Патент ссср 180705

I8O705

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 21о, 10/02

Заявлено 02Х!.1965 (¹ 010243/26-9) с присоединением заявки ¹ 1ПК Н Olg

> ДК 621.319.4:546.289. ,002,2 (088.8) Приоритет

Опубликовано 26.III.1966. Бюллетень ¹ 8

Комитет по делам изобретеииЙ к OTIIpblTNH при Совете Мииистрое

СССР

Дата опубликования описания 12Л .1966

° -c

Авторы изобретения В. Ф. Филимоненков, В. С. Крикоров, P. А. Костанян, В..К. Кфкихт;"ь::

А. И. Коробов и В. Д. )Келнинский, ;,-,. ;: - /

Заявитель

ПЛЕНОЧНЫЙ КОНДЕНСАТОР ПОСТОЯННОЙ ЕМКОСТИ

Известные пленочные конденсаторы постоянной емкости, полученные поочередным осаждением в вакууме на подложку слоев диэлектрика и металла, характеризуются сравнительно высокой температурой испарения диэлсктрика, что заметно. в;шяет на диэлектрические свойства.

В описываемом конденсаторе упрощение технологии изготовления и повышение удельной емкости конденсатора достигнуты применением в качестве материала диэлектрика моноокиси германия.

Моноокись германия испаряют в вакууме

2 10 лт,и рт. ст. из танталовой лодочки при температуре, не превышающей 1000 С, и осаждают на непрогретую подложку из ситалля. В г<ачестве электродов использ1 ют пленки алюминия, наносимые обычным способом.

Пленки на основе моноокиси германия имеют следующие характеристики: диэлектрическая проницаемость в = 10 — 12; тангенс угла диэлектрических потерь tg 6 = 3 10 ", удель5 ное объемное сопротивление -..-, ) 10I- ол с.ч; электрическая прочность Г„, = 5 †6 . 10 в/с,и.

Пленочные конденсаторы, изготовленные на основе моноокиси германия, имеют среднюю удельную емкость 21000 нф/слг-.

Пpå,1мет IIзîоретения

Пленочньш конденсатор постоянной емкости, содержащий изоляционную подложку и слой металла, от.гггчаюгггггйся тем, что, с

1S целью упрощения технолопш изготовления и повышения удельной емкости конденсатора. в качестве материала диэлектрика применена моноокись герхгаиия.