Турбомолекулярный радиальный вакуумный

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

« оп;::: Советских

« >ц,:ипксткчяскиХ

PGcn i6ëèê

З«1нпсп мое 0 г Bll г. свпдете. (ьства ¹

М, Кл, F 04d 19/04

Заявлено ОЗХ11.1970 (№ 1454144/24-6) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28.И11.1973. Бюллетень е 35

Дата опубликования описания 8.1.1974

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР не делам изооретений и открытий

УДК 621.527.8(088.8) Авторы изобретения

И. Д. Анохин и В. И. Кузнецов

Заявитель

ТУР БОМОЛ Е КУЛЯ P НЫЙ РАДИАЛ ЬНЫ Й ВАКУУМНЫЙ

НАСОС

Предмет изобретения

Изобретение относится к вакуумной тех ике.

Известны турбомолекулярные радиальные ваккумныс насосы, содержащие ротор с лопатками, расположенными по концентрическим Окр>>кностям параллельно Оси насоса, между которыми помещены ряды cTBTopHblx лопаток, укрепленных на фланце.

Предлагаемый насос отличается тем, что фланец с укрепленными статорными лопатками присоединен к откачиваемой камере, и проточная часть насоса оказывается расположенной непосредственно в реципиенте.

Это позволяет повысить производительность насоса и уменьшить его габариты.

На чертеже схематично изображен предложенный насос. Он содержит фланец1, на котором по концентрическим окружностям параллельно оси вращения ротора 2 укреплены статорные лопатки 8. Рабочие лопатки 4 жестко связаны с ротором и расположены между рядами неподви>кпых лопаток.

При вращении ротора происходит перемещение молекул гязя по радиусу к оси насоса, 5 откуда отк» 1пваем11й гяз через окна во фланце проходит через форвякуумную камеру 5 в выхлопной патрубо1. б, к которому присоединяется насос предварительного разрежения.

Турбомолекулярны11 радиальный вакуумный насос, содержащий ротор с лопатками, расположеннымп по концентрическим окружно15 стям параллельно осп насоса, между которыми поъlещены ряды cTBTopHblx лопаток, 3«крепленных на фла11це, от«1ачаюи1ийся тем, что, с целью повышепия производительности и уменьшения габаритов насоса, фланец со ста20 торными лопатками присоединен непосредственно к откачиваемой камере.

39я62

Со ста вп тель Б. И вано в

Тсхрсд А. Камыш и икова

Редактор Л. Народная

Корректор E Блюмина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3604, 6 Изд. М 970 Тираж 678 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4 5