Многоступенчатый турбомолекулярный вакуумный насос
О П И C А Н И Е 335443
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 19 111.1970 (№ 1417900/24-6) М. Кл. F 04d 19/04 с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 11.1V,1972. Бюллетень № 13
Дата опубликования описания 2.VI.1972
Комитет по делам изооретеиий и открытий ори Совете Министров
СССР
УДК 621.527.8 (088.8) Авторы изобретения
В. И. Кузнецов, Л. Б. Леонов, Б. В. Иванов и И. Д. Анохин
ЕСФ ФИФЗуеля
ВАТА Кз -Тяящщду бттбл
Заявитель
МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ
ВАКУУМНЫЙ НАСОС
Изобретение относится к технике получения вакуума.
Известны многоступенчатые турбомолекулярные вакуумные насосы, содержащие корпус и размещенные в нем роторные и статорные диски с рабочими элементами (лопатками, радиальными прорезями) по периферии.
Цель изобретения — повышение .степени сжатия и уменьшение обратного потока откачи ваемого газа.
Это достигается тем, что диски выполнены с проходным сечением, уменьшающимся в направлении откачки от максимально возможной величиHb! на первой ступени до минимальной, стремящейся к нулю — на последней.
На фиг. 1 показан описываемый турбомолекулярный вакуумный насос, продольный разрез; на фланг. 2 — четыре (I, II, ПI, IV) варианта расположения фрезерованных пазов на роторном диске при отношении диаметра корня лопаток (прорезей) к диаметру норв диска .0
)0,64 при угле наклона |пазов а=15 и толщине,; на фиг. 3— схематически показа но повышение да вления tmax ïðè увеличении средней окружной скорости т/,р вследствие увеличения D«» при неизменной угловой скорости; на фиг. 4— рабочие характеристики (быстрота откачки
S л/сек в зависимости от степени повышения давления т) трех роторных дисков при изменении D » и угла наклона пазов: угол наклона пазов
5 а — соответствует прямой а; при этом
Vcp = Va> Va) в, а — соответствует прямой б; при этом
1 ср = 1 б. 1 6 ) а, а — соответствует прямой в; при этом
Vap — Vâ.
Насос содержит ротор 1 с насаженными на него роторными дисками 2, между которыми расположены статорные диски 8.
Ротор закреплен в подшипниках 4 и приводится во вращение электродвигателем непосредственно или через редуктор. Откачиваемый газ поступает через фланец 5 кор пуса 6 насоса и,,разделяясь Hà д ва потока, попадает на первые ступени насоса, каждая из которых должна быть выполнена так, чтобы быстрота откачки была максимально возможной. Последующие дожимающие ступени вы норв полняются согласно выражению -1 .по
D мере увеличения давления откачиваемого газа.
Предмет изобретения
Многоступенчатый вакуумный турбомоле30 кулярный насос, содержащий корпус и раз335443 мещенные в нем роторные и статорные диски с рабочими элементами (лопатками, радиальными,прорезя ми) по периферии, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения степени сжатия и уменыпения обратного потока отка бм/ев
Составитель Т. Рабчук
Техред Т; Ускова Корректоры Л. Зидмлама
Редактор Н. Вирко
Заказ 1676/11 Изд. № 752 Тйраж 44о По11у1йсЫоФ
11НИИПИ Комитета по делам изобретений и открь1тий прй СдЬеч е МиЖстрбЬ СССР
Мо сква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
;:. мф -ЪД . л з .;М - . Ы ":. ..в с ч .-;-. . чиваемого газа, дяски выполнены .с арооходным сечением, уменьшающимся в направлении откачки от максимально возможной величины на первой ступени до минимальной, стремящейся к нулю, — на последней. бпа г
Хщшч
1тасз
