Патент ссср 294184

О П И С А Н И Е 294I84

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №. 1ПК Н Olg 3/075

Заявлено 28.Х.1969 (№ 1371609/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.1.1971. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 12.III.!971

Комитет по делам изооретеннй и открытий прн Совете Министров

СССР

УДК 621.319.4(088.8) Авторы изобретения

Д. И. Чернобровкин и В. И. Лотов

Заявитель

ДИЭЛ ЕКТРИК

Предмет изобретения

Известны конденсаторные диэлектрики па основе смеси окислов (авт. св. № 180701).

Цель предлагаемого изобретения — повышение удельной емкости конденсаторов. Для этого в качестве смеси окислов используют смесь, содержащую окись иттрия 80 — 90% и окись гольмия 20 — 10%.

Использование материала предлагаемого состава позволило получить диэлектрическую проницаемость .напыленных пленок до 24, что дало возможность изготовить конденсаторы с удельной емкостью до 0,22 мкф/с.и - . Обкладки конденсатора алюминиевые.

Электрические характеристики тонкопленочных конденсаторов с диэлектриком на основе предлагаемой смеси, следующие: удельная емкость, мкф/слв 0,22 (при

U раб=15 в); электрическая прочность, в/сн 2,5.10в тангенс угла диэлектрических потерь (на частоте 1 кгпв() 0,005 — 0,02. По остальным электрическим параметрам данные конденсаторы не уступают известным на основе окиси пттрия.

Конденсаторы, изготовленные по предлагаемому способу, обладают повышенным значе.нием удельной емкости при сохранении достаточного рабочего напряжения и могут быть использованы в тонкопленочных интеграль ных схемах.

Диэлектрик, состоящий из смеси окислов, предназначенный для изготовления тонкопленочных конденсаторов и получаемый методом вакуумного напыления, отличающийся тем, что, с целью повышения удельной емкости упомянутых конденсаторов, в качестве смеси окислов использована смесь, содержащая окись иттрия 80 — 90% и окись гольмия 20—

10%.