Автоматическое устройство для поштучной выдачи плоских заготовок малой толщины

304879

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соввтскик

Социалистичвскив

Рвсоублин

Зависимое от авт. свидетельства ¹,Ч. Кл. Н 011 7/68

Заявлено 17,11.1970 (№ 1402384/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 20.111.1973. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 7Л 1.1973

Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

УДК 621.382.0i03,3 (088.8) Авторы изобретения

М. И. Штейнберг и С. Э. Арбит

Заявитель

АВТОМАТИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОШТУЧНОЙ

ВЫДАЧИ ПЛОСКИХ ЗАГОТОВОК МАЛОЙ ТОЛЩИНЫ

Устройство относится к загрузочному оборудованию. Оно предназначено для автоматической подачи полупроводниковых кристаллов при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известны загрузочные устройства, содержащие вращающиеся фрикционный диск и бункер. Последний связан с вращающимся секторным диском, в котором выполнены вырезы по числу деталепроводов.

Однако данные устройства не могут быть применены для поштучной выдачи деталей малой толщины, например полупрозод .иковых кристаллов, так как детали образуют в деталепроводе многослойные нагромождения.

Цель изобретения — обеспечение поштучной выдачи с определенным интервалом деталей малой толщины, преимущественно полупроводниковых кристаллов, а также разделения деталей взаимодействием их в электростатическом поле.

Предлагаемое устройство отличается тем, что вращающийся диск изготовлен нз электризующегося материала, например фторопласта, а бункер образован двумя расположенными под углом одна относительно другой планками, которые установлены таким образом, что образуют на входе заборник деталей, а на выходе — деталепровод для поштучной выдачи.

Бункер и накопитель закреплены шарнирно на неподвижном основании, чем обеспечивается колебательное движение пх над вращающимся диском.

5 На фпг. 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 — разрез по А — А на фиг. 1.

Автоматическое устройство содержит вращающийся диск 1 для перемещения деталей, например полупроводниковых кристаллов, 10 бункер, состоящий из планок 2 и 3, накопитель в виде двух параллельных планок 4 и б с вакуумным отсекателем, фиксатор б, неподвижное основание 7 и манипулятор 8 с вакуумным присосом 9.

15 Бункер, накопитель и фиксатор установлены таким образом, что их рабочие элементы плотно прилегают к поверхности вращающегося диска. Параллельные планки 1 и 5 накопителя образуют канал и смещены одна от20 носптельно другой.

На выходе накопитель снабжен вакуумным отсекателем в виде двух присосок 10 и 11.

Планка 4 имеет скос, обеспечивающий отвод кристаллов, не попавших в канал.

25 Для поштучной выдачи деталей с определенным интервалом путем разделения последних в эле тростатпческом поле вращающийся диск 1 выполнен из электролпзующегося материала, а планки 2 и 8 бункера, за30 крытые сверху стец oi установлены под уг304879

Предмет изобретения

Фив 1

+Q8 2

Составитель H. Островская

Техред 3. Тараненко

Корректор Н. Аук

Рсдактор Б. Федотов

Заказ 162113 Изд. ¹ 467 Тираж 780 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 415

Типография, пр. Сапунова, 2 лом друг к другу таким образом, что па входе образуют заборник деталей 12, а на выходе— деталепровод 18, Бункер и накопитель закреплены относительно неподвижного основания на шарнирах

14 и 15, которые обеспечивают их колебательное движение над вращающимся диском.

Устройство работает следующим образом.

При вращении диска из электризующегося материала на его поверхности в результате трения о бункер, накопитель и фиксатор оораз ются электростатические заряды, действую цие на кристаллы.

Полупроводниковые кристаллы загружаются в бункер между планками 2 и 8 и через деталепровод 18 передаются вращающимся диском поштучно в накопитель.

Избыточные детали отводятся диском обратно в бункер. Крситаллы пз накопителя попадают в фиксатор б, где захватываются вакуумным присосом манипулятора 8 и передаются на сборку, При захвате детали манипулятором вакуум переключается на присоску

11, и крайняя деталь, находящаяся под присоской 10, освобождается и поступает в фиксатор. После поворота манипулятора в сторону рабочей позиции технологической машины происходит переключение вакуума в отсекателе. Вакуум подается в вакуум-присоску 10.

5 Далее цикл повторяется.

Лвтоматическое устройство для поштучн я, 10 выдачи плоских заготовок малой толщины, например полупроводниковых кристаллов, содержащее вращающийся диск для переноса деталей, бункер, накопитель с вакуумным отсекателем, фиксатор и манипулятор с вакуум15 ным присосом, отличающееся тем, что, с целью обеспечения поштучной выдачи деталей с определенным интервалом путем разьединения пх в электростатическом поле, бункер выполнен из двух планок, расположенных

20 под углом одна относительно другой и образующих на входе заборнпк деталей, à íà выходе — деталепровод, при этом бункер и накопитель шарнирно закреплены на неподвижном основании над вращающимся диском, из25 готовленным из электризующегося материала,