Устройство для загрузки штырьков в кассеты

Авторы патента:

H01L21/68 - аппаратура для крепления или установки компонентов во время изготовления, например зажимные приспособления, шаблоны, калибры

266074

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Со!оз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт, свидетельства М

Заявлено ЗО,Х11.1966 (№ 1122762/26-25) Кл, 21д, 11, 02 с присоединением заявки чо

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министроз

СССР 1 !ПК H Oll

Ъ ДК 621.382.002(088.8) Приоритет

Опубликовано 17.111.1970. Бюллетень ¹ 11

Дата опубликования описания 6Л П.1970

Авторы изобретения

Ф, И. Холмянская и T. С. Баранова ВС!.СО1ОЗИйй

ВТЕНТ1О Т с : вЂ”.Ъ

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ШТЪ|РЬКОВ В f(ACCETbl

Изобретение относится к области полупроводниковой техники.

В производстве полупроводниковых приборов широко применяются топкие и длинные штырьки разнообразной формы, изготовленные из мягких материалов, которые легко могут деформироваться.

На многих операциях ооработка таких штырьков осуществляется в кассетах. В тех случаях, когда отверстия в кассетах имеют малые зазоры, заполнение кассет штырьками весьма затруднено, поэтому на этой опера!ции используют малопроизводительный ручной труд.

Предлатаемое устройство позволяет вставлять штырьки групповым способом, что резко повышает производительность труда.

Возможность групповой загрузки обеспечена тем, что в конструкции устройства предусмотрено наличие двух перемещающихся во взаимно перпендикулярных направлениях пластин, снабженных ориентирующими фигурными вырезами, расположенными многорядно в каждой из пластин.

На,фиг. 1 и 2 показано описываемое устipoHcTBo в д вух рабочих положениях.

Устройство имеет корпус 1 с отверстиями 2, направляющие д и планки 4. Планки снабжены фигурными вырезами б и могут перемещаться в направлениях во взаимно перпендикулярных направлениях до упоров. В пер воз! рабочем положении планок (см. фиг. 1) фигурные вырезы совпада!от своими утолщенными частями с От верстиями корпмся, ÂO BTOром рабо IcAI пог!Ожеиии планок фигурные вырезы рас:!олагают я против отверстий своими щелевыми участками.

Устройство используется следующим образом.

Перьоначальпо планки устанавлива!Отся в первое положение, »а устройстве ставят магазин 6 таким образом, чтобы отверстия 7 магазина были совмещены с отверстиями корпуса, и все вместе подвергается вибрации. В результате вибрации штырьки попада!ст по

Однох! В !кя:кдое ОтВерстие, при этом из устройства после загрузки выступа!От небольшие концы штырько в (0,5 вЂ” 1,0 .11,1!) . Выпадание

Второго стер>кн1! Из з!я! азина ие! лю Iekko, тяк кяк диаметр ОтВерстия з!еиьшс двух див мет ров загружаемой детали. Благодаря тому что отверстие магазина почти вдвое оольше по диаз1етру загружаемого стерженька, а утолщенные части фигурных вырезов и отверстия

25 значительно превосходят по диаметру загр) кяез!ые детя;III, последние легко перегружаются в устройство, несмотря на пали ше у них изгибов.

После окончания вибрации магазин с!ш30 мается, и пластины переводятся во второе по266074 о а г г

Фиг. 2

Составитель В. М. Гришин

Редактор Н. Г. Михайлова Техред А. А. Камышникова Корректор Л. И. Гаврилова

Заказ 1712/11. Тираж 480 Подписное

ЦИИИПИ Комитета по делам изооретений и открытий,при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская пао., д. 4г5

Типография, пр, Сапунова, 2 ло -:ение, при этом выступающие из приспособления концы стерженьков щелевыми участками фигурных вырезов пластин точно ориентируются в заданном положении.

Затем на устройство ставится кассета 8.

Выступающи концы штырьков, будучи точно сориентиро ванными, легко входят в отверстия кассеты, несмотря на малые зазоры между штырьками и отверстиями кассеты. После этого кассета вместе с приспособлением переворачивается на 180, пластины переводятся в первоначальное положение, освооождая выходы из отверстий, и штырьки посредством вибрации перегружаются в кассеты.

Предмет изобретения

Устройство для;загрузки штырьков в кассеты, содержащее корпус и .механизм ориентации, or гичаюи ееся тем, что, с целью повышения произ водительности загрузки, механизм ориентации выполнен в виде двух перемещающихся во взаимно перпендикулярных направлениях пластин, имеющих ориентирующие фигурные вырезы, расположенные многорядно в каждой из пластин.

Устройство для микроперемещения рабочегообъекта // 242127

Кассета для загрузки электродных сплавов // 203076

Устройство для первичной упаковки радиодеталей с осевыми выводами // 165248

Погрузочно-разгрузочное устройство для полупроводниковых пластин для установки ионной имплантации // 2126191

Устройство для ориентации пластин // 2131155

Лодочка для удержания кремниевых пластин при изготовлении полупроводниковых приборов // 2280916

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Электростатический держатель для использования в вакуумной камере высокотемпературной обработки, способ обработки подложки и расширительный узел электростатического держателя // 2295799

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Приспособление для закрепления пластины // 2380786

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Способ формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, и система манипулирования для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин // 2411608

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Устройство и способ для управления температурой поверхности подложки в технологической камере // 2435873

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Способ съема полупроводниковых кристаллов с эластичной пленки-носителя и устройство для съема полупроводниковых кристаллов с эластичной пленки-носителя // 2071144

Изобретение относится к микроэлектронике

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках // 2075136

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме