Всгсоюзная пдт?йт!1п,-;;у»;.-;- <-^fбибл'г-

О П И С А Н И Е 3l4255

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ бова Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 18 т 111.1969 (№ 1357139/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 071Х.1971. Бюллетень ¹ 27

Дата опубликования описания 12.XI.1971

МПК Н 011 7/68

Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 621.328.2(3) (088.8) Авторы изобретения

Е. E Онегин, В. Н. Лифлянд и А. А. Голубовский

Заявитель

ВСГСа 1 д ту»

ВИБРОБУНКЕР

Изобретение относится к устройствам для автоматической загрузки полупроводниковых кристаллов на операциях сборки полупроводниковых приборов, в установках для присое- динения кристаллов и автоматических устройствах для укладки кристаллов в кассеты.

Устройство может быть также применено в тех случаях, когда требуется поштучное отделение кристаллов от общего потока с возможностью точной фиксации их положения на лотке для дальнейшего автоматического манипулирования с ними.

Известны вибробункеры, лотки и тому подобные устройства, в которых для поштучного отделения деталей применяются различного вида отсекатели с механическим воздействием на детали (прижим деталей, трение детали о деталь и т. д.). Применение таких устройств для поштучного отделения хрупких деталей плоской формы (например, полупроводниковых кристаллов) невозможно, так как отсекатели, механически воздействующие на поверхности деталей, наносят им повреждения.

Цель изобретения — обеспечить отделение кристаллов без повреждения их поверхности.

В описываемом устройстве это достигается тем, что лоток содержит подвижный упор, установленный за отверстием вакуумного присоса, выполненным в лотке на расстоянии, обеспечивающем отсечение от потока одного кристалла при подводе вакуума в отверстие и отводе упора от лотка.

Подвижный упор и вакуумный присос сблокированы между собой. Отсечение одной детали от потока осуществляется за счет того, что предыдущие детали удерживаются вакуумом. В результате повреждение деталей от механического воздействия отсекателя

10 исключается.

На фиг. 1 схематически показан вибробункер, вид сверху; на фиг. 2 представлены схемы поштучного отделения кристаллов.

Предлагаемый вибробункер состоит из ча15 ши 1 с винтовым лотком 2, в котором выполнено отверстие 8, соединенное со штуцером 4.

Лоток 2 прерывается подвижным упором 5, имеющим возможность поворачиваться на оси 6. Возврат упора 5 в первоначальное по20 ложение осуществляется пружиной 7.

На магистрали подвода вакуума к отверстию 8 расположен клапан включения вакуума, сб IOKHpOBBHHbIH с поворотом упора

Кристаллы насыпаются в чашу 1 и под дей25 ствием вибрации поднимаются по винтовому лотку 2 до упора 5.

Детали (кристаллы), занимающие у упора одно из положений (например, лицевой стороной вверх), могут захватываться вакуум30 ным захватом 8 и переноситься на рабочую

3142Я

Предмет изобретения

b Ei

A-А

Фиа >

l г2 13

Вакуум

Фиг.2

Составитель В. Гришин

Редактор Ю. Полякова Техред Т. П. Курилко Корректор 3. И. Тарасова

Заказ 3164/11 Изд. № 1344 Тираж 473 Подписное

ЦН1!ИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 позицию, а детали 9, занимающие другое положение (лицевой стороной вниз), при отводе упора 5 поштучно пропускаются по лотку дальше. На лотке за упором накапливаются кристаллы, занимающие только одно положение. Они могут быть также перенесены на рабочую позицию.

Поштучное отделение кристаллов производится следующим обр азом.

При опускании упора 5 одновременно включается вакуум в отверстии 8 на лотке, удерживающий предпоследний кристалл 10 перед упором 5. Предыдущие кристаллы

11 — 18 и т. д. при этом не могут продвинуться по лотку и только один кристалл 9, находящийся перед упором 5, под действием вибрации пройдет дальше по лотку за упор на позицию накопления ориентированных кристаллов. Тем самым производится поштучное отделение кристаллов без механического повреждения.

После подъема упора под действием пружины 7 отключается вакуум в отверстии 8, и кристаллы 11 — 18 перемещаются к упору 5.

Вибробункер для загрузки кристаллов полупроводниковых приборов, содержащий кор10 пус с винтовым лотком и устройство для поштучного отделения кристаллов, отличаюи ийся тем, что, с целью повышения надежности подачи кристаллов, устройство поштучного отделения кристаллов выполнено в ви15 де подвижного упора и сблокированного с ним вакуумного присоса, причем подвижный упор установлен за отверстием вакуумного присоса, выполненным в лотке на расстоянии, обеспечивающем отсечение от потока одного

20 кристалла при подключении вакуума и отводе упора от лотка,