Патент ссср 322796

ОПИСАНИИ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Со@в Советских

Социалистических

Респуслик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 07.VII I,1970 (№ 1463925/26-9) с присоединением заявки №

П р и оритет

Опубликовано ЗО.Х1.1971. Бюллетень № 36

Дата опубликования описания 1.II.1972

М I(ч Н Olg 3!075

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.319.4(088.8) Авторы изобретения

Д, И. Чернобровкин н Ю. Г. Сахаров

Заявитель

ДИЭЛЕКТРИ К

Изобретение относится к технологии производства радиоаппаратуры и может быть использовано при изготовлении тонкопленочных конденсаторов для микросхем.

Известный диэлектрик для тонкопленочных конденсаторов постоянной емкости на основе окислов редкоземельных металлов не позволяет изготовить конденсаторы с высокой электрической прочностью и добротностью.

Для повышения электрической прочности и добротности конденсаторов в качестве исходных компонентов смеси окислов редкоземельных металлов взяты окись празеодима и окись лантана.

Плотно спрессованные таблетки из диэлектрика указанного состава нагревают электронными лучами в вакууме и напыляют на подложки, нагретые до температуры 100 — 200 С.

Обкладки конденсаторов изготавливают из пленок алюминия.

Конденсаторы на основе диэлектрика пз указанной смеси окислов обладают электрп5 ческой прочностью до 5 10в в, с.и и тацгенсом угла диэлектрических потерь 0,005 — 0,01 без ухудшения остальных электрических параметров.

Предмет изобретения

Диэлектрик для тонкопленочных конде1ц 1 торов постоянной емкости па основе окислов редкоземельных металлов, от.гачающпй сл

15 тем, что с целью повышения электрической

-прочности и добротности конденсаторов, в ка. честве исходных компонентов смеси взяты окись празеодима и окись лантана,