Установка для герметизации полупроводниковыхприборов
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
3O65I3
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
МПК Н Oii 7/68
Заявлено 26.1Х.1969 (№ 1362991/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 11 V1,1971. Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 2.11.1972
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
УДК 621.382(088.8) Авторы изобретения Л. В. Лобиков, И. Г. Трофимов, А. Д. Рязанов, Л. Г. Фюрст, А. А. Левушкин, В. М. Антонцев, Н. Н. Белов и Ю. Д. Мишуков
Заявитель
УСТАНОВКА ДЛЯ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЪ|Х
ПРИБОРОВ
Изобретение относится к производству полупроводников, а именно к установкам для герметизации полупроводниковых приборов преимущественно интегральных твердых схем.
11звестны установки для прессования изделий из термореактивной пластмассы, которые содержат пресс с поворотным столом, несущим иагреваемые пресс-формы, гидроцилиидры смыкания пресс-форм и прессования, устройство для загрузки и выгрузки приборов и систему управления. На рабочей позиции механизмом загрузки в камеру пресс-формы засыпается материал, Затем цилиндр прессования проталкивает расплавившийся под действием давления и температуры материал в формообразующую полость пресс-формы.
После этого пресс-форма проходит через ряд холостых позиций, на которых происходит полимеризация материала. На позиции выгрузки изделий пресс-форма раскрывается, и механизм выгрузки вынимает изделия из прессформы.
При герметизации на такой установке полупроводниковых приборов, например интегральных схем, собранных на отрезке металлической ленты, требуется точная ориентация приборов в формообразующих полостях нагретой пресс-формы. Установка в пресс-форму отрезка ленты затруднена из-за нежесткости отрезка и возможности обрыва соединений приборов при деформации отрезка. Это затрудняет автоматизацшо герметизации полупроводниковых приборов, а также повышение производительности этой операции, 5
В предложенной установке эти недостатки устранены благодаря тому, что устройство для загрузки и выгрузки приборов выполнено в виде ротора. в пазах которого расположены
10 две пары рычагов для захвата кассет, и связано с приводом поворотного стола, Привод представляет собой мальтийский механизм, кривошип которого жестко соединен с расположенным иа его оси двухцевочиым кривоши15 иом первого промежуточного мальтийского механизма. Крест последнего жестко соединен с расположенным иа его оси двухцевочиым кривошипом мальтийского механизма поворота ротора устройства для загрузки и выгруз20 ки приборов. Кривошип мальтийского механизма привода поворотного стола также жестко соединен с двухцевочным кривошипом второго промежуточного мальтийскогго механизма с крестом, который жестко соединен с рас25 положенным на его оси кулачком, воздействующим иа рычаги для захвата кассет. г1а фиг. 1 показано предложенное устройство; иа фиг. 2 — 5 — устройство для загрузки и выгрузки приборов; на фиг. 6 — ротор с ры30 чагами.
308513
60 б5
Пресс 1 закреплен на раме почуявтом3T3.
Поворотный стол 2 несет нечетное шсло блоков 3 прессования. смыкающих кассеты 4.
Блок 3 прессования содержит нижнюю плиту б и верхнюю плиту б, в которой расположен". рабочая камера для материала, Материал в виде прессованных таблеток 33êë3äû33còc51 з магазинное устройство 7 и подается В р 160чую камеру верхней плиты б блока 3 механизмом загрузки таблеток, Пресс имеет п1дрянлические цилиндры 8 н 9 смыкания кассет прессования. Смену кассет на рабочей 1о >IIIII.н пресса осуществляет устройстго 10 для 33грузки и выгрузки приборов.
Устройство 10 выполнено в виде ротора 11, в пазах которого расположены подвн)кные рычаги 12 для захвата кассет 4. Поворотный стол 2 и устройство 10;й привод, представляющий собой мальтийский механизм, кривошип 13 которого поворачивает стол 2 и соединен с двухцевочным кривошипом 14 первого ромежуто шого мальтийского механизма. Крест lб этого механизма соединен с двухцево шым кривошипом 1б мальтийского механизма с крестом 17 привода ротора 11 устройстьа 10.
Кривошип И соединен также с двухцевочным кривошипом 18 второго промежуточного мальтийского механизма с крестом,19, соединенным с кулачком 20, который управляет движением рычагов 12 для захвата к3ññåò 4 и датчиком 21, включающим через систему уliравления цилиндр 8 смыкания кассет и цилиндр 9 прессования, Ротор 11 устройства 10 (см. фнг, 6) имеет пазы 22, в которых расположены обе пары рычагов 12, стянутые попарно пружинами 23.
Рычаги вращаются на закрепленных в корпусе осях 24 и связаны планками 25, задающими идентичное движение обеим парям рычагов. В корпусе ротора расположен ползун 2б со штырем 27, воздейству1ощим на концы рычагов. На концах ползуна закреплены опоры вращения 28, па которые воздействует кулачок 20. Нижняя плита 5 блока 3 прессозания имеет фиксирующие штыри 29, кассета 4 имеет углубления под штыри, а концы рычагов 12 для захвата кассет выполнены со скосами 30.
Установка работает следу1ощим образом.
Оператор на позиции обслужпва;пгя устанавливает на монтажный столик кассету с приборами, подлежащими герметизац1ш.
После этого рычаги 12 сводятся, захватывгпот кассеты ня рабочей позиции пресса и снимают их с фиксирующих штырей 29. Затем ротор 11 поворачивается на i80 н переносит
«холодную» кассету, установленную оператOром, на рабочую позицшо пресса, а кассету с загерметизированными нр:1борами — с рабочей позиции пресса на поз1щию оператор3.
Это обеспечивается устройством 10 для загрузки и выгрузки приборов.
Устройство 10 и поворотный стол 2 11рнводятся от общего двигателя, Кривошн;1 13 мальтийского механизма привода стола, вра10
ii jii 5l b, llo13op3чнВ3ст дВухцеВОчный к!)ИВОшнп
14, iiоторый связан с мальтийским крестом lб
cov;11øñø: м с дву .1,сво п1ым к1)нвошипом lб.
Последнии .Оворачивает мальтийский крест
17, 3 через пего. ротор 11.
Кривошип И связан также с двухцевочным i ?8 и передвигает нолзун 2б в корпусе ротор:1 11. Кулачок попеременно воздействует на о:1оры 28 прп повороте ротора 11. Рычаги 12 расходятся, н кассета опускается на фиксирующие штыри 29. Подъем н опускание кассет o6cciIc Iii133IoTc5I скосямн 30 )ычягов. Цилиндр 9 прессования опускает верхнюю 1лнту б блока прессования ня кассету, которая была поднята на время смены кассет. Зятем кр11вошип И мальтийского мехаш1зма поворачивает стол па одну позицшо. «Холодная» кассета переходит на нознци1о нагрева, а 113 рабочую позицию пресса ностунае-, «нагретая» кассета, прошедшая все позиции нагрева. Кривошип 13 продолжает вращ гься, но рычаги 12 захвата кассет пеподви)кны. В это время кулачок 20 устройства 10 для загрузки и выгрузки приборов вкл1очает датчик 21, которьш через систему управления Вкл1очает цилиндр 8 смыкания и после загрузки блока 3 таблеткой — цилиндр 9 прессовяпп51. После этого кривошип 13 останавливается. а реле времени отсчитывает время ш-1держки корпусов приборов нод давлением. Через некоторое время реле времени отключает цилиндр 8 смыкания, включается привод поворотного стола 2 и кривоншп 13 поворачивает стол еще ня одну позицию. Опрессоваппая кассета с рабочей позиции пресса переходит ня позицшо полимернзации под деиствнем температуры блока 3 прессования, а ня рабочую позицшо поступает кассета с загерметизированными приборами после полимер;1зацнн. Цил11ндр 9 прессования поднимает верхшою плиT) б блока прессования, н рычап1 12 производят новую смену кассет, Ост;шавки электродвигателя привода стола 2 и устройства 10 для 331 ps зки II Выгрузки IIpil60po13, а тяк)ке других механизмов и узлов установки обесне I.i33IoTc5i системой управлеп)я, Включякнцей блoKII элсктроавтоматнкп 1га логических элсмеп)ях и п)дропривод. Таким образом, установка работает так, ITo ня рабочей позиции пресса попеременно 1i i) 0 3 3 i30„1 51 TC5I Оli ) еССОВка il p 1160 pO 13 В кассете н замена кассеты с загерметизированными нрпборамп «холодной» кассетой. KacccTII последовательно проходят все позиции пресса и 130:гвр .:.11i,;яются на рабочую Ii oçèöiilo нагретыми до температуры, необходимой для QIlpecсовки, зяте;1 они вновь проходят все позиции, ня кото1)ых осуществляется полимеризация материала корпусов приборов нри температуре, 3яд11В;1емоЙ блокаAIII прессовя13ня, вращаются ня рабочу1о позицию, после чего 30о513 происходит смена кассет, Все ги с:и . !;,11,0матизированы. Датчик, управляющий работой гпдроцилиндров, через систему управления обсснсч;1вает в первом такте подъем верхне1::лп:ы блока прессования, необходимый для смены кассет, а во втором такте — вк:почение цилиндра смыкания, а также подъем ппока цилиндра прессования и опускание его для прессования после загрузки материала. При этом 10 в первом такте кассета с загерметизированными приборами подается на позицшо оператора, а вновь установленная кассета направляется на прогрев. Во втором такте онрсссовашгяя к;1ссет11 поступает на выдержку:: ри 15 температуре нолимеризацин, смены .<яссет нс происходит, Печетное количество позпн 1й lla поворотном столе обеспечивает непр< рыбное чередование «загерметизированной» и «пустой>; кассет ня рабочей позиции пресса. 20 Предмет изобретения Установка для герметизации полупровод1шковых приборов в корпуса из пластмассы методом прессования, содержащая пресс с ново- 25 PoTllbllit cTo70AI, 51t1 7»TI1ÉoKIIÉ мех 11н11зм иРивода стола, пресс-формы, гидроцилнндры смыкя 1 я»:.: 00-формы и прессования, устройство дл я:;.-рузкн и выгрузки приборов, систему i . пявления отлп::a!o!vаяся тем, что, с целью повышения производите IbtlocTII установки, ".С1,." t!С |ВО ДЛЯ и "ii ЗКИ II ВЬ!ГРУ 3КИ I7PHGOPOB :1»:. о.7íãt:;. 11::" ротора, в пазах которого расположены ст;1:1мт11е пружинами две пары ры:1ягов для зя.,вата кассет, причем поворот ротора устройства для 3ягрузки и выгрузки приборов для !!e!pc:;оса кассеты на следующую ; озицшо стола::ронзводптся от мальтийского мех;.низма привода стола пресса, кривошип которого жестко соединен с расположенным ня его оси двухпевочным кривошипом первого промежуточного мальтийского механизма, ! ip0ñT I<0T0Lît.о, в сво!0 очередь, жестко соеди. с",1 с рясноложсчшым ня его оси двухцевочI1!ët «рпвош:шом мальтийского механизма поворота ро 017са устройства для загрузки и выгрузки и зиборов, а перемещение рычагов для захвата кассет устройства для загрузки и выгрузки приооров производится кулачком, закрепленным па оси креста второго проме1ку;очно-о мал»тийского механизма, двухцевочный «ривошип которого закреплен на кривошипе малы гйского механизма привода стола пресса. 306513 1 (Риг. Б Составитель В. Гришин Техред Л. Куклина Корректор Н. Рождественская Редактор Т. Орловская Заказ 3836!3 Изд. № 1489 Тираж 473 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам пзобрстенпй и открытий при Совете Мшшстров СССР Москва, Я-35, Раушская паб., д. 4 5 Типогра< ия, пр. Сапунова, 2
