Патент ссср 291251

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

291251

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 27.Х.1969 (№ 1370983/26-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 06.1.1971. Бюллетень № 3

Дата опубликования описания 4.111.1971

МПК Н 01Q 3/075

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.319.4(088.8) Автор изобретения

Д. И. Чернобровкин

Заявитель

ДИЭЛЕКТРИК

Конденсаторы, изготовленные по предлагаемому способу обладают повышенным значением удельной емкости, электрической прочности и могут быть использованы в тонко5 пленочных интегральных схемах, где требуются элементы с большой величиной емкости и повышенным рабочим напряжением.

Диэлектрик для тонкопленочных конденсаторов постоянной емкости, изготавливаемых

15 методом вакуумного испарения, содержащий в своем составе окислы редкоземельных металлов, отличающийся тем, что, с целью повышения удельной емкости и электрической прочности конденсаторов, он состоит из смеси

20 окиси неодима (80 — 90%) и окиси празеодима (20 — 10% ) .

Известен способ изготовления тонкопленочных диэлектриков методом напыления в вакууме с использованием в качестве диэлектрика окислов редкоземельных элементов.

Цель изобретения — повышение удельной емкости и электрической прочности конденсаторов.

Для этого в состав диэлектрика входит смесь окиси неодима (80 — 90%) и окись празеодима (20 — 10%).

Электрические характеристики конденсаторов на основе предлагаемой смеси следующие:

Диэлектрическая постоянная 30

Удельная емкость, лкф/сме 0,3

Электрическая прочность, 8/см 3,6 10с

Тангенс угла диэлектрических потерь (на частоте 1 кги) 0,008 — 0,06

По остальным параметрам данные элементы не уступают известным конденсаторам нф осноВе окиси неодима.

Предмет изобретения