныпластин из

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

252б24

Союз Соеетскиз

Социалистическими

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл. 42b, 12/02

Заявлено 21,XI1,1967 (№ 1205539/25-28) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 22.1Х.1969. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 24,II.19?0

МПК G 01b

УДК 531.717.521.082.7 (088.8) Комитет по селам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

Ю. В. Коломийцов, Л, Е. Владимирова и Т. А. Миигалева

Заявитель

СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ

ПЛАСТИН ИЗ ПРОЗРАЧНОГО МАТЕРИАЛА

Предмет изобретения

Известен способ бесконтактного измерения толщины пластин из прозрачного материала, заключающийся в том, что через пластину пропускают пучок лучей и измеряют его смещение, по которому судят о толщине пласти ны.

Предлагаемый способ отличается от извесгного тем, что осуществляют многократное прохождение пучка лучей через пластину при помощи зеркал. Это отличие позволяет повысить точность измерения.

Для упрощения процесса измерения через пластину пропускают сходящийся пучок лучей.

Описываемый способ иллюстрируется чертежом.

Бесконтактное измерение толщины пластины из прозрачного материала по предлагаемому способу производят следующим образом.

Источником света 1 с помощью конденсорной линзы 2 освещают диафрагму со щелью 8.

Микрообъектив 4 при этом дает изображение щели 8 на поверхности вспомогательного зеркала 5. Наклонный сходящийся пучок лучей проходит через контролируемую пластину б, расположенную вблизи поверхности зеркала

5, отражается от зеркала, еще раз проходит через пластину б и микрообъектив 7 и дает вторичное изображение S> щели 8 в фокальной плоскости объектива 8 зрительной трубы.

В этой же плоскости дает изображение S> щели 9 оптическая система, содержащая источник света 10, линзу 11, зеркало 12 и призму 18.

При абсолютных измерениях настройка оптических систем производится таким образом, чтобы без пластины б изображения Зт и 5з щелей располагались на одной линии. После же установки контролируемой пластины с оп10 ределенными толщиной и показателем преломления изображение S> одной щели смещается относительно изображения 5з другой щели на некоторую величину, по которой ц судят о толщине контролируемой пластины.

1. Способ бесконтактного измерения толщины пластин из прозрачного материала, за20 ключающийся в том, что через пластину пропускают пучок лучей и измеряют его смещение, по которому судят о толщине пластины, отличаюшийся тем, что, с целью повышения точности измерения, осуществляют многократ25 ное прохождение пучка лучей через пластину при помощи зеркал.

2. Способ по п. 1, отгичающийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, через пл астину пропускают сходящийся пучок луЗО чей.

252624

Составитель Иванова

Редактор Н. Г. Михайлова Техред А. А. 1(амышникова 1(орректор В. И. Жолудева

Заказ 209г9 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2