Устройство для присоединения кристаллов к корпусам полупроводниковых приборов

у1@та . r ..:.,=

1О ПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

2769ОО

Союз Советскик

Социалистичвскив

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 22.1V.1968 (№ 1234033/26-25) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опуб.тиковано 12Л .1970. Бюллетень Хз 17

Дата опубликования описания 19Х111.1970

Кл. 2lg, 11102

iЧПК Н Oll ДК 621.382(088.8) Комитет по делам изобретений и отнрытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

В. М. Черкасов, Е. Е, Онегин и П. И, Рубенчик

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ

К КОРПУСАИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к электронному машиностроению, в частности, к технологическому оборудованию для серийного и массового производства полупроводниковых приборов: транзисторов, диодов, интегра IbHblx схем и т. д., и предназначено для присоединения кристаллов к корпусам полупровод1п1ков.1х приборов.

Известно устройство для присоединения кристаллов к корпусам полупроводниковых приборов, содержащее корпус, каретку с установленным па ней инструментом, опти 1ескую систему, столик для кристаллов, нагревательную колонку и иглу ддя захвата и укладки припоя, причем игла установлена на отдельном поворотном держателе и совершает качательное двии ение в горизонтальной плоскости. В силу автономного управления сварочным инстр;— ментом и иглой для захвата и укладки припоя такое устройство не обеспечивает высокой 20 производительности сварочных операций и надежности сварки.

Цель изобретения — устранение вышеуказанных недостатков. Для этого игла для захвата и укладки припоя „стансвлена на общей 25 каретке со сварочны;I инструментом, а ее рабочая часть расположена в плоскости движения инструмента, и проходит с зазором в отверстие держателя инструмента. Расположение двух технологических инструментов на од- .30 ной каретке с об1цим приводом позволяет iloВь(снть производительность сварочнь|х Операций и надежность сварки.

На чертеже представлен общий вид устройства в разрезе.

Устройство содержит корпус 1 с держателем

2 микроскопа 8 и направляющими 4, В которых находится ползушка 5 с кронштейном 6 и вертикальнымн направляюцп1м11 7. В направляющих установлена каретка 8 с о"bio 9, на которой расположен корпус 10, несущий держатель 11 с укрепленным в нем инструментом

12 для захвата кристаллов 18, расположенных на столике 14, и присоединения Нх к корпусу (поиткс, кристаллодержателю) !5, расположенному на нагревательной колонке 16. На каретке 8 установлена подвижная в вертикальном направле1ши относительно каретки игла 17, проходящая с зазором через отверстие 18 держателя 11, рабочая часть которой находится в плоскости движения инструмента 12. Установка снабжена механизмом 19, который подает ленту припоя 20, намотанную на катушку 21, и отрезает необходимую дозу. На оси привода 22 имеется профильный кулачок

23, с которым соприкасается через ролик 24 подпружиненный рычаг 25. Рычаг 25 осью 26 соедш1ен с кронштейном 6. Профильный кулачок 27 через толкатель 28 с роликом 29 воздействует через планку 80 на каретку 8. Тол.

270900

Предмет изобретения

Z9

Z2 27 2! Л7 )9 32 35 33 31

Ре;:актор Л, Г. Герасимова Техред А. А. Камышникова Корректор Н, А. Митрохина

ЦНИИПИ

Заказ 2240/7

Тираж 480

Подписное

Типографии, пр. Сапунова, 2 катель 81 с роликом 82 через кулачок 88 связан с ручкой 34. Корпус установки закреплен на основании 35.

Установка может работать в двух режимах, автоматическом и ручном.

В автоматическом режиме ось привода 22 с профильными кулачками 28 и 27 делает один оборот, за который осуществляется полный цикл. При этом за часть оборота каретка через рычаг 25 под действием пружины 3á перемещается по горизонтальным направляющим

4 в сторону столика 14, опираясь своей планкой 80 через ролик 29 на толкатель 28, который, в свою очередь, опирается на:профильный кулачок 27. Каретка 8 перемещается в положение, когда инструмент 12 располагается над кристаллом 13 и соответственно профилю кулачка 27 опускается. Инструмент захватывает кристалл 13 вакуумным присосом.

Одновременно опускается игла 17 с дозой припоя, взятой с механизма 19 вакуумным присосом, на корпус (ножку, кристаллодер>катель)

15 прибора. При дальнейшем повороте оси привода 22 каретка через планку толкателем поднимается по профильному кулачку 27. Кристалл удерживается вакуумным присосом, а доза припоя остается на корпусе (ножке, кристаллорежателе) в результате соединения канала вакуумного присоса в игле с атмосферой.

Далее каретка перемещается от профильного кулачка 28 через рычаг 25 в положение, когда инструмент располагается над дозой припоя на корпусе 15. Соответственно игла 17 занимает положение над следующей дозой припоя в механизме 19. Затем каретка опускается (опускается толкатель 28 по профильному кулачку 27), и кристалл, удерживаемый вакуумным присосом инструмента, ложится на таблетку припоя на корпусе 15. Кристалл, таблетка припоя и корпус, расположенные на нагревательной колонке, сжимаются, и кристалл присоединяется к корпусу. Для ускорения процесса присоединения инструменту через дер1о >катель сообщаются ультразвуковые колебания. Одновременно с,присоединением кристалла игла захватывает следующую дозу припоя.

После присоединения кристалла каретка поднимается, и цикл повторяется.

1. Устройство для присоединения кристаллов к корпусам полупроводниковых приборов, со2р держащее корпус, каретку, установленный на ней поворотный держатель инструмента с приколом, иглу для захвата и укладки припоя, оптическую систему, столик для кристаллов и нагревательную колонку, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности сварочных операций и повышения, надежности сварки, игла для захвата и укладки припоя установлена на общей со сварочным инструментом каретке, причем рабочая часть иглы расположена в плоскости движения инструмента.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что игла расположена с зазором в отверстии дер>кателя инструмента.