Молекулярный вакуумный насос

Сова Советскик

Сапиалистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 13.Н.1970 (, 1405044 24-6) М. «л. F 04cI 19, 04 с присоединением заявки ¹â€”

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

1 Ириоритет

УÇK 021.527.8(088.8) Опубликовано 19,1.1972. Бюлле;е ь № 4

Дата опубликования описания 3.111.1972

Авторы изобретения

В. Д. Лубенец, В, H. Хмара, И. Я. Сухомлинов, М. А. Радугин, H. А. Смирнов, Л. H. Белотелова и М. М. Калинин

Московское ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени

Высшее техническое училище им. H. Э. Баумана

Заявитель

МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

Изобретение относится к технике получения вакуума.

Известны молекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и расположенные в

его проточной части диски с лопатками по периферии.

Цель изобретения — повышение степсн;i сжатия и упрощение конструкции.

Это достигается тем, что лопатки вьнолнены радиальными и в проточной части на стенке корпуса укреплены перегородки, имеющие с лопатками минимальный радиальный зазор и образующие с диском рабочие камеры для последовательного направления откачиваемого газа из полости всасывания в полость нагнетания, между которыми установлен отсекатель.

Для предотвращения обратного перетока газа перегородки имеют ширину, большую шага лопаток, а для уменьшения перетечек из полости нагнетания в полость всасывапия в отсекателе выполнено отверстие, подключенное с помощью перепускной трубы к одной из рабочих камер, например смежной с полостью всасывания.

На фиг. 1 изображен одноступепчатыи насос, продольный разрез; на фиг. 2 — пас. с, поперечный разрез.

Молекулярный наcOс содержит расположенный в корпусе 1 диск 2 с радиальными лопатками 8, рабочие камеры 4, отделенные одна от другой перегородками 5, всасывающие б и нагнетательные 7 окна и перепускную трубу 8;

При работе молекулярного насоса молекулы через окно б попадают в первую рабочую камеру, где часть из них получает от лопаток диска импульс в сторону вращения колеса и переносится в следующую камеру с более выт0 соким давлением. Там одна часть молекул захватывается лопатками и получает импульс в сторону вращения колеса, а другая часть перенесенных молекул остается в этой камере, Молекулы, получившие импульс в сторо15 ну вращения колеса и захваченные лопатками, переносятся в следующую камеру с большим давлением. Этот процесс продолжается до тех пор, пока молекулы, захваченные лопаткамп, будут перенесены в камеру, сооб20 щающуюся с пагнетательным окном 7. Из него молекулы переходят в следующую ступень пли поступают в пагнетательный патрубок 9.

Обратное перетекание откачиваемого газа

25 ограничивается радиальным зазором между лопатками и перегородками, ширина которых больше It àãа лопаток. Между всасывающим и нагнетательным окнами установлен отсекатель 10 с отверстием 11, подключенным с по30 мощью трубы 8 к одной из рабочих камер, 326374

Фиг /

Составитель Т. Рабчук

Техред 3. Тараненко

Корректор T. Миронова

Редактор Н. Вирко

Заказ 518/7 Изд. ¹ 64 Тираж 448 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 например смежной с полостью всасывания, для перепуска газа.

Предмет изобретения

1. Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в его проточной части диски с лопатками по периферии, отличающийся тем, что, с целью повышения степени сжатия и упрощения конструкции, лопатки выполнены радиальными и в проточной части на стенке корпуса укреплены перегородки, имеющие с лопатками минимальный радиальный зазор и образующие с диском рабочие камеры для последовательного направления откачиваемого газа из полости всасывания в полость нагнетания, между которыми установлен отсекатель.

2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с

s целью предотвращения обратного перетока газа, перегородки имеют ширину, большую шага лопаток.

3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что, с цель1о уменьшения переточек из полости на1О гнетания в полость всасывания, в отсекателе выполнено отверстие, подключенное с помощью перепускной трубы к одной из рабочих камер, например смежной с полостью всасывания.