Установка для присоединения полупроводниковых кристаллов к подложкам микросхем

ОПКСАНИЕ ЗОЗ678

C-D""3ез Сов."-.тсинх

Саонелнстинескнх

Рес7ублнк

ЙЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ сеи4етельст д

3 333ис31х3ое от à"T. слид Tc, II cò:-3л . е ——

За V,:-.,7CI3О (15.V.1(369 Л3о 329723/?6-25) 1 1: j 1х H (. . 7, 6 8

iI; КСQСДЗП3 13ПСМ 3;. : .i: М— но"знтет I;II делает изобретений и отирытнй они Совете Яннис-.pas

1, :лi,ор:тет ——

Олмблпко":,ало 1 ..X .! 97!. Б377,7..;,.:З..хс !6,.(. .1а 3:ту,i !конан 1я (3II!IciIIIII51 : . 3 11.1 . . f3TOj3bI изобретения

Е. Е. Онегин, В. Н. Лифлянд, А. А. Голубовский и С. К. Салей

За я вител ь

УСТАНОВКА ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ

КРИСТАЛЛОВ К ПОДЛОЖКАМ МИКРОСХЕМ

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов, а именно к оборудованию для сборки гибридных интегральных микросхем и может быть использовано для автоматического монтажа активных элементов (диодов, транзисторов и др.) с жесткими выводами (контактами) к подложкам гибридных пленочных микросхем. Монтаж можно осуществлять различными способами соединения, например, термокомпрессионной или ультразвуковой сваркой, пайкой и др.

Известны многопозиционные автоматические установки для присоединения полупроводниковых кристаллов к подложкам микросхем, в которых на каждой позиции осуществляется присоединенис одного кристалла за один рабочий пикл.

Устройство, перемещающее сборочные гнезда с подложками от одной позиции к другой, выполняется в виде ленточного транспортера, замкнутого в вертикальной плоскости, или многопозиционного поворотного стола.

В качестве загрузочных устройств для кристаллов применяют вибробункерные ориентирующие устройства или кассеты-наполнители с ориентированным размещением в них кристал7ол.

Недостатком установок с ленточным транспортером, несущим сборочные гнезда, является трудность обеспечения точности взаимного положения сборочны. гнезд.

Известны также аналогичные установки с транспортным устройством в виде поворотного многопозиционного стола со сборочными гнездами, обладающие жесткостью взаимного положения сборочных гнезд.

Однако в таких у становках подложки, фик-! р сированные в сборочных гнездах стола, расположены под углом друг к другу, что усложняст автоматическую подачу кристаллов из кассет-накопителей, в которых они расположены многорядно с определенным шагом между со(5 седними кристаллами и рядами. Это связано с тем, что для поштучной подачи кристаллов необходимо за каждыЙ цикл перемещать кассету на шаг, равный шагу расположения кристаллов в них, причем для сохранения взапмр ной ориентации кристалла и подложки в каждой позиции эти перемещения различны по направлению и соответствуют различному угловому положению подложек.

Обычно шаговое перемещение кассет осуще25 ствляют в радиальном направлении к поворотному столу и перпендикулярно радиальному направлению.

Это требует для каждой кассеты отдельного шагового привода, что усложняет установку н зр уменьшает надежность ее работы.

303678

Цслью изооретения являстся иовышенис Fla дсжпости работы и упрощсние установки.

Зтя цель достигается тсм, что установка соДс(? ?КИТ ПЛИТУ> ОХВсlТЫ(3310ЩУIО IIOBOPOTHhlti СТОЛ

:1 псрcìåùaþùóþñ5I в прямоугольных координатах, на которой параллельно друг другу CTаНОВЛЕНЫ КаСССтЫ таК, ITO Пс7

КЯСССТЫ IIOBC()FJX>ТЫ ОТНОСИТСЛЫIО Нс(!1РЯВЛСНИЯ ! (х рядов на угол, соответству!ощий углоьому положснию гнезд стола.

Такая конструкция установки позволяет осущссгвлять перемс!цен(!с кассет, число которых равно числу сборо lпhlх позиций, в д!3»: взаим .ю перпендикуляр»ы: напряглс»ия, для чсго достато шо одного привода.

j 33 7Н 1J1C > ГЛОВОГО llo 10?li(i! IH II07. loil

«7)0P0>П1ЫХ ПОЗ ИЦИ51Х l!OIJOPOTHO! С I ОЛЯ CKOi)iI!СНСH(? 013 с(»0 СООTВCTCТВ IОП(1! 31 ПО!30РОТО)t (ПСЗД B КсlЖДОI! К3СССТС.

Hс1 фlfГ. 1 ИЗООР JЖCF13 1! j)СДЛс)Г ICМсlЯ МСТЯиовкя, и!д сверху; на фиг. 2 — разрез Hî rl — А

ita фиг. 1; ия фиг. 3 — раaðñç Ito Б — Б на фиг.2.

Усгяповкя содсржит поьоротный многопози(ио»ный стол 1, вращающийся в подшипниках ,.округ псподвижной оси 2. Псриодичсский Iio,к)рот стола осущсствлястся приво:(ом ). Б по«оротпом столс имеются сборо(ные гнезда 4, В

ilx Раз)fcr(lilioTc51 If за l

>î÷»û. . гисзд ря и(о числу II03»I(!I!I стола. I-IH 1!СПОД!3ИЖПО)l ОСНО«с) I(!lit 6 j)actfo70?I<«ÏÛ ?!СХЯцизмы поштучной иода !и II »pJIcoc7»»cHliii li(? IlГ,"ял lo« к под,(ожкя)1, кя?кдып I13 к()! oj? ь(х (рсдс fat3Jl 51«T co()oif кс! (? ст!<) 7, псрс)! сщспощуlо(51 l303BP FlTHO-ПО«ТУ»с!1 С Il>HO 13 Рс!Дна,ibllo>i ll3Пря» 7C»iiii. Ha t Il(ccTB;I5IcTc51 oT !I(i iI(3073 12. ГIодложки

: агру?кя(отся в соороч»ыс г»ездя из иякошпс1Я 1 ). С ьс)! ПОДЛОЖСK с ft()IICOC;(Jtftctfflf>J)I Jt Iipll- тс7Л7с(. >! ft ОС» ЩССТВЛ51С 1 СЯ li ilñl КОИ ПТС7 b 1 >1. Зс(l J?? 31Ц П С1> )I ПОДЛ ОЖС!< 133>i!!OЛ Н51СТ ПСРС »(>Ц(Я«цця я«я к JpcTI<3 15, »cc) »(яя двя»JITaтсля 16

/7.

HOI3Oj)OTfI bi i! CTO 7 O. !! 1

llлитОй 18, кОтОР351 лсжпт нсl цlсl(? Пl<овых ОПОрях 19. Плита 18 с помощью tlj?) жин»ои платины 20 cocgitffctlcJ с кареткой 21 мсхяпизма 22 н! !lotloro»ерсмещспия по прямоугольным ко) рд» пятя м. ((а плит« устаиовлс»ы касссты-някоиитсли

)8>, !«)торыс фиксируются»утем ирижатия их !

О (Вп жив! м и )) ы>1;1! (l?Ill 24 !< Испол!)Нжны>! >> fio c! )! 25. (с>я?кд(! я кяссстя 13ыпОЛ >!си сl 13 видс

; литы 26, иа рабочсй повсрх»о Tll ко)орой Elbl.Ол»сны спсциальныс углублс»ия — !.Псздя 27 .(I5l рязмсщс»ия « »их кристаллов, располосипыс и)?Ямыми р5(дял(и с oil()åëc Ic»HE !м»l I(М )! С?КДУ СОССДПИ ?>! il ГПСЗДЯ М П.

>>((> i<3 CCCÒbl ф»КСИ Рol) ll » Û li 3 P Я 1Л<,..11>!IO 0,(113 другой так, что няпраьленис ?ядов гнсз в иих совпадает с направлением шагового пермещсния плиты 18. Гнезда каждой кясссты Iloвернуты на опрсделенный угол отпоситсльп,)

5 направлсния их рядов, который зависит от позиции, занимаемой кассстой. )тот угол соог«стствуст угловому положению подложки ila поворотном столс.

Гсли I plICT3 IJI fij?HCOC+JIFI5IC fcff

10 положении, когда его боковыс грани парилЛ«.1ЬНЫ ООКОВЫМ Г(? ЯНЯ?1 ПОДЛОЖКИ, fo ГНСЗДЯ

1 ace« r t)t>I!to.711HIOT«53 Н01)ср((утi»м1! Ita ТЯ(01, угол, чтооы кристалл, лс?к?!щи!! в гнсздс, 1(одло?к! Г 7pуГ > в

15 каждой позицш!. Тякос выполнснис гнезд в кассетах нс всдст к черезмерному у(3«7И>!СИ(по

)!Х ТИП сlЖЯ, ТЯК Кя!:, ЧС(?СЗ ОП(?(.ДСЛСН(ЮС ЧИСЛО (ioaHHliit >> ro. t поворота rf)cal пов(орястся. Так, для 12-позиционного стола необходимо всего 3

20 i Jill(l 1 с(ССС !, ОТ I »× 3 ЮИ(ИХС5! TO, 1 ЬКО f,70)i »0!!0!

) ОТ ГНСЗД B Ни Х.

1 або пш цикл, в течсиис которого осущест«. лястся присоедписнис кристаллов к иодлои кам. Происходит следующим образом.

20 Питатсль 16 (см. фиг. 1) захваты«яст Il=

» aКОИИ ГС 751 18 ИодЛОЖ Ку И >> СТс1 На ВЛИ«яСТ C(«

c()opo÷Hîc гпсздо 4. Од»овремсппо всс раоо ill" голо«кп своими и»струмситами захватывают с помощью «якуумя из соот«стсгвующих кас,?О сст 2, ? кристал.",ы, переносят !Гх в рабо fit(зои:„: и у«тя»авливают в необходимые мсстя иодлоiêñH. Б тсчс»ис некоторого «рсмс»и происк()(I i I1 (? l t rl 3 f H< 3 3! >! В ОД О(3 J< j? I I C T 3.7.7 о 13 к ко Н Т 3 к тны м il, !0(ЦсlДксl)! Г!ОД.1Ожск Оля! 0>73() 5f ПР и)lснс;35 ии!о и 0()хОдимых технологических режимо« (»с! ГРCÂ,;I ñ!13ËСil нi> > ЛЫ Раз«) li 11 ДP ) . ПОСЛ С зтого p;i()o !Ис голо«к» соверша!От Обратный

xol(, l3 исходное иоложсиис, »итатсль !7 вьш!— .(3(. ГOTOI3> lo Ilo I 10il HB C()OPOHHO«0 t IICB;(a

t0 it исрсносит сс» пакопитсль 14. стол иовора !ul3aCTC51 Нс! ОДНХ ПОЗИ I(»10, ПОДВИЖНЯЯ l i;I ИТс! 18

«помощью шагового механизма 22 lie)?C»«i 3 ".I (5!» ll Один Itl с! Г I!o координятс, ПО ovoff с!i l l l ll ПСРС! IOCll КР И«тсl,lлОВ ИЗ Ogtfof Р 5!Дс! fl 1 li тя 18 псрсмсщястся на шаг ilo коордииятс )) и

;;;iлсс продол жастся шаго«ос иерсмсщенис

I!.1! I ь! 110 КООP J!fH3тс Х, HО В дj)УГОм наl!P3В 7с !!!i >1, !1 1 сll<,70 Ilo;IHOI OIIOPOilI ДОСТЯ 1 Ос!Исl,l,.:IЯ 11(. ,)0 ! (? Сj) i>l llltoi! I il«0130 l I »CT3»0131< !! «Т(ЧС ПИ(! сi C(l.

П р сдм ст изоор«тсн!! я

C rtJ f10(3! ) НОВЫХ КР И«тil Ë 70!3 и ПОДЛОЖКЯ )l )I И Кl? ОСХС)1, 0 (i J) жll lц(l я м l(ÎÃλÎÇII IIИОННЫ и 110130J)() Г11Ы I!

<. l 0.1 (ГНСЗДH )I ll Д 151 ПОДЛОЖСI<, МС \ Я» J! 3?i Ы Зс! ! РУЗК И li « l>(>М Я ПОДЛ ОЖСК, МСХс) НИЗ)! Ы »О!»ТУ>!

J!Ofl ПО 7с! Ч ll II il (? ИСОСДИИСНИЯ КР ИСТЯЛ.10«К ИОД(>О 0 ж кс! )1, к 1 сccT(с Гttc3$ 3 IYI II ДЛЯ к(? и«1 Fl;I;l0«, О t.! (l l(!Ю(((()с! С)с! ТС М, ТО, С ЦС.1 Ь(0 НОВЬI II(P H i l H

Н с(Д«ili »OCT II P 3()01 bl Ii (II(?O(r(CHIf f1 >> Сl Fl H0131

:другой установлены кассеты так, что направление рядов гнезд в них совпадет с направленим шагового перемещения плиты, а гнезда каждой кассеты повернуты относительно направления ик рядов па угол. соответствующий угловому иоложлппо гнезд стола.

303678

27 2b

Составитель В. М. Грншнн

Редактор 3. Н. Горбунова Текред T. П. Курнлко Корректор T. А. Джаманкулова

11зд. ¹D 717

Тираж 473

3 ък аз 3879

Г!одписное

ЦНИИГ1И Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров CCCI

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Областная типография Ко тромского управления по печати