Кассета для полупроводниковых кристаллов

ОПИСАНИЕ 3l4254

ИЗОЬРЕтЕНИЯ

Gaea Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 11.!Ч.1969 (№ 1326456/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 07.1Х.1971. Бюллетень № 27

Дата опубликования описания 12.XI.1971

МПК Н 011 7/68

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.328.002(088.8) Авторы изобретения

E. E. Онегин, В. Н. Лифлянд и В. А. Зенько

ЭСЕГ:..;Т Г:п ; я . 4

Заявитель

КАССЕТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ

Изобретение относится к области производства полупроводниковых приборов, а именно к сборочным процессам, и может найти применение в производстве гибридных интегральных схем.

В полупроводниковой промышленности при сборке, контроле и тому подобных операциях широко применяют в качестве накопителей кристаллов различного типа кассеты с вакуумными присосками.

Емкость (число одновременно загружаемых деталей) таких кассет колеблется от 100 до 1000 шт.

Кассета обычно представляет собой плиту, на рабочей поверхности которой выполнены специальные углубления-гнезда. В дне гнезд имеются отверстия, связанные с камерой разрежения. Кристаллы укладываются в гнезда кассет, и последняя используется в качестве загрузочного устройства в сборочных машинах различного типа.

Известные конструкции кассет не обеспечивают высокой точности ориентации (базирования) кристаллов, необходимой на некоторых сборочных операциях, например, при автоматическом присоединении полупроводниковых кристаллов к подложкам гибридных интегральных схем. Объясняется это тем, что погрешность базирования кристаллов в гнездах определяется зазопами между боковыми стенками гнезд и кристаллами, а также допусками на размеры кристаллов и гнезд. При этом суммарная погрешность не обеспечивает необходимой точности для автоматической

5 сборки.

Цель изобретения — повышение точности ориентации кристаллов.

Эта цель достигается тем, что плита с гнездами выполнена нз основания с плоской ра10 бочей поверхностью и рамки со сквозными гнездами, подвижной относительно основания, перемещение которой ограничено упорамн; на двух взаимно перпендикулярных гранях рамки укреплены плоские пружины, под15 жимающие рамку к граням основания.

Благодаря этому кристалл базируется IIo свопм двум взаимно пересекающимся боковым граням, которые прижимаются к базовым боковым поверхностям гнезд, что значительно

20 увеличивает точность ориентации кристаллов.

На фиг. 1 и 2 изображена кассета; »а фиг, 3 показаны гнезда с кристаллами до их окончательной ориентации; на фиг. 4 — гнезда с кристаллами после их ориентации.

25 Кассета-накопитель представляет собой основание 1 с плоской рабочей поверхностью, на которой установлена подвижная рамка со сквозными гнездами 8. Гнезда 8 имеют боковые поверхности 4, упоры 5 и 6, укреп30 ленные на основании l, ограничивают пере.

3142о4

Фиг. 2

Фиг, 3

Фиг. 4

Составитель В. Гришин

Редактор Ю. Полякова Техред Т. П. Курилко Корректор 3. И, Тарасова

Заказ 3164/10 Изд. № 1344 Тираж 473 Подписное

Ц1-П1ИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2 мещение рамки 2, которая поджимается к упорам о плоскими пружинами 7.

Ориентирование кристаллов выполняется следующим образом.

В гнезда 3 кассеты укладывают (вручную или специальным кассетоукладчиком) предварительно ориентированные кристаллы 8.

При этом они занимают в гнездах 8 различпые положения (см, фиг. 3). После этого перемещают рамку 2 из одного крайнего поло- 10 жения в другое до упоров б и обратно 1см. фиг. 2) .

При движении рамки 2 поверхности 4 гнезд 8 соприкасаются с гранями кристаллов 15 и перемещают их на некоторое ограниченное расстояние, за счет чего кристаллы ориентируются относительно двух взаимно пересекающихся граней кристалла (см. фиг. 3).

Предмет изобретения

Кассета для полупроводниковых кристаллов, содержащая основание и рамку с гнездами для размещения кристаллов, отличаюи аяся тем, что, с целью повышения точности ориентации кристаллов, рамка свободно установлена на рабочей плоскости основания, на двух взаимно перпендикулярных гранях которого укреплены плоские пружины, поджимающие рамку к противоположным граням основания с укрепленными на них регулируемыми упорами, обеспечивающими базнроваиие рамки с различными угловыми положениями относительно основания.