Турбомолекулярный насос вертикального типа

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ш1 434190

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 24.12.71 (21) 1728637/24-6 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 30.06.74. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 28.10.74 (51) М. Кл. Г 04d 19/04

Государственный комитет

Совета Министров СССР па делам нзооретений и открытий (53) УДК 65!.527.8 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. Я. Черный, М. М. Михайлов, Б. Г. Гальперин, Л. В. Доброхотов и А. Н. Тарасов (71) Заявитель (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС ВЕРТИКАЛЬНОГО ТИПА

Известны турбомолекулярные насосы вертикального типа, содержащие неподвижный полый вал для подачи смазки из масляной ванны к подшипниковым узлам полого ротора, установленного на этом валу и снабженного рабочими дисками на наружной поверхности.

Однако известные насосы имеют нисходящее направление потока откачиваемого газа.

Цель изобретения — создать восходящий поток откачиваемого газа и предотвратить попадание смазки в проточную часть насоса.

Это достигается тем, что масляная ванна расположена в нижней части полого ротора в области первых дисков, а полость неподвижного вала при помощи трубки подключена к зоне возврата смазки из полости ротора.

На фиг. 1 схематически показан насос при неподвижном роторе, продольный разрез; на фиг. 2 — то же, с рабочим числом оборотов ротора.

Насос содержит неподвижный полый вал 1, жестко связанный с корпусом 2 насоса. На валу на подшипниках 3 и 4 размещен полый ротор 5, снабженный рабочими дисками 6 на наружной поверхности. Внутри полого ротора, в верхней его части, установлен ротор 7 электродвигателя. Обмотка 8 статора электродвигателя размещена на валу. Для прохода смазки из полости вала к подшипниковым узлам 3 и 4 предусмотрен ряд сквозных отверстий 9. Между подшипниками к валу жестко прикреплена трубка 10, сообщающая полость ротора с полостью вала. В нижней части полого ротора расположена масляная ванна 11, которая заполнена смазкой 12.

С началом вращения ротора насоса, приводимого встроенным электродвигателем, на смазку начинают действовать центробежные

10 силы, возрастающие по мере разгона ротора.

Эти силы прижимают смазку к стенкам масляной ванны и ее внутренняя поверхность начинает принимать форму параболы, а сама смазка поднимается по стенке масляной

15 ванны.

Далее по мере увеличения оборотов свободный конец трубки погружается в смазку. Поскольку внутреннее давление в слое смазки у свободного конца трубки велико, то она по трубке нагнетается образовавшимся подпаром во внутреншою полость вала и заполняет ее до уровня 12. Этот уровень устанавливается в результате динамического равновесия смазки, поступающей по трубке в полость вала и выходящей из него к подшиппиковым узлам через отверстия.

Таким образом, при вращении ротора возникает непрерывная циркуляция смазки, которая вытекает пз отверстий под действие

30 собственного веса и возвращается в полость

434190

8 вала по трубке под действием центробежных сил и сил внутреннего давления, возникающих во вращающемся слое смазки.

При остановке ротора смазка под действием собственного веса стекает вниз и вновь занимает исходное положение.

Предмет изобретения

1. Турбомолекулярный насос вертикального типа, содержащий неподвижный полый вал для подачи смазки из масляной ванны к подшипниковым узлам полого ротора, установленного на валу и снабженного рабочими дисками па наружной поверхности, отличаюшийся тем, что, с целью создания восходящего потока откачиваемого газа, масляная ванна расположена в нижней части полого ротора в области первых дисков.

2. Насос по и. 1, отличающийся тем, что, с целью предотвращения попадания смаз10 ки в его проточную часть, полость вала при помощи трубки подключена к зоне возврата смазки из полости ротора.

Фиг. 2

Составитель Л. Леонов

Редактор Л. Ксенофонтова Техред Н. Куклина Корректор А. Васильева

Заказ 2901/14 Изд. № 1740 Тираж 651 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2